庞宣明
- 作品数：29 被引量：97H指数：7
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：博士科研启动基金陕西省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程一般工业技术航空宇航科学技术更多>>
- 等离子体刻蚀中工艺参数对刻蚀速率影响的研究被引量：18
- 2004年
- 用实验方法研究了在感应耦合等离子体(ICP)的干法刻蚀过程中,工艺参数对刻蚀速率的影响.研究结果表明,刻蚀速率随SF6气体流量、自偏压以及射频功率的增大而增大,但当SF6气体流量、自偏压达到一定值后,刻蚀速率开始降低.实验中对工艺参数进行了优化,在射频功率为500W、自偏压为150V、流量为50cm3/s,以及SiO2和Si3N4的选择比为15的条件下,硅的刻蚀速率达到了0 80μm/min.
- 陈晓南杨培林庞宣明袁丛清
- 关键词：感应耦合等离子体干法刻蚀
- 机械工程及自动化专业机械工程导论课程建设
- '什么是机械工程'、'机械工程包含哪些内容'等问题常使机械工程类专业学生感到困惑,从而导致学习的被动性和盲目性.针对上述问题,在新的教学计划中增设了机械工程导论,并采用英文原版教材.实践表明对机械工程类专业学生开设机械工...
- 杨培林庞宣明陈晓南曹秉刚
- 关键词：课程建设教学改革双语教学自动化专业
- 一种滚筒内壁橡胶带缠绕装置
- 一种滚筒内壁橡胶带缠绕装置，包括滚筒、滚轮架、限位杆、机架、橡胶带供给机构、移动平台机构、胶带转向机构、胶带导向机构、缠绕臂。所述滚筒放置在滚轮架上方，橡胶供给机构与移动平台机构分别固定于机架上方，胶带转向机构固定于移动...
- 陈晓南庞宣明徐海波刘天王秀菊曹战军
- 一种固体火箭发动机封头段内绝热层粘贴装置
- 本发明公开的一种固体火箭发动机封头段内绝热层粘贴装置，包括旋转装置和粘贴装置，将发动机壳体放置在调节平台上，在旋转装置上设置两个粘贴装置分别对发动机壳体的后封头段和前封头段进行粘贴绝热层，通过旋转装置使两个粘贴装置依次进...
- 杨培林韩特刘俊陈钢庞宣明陈晓南
- 一种微流体系统的制作方法
- 本发明涉及微流体系统，公开一种微流体系统的制作方法。它包括以下步骤：选用光刻胶SU-8，在玻璃晶片上匀胶、烘烤制作微流体系统的基体，采用UV-LIGA厚胶紫外光刻工艺制作微流体系统的腔体；采用美国3M公司的VHB4910...
- 陈花玲王万军庞宣明李博夏冬梅景素芳朱子才
- 电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作被引量：7
- 2009年
- 提出了一种由电致动聚合物材料(DE)驱动的平面扩散/收缩管无阀微泵.通过分析扩散/收缩管的角度、长度、最小宽度等关键参数对微泵性能的影响,对无阀微泵的结构进行了设计.基于UV-LIGA工艺,将DE泵膜和SU-8泵体键合制作了无阀微泵的模型,并对DE泵膜结构进行了实验研究,确定了合理的结构形式,实现了微泵的单向泵送.在3 500 V、8 Hz直流正弦电压的作用下,无阀微泵的流量最大,为21.2μL/min,并且结构简单、易于密封、成本低.实验结果对电致动聚合物微泵进一步的科学研究和实际应用都具有较大的促进作用.
- 夏冬梅庞宣明陈晓南李博
- 关键词：微泵
- 我校机械设计基础课程设计课程的改革思路
- 从2006年起,我校开始实行大机械设计课程体系.在大机械设计课程体系框架下,将原来的机械原理课程设计与机械设计课程设计合并、融合为机械设计基础课程设计,并充实内容与内涵.将机构设计与结构设计融合,同时将现代设计方法与技术...
- 庞宣明陈晓南杨培林任金泉
- 关键词：机械设计基础课程设计教学改革
- 离轴光学系统封装技术的研究被引量：1
- 2015年
- 针对某型号头盔显示器光学系统的封装要求,研究了光学镜片的加工、检测及装配工艺特点,提出了一种能很好解决离轴光学系统装配难题的方法,并结合现代制造工艺水平,设计了相应的五自由度装调设备。经误差分析及控制系统对导轨误差的主动补偿,设备的角度调整精度为3.15″,位移调整精度约为1μm。光学镜筒采用曲面造型,为薄壁对开式结构。选用铝合金材料,装配完成后单个镜筒总质量195 g,最大应力为1.5 MPa,最大变形0.3μm,满足设计要求。
- 贾朋磊陈钢陈晓南庞宣明
- 关键词：头盔显示器
- 一种固体火箭发动机封头段内绝热层自动粘贴系统
- 本发明公开的一种固体火箭发动机封头段内绝热层自动粘贴系统，包括粘贴单元和调节平台，将发动机壳体放置在调节平台上，在旋转装置上设置两个粘贴装置分别对发动机壳体的后封头段和前封头段进行粘贴绝热层，通过旋转装置使两个粘贴装置依...
- 杨培林刘俊陈钢庞宣明陈晓南
- Stanton－Tube在测量流体壁面剪切力中的几个问题
- 1995年
- 对所给出的流体剪切力测量装置Ｓｔａｎｔｏｎ管，在空气管流与风洞中进行了广泛的试验研究，试验表明，这种差压管所测量的流体剪切力值可由文中所导出的公式表示为压差的幂函数，Ｓｔａｎｔｏｎ管的敏感结构尺寸在于它的总高度Ｈ，若能从结构上将Ｓｔａｎｔｏｎ管在固体表面法向上的高度尺寸降至湍流边界层层流底层厚度以下，则可不必对其进行标定而直接利用公式从压差值△Ｐ导算出流体剪切力。
- 王子延庞宣明邱平
- 关键词：流体剪切力空气动力学
