彭良强
- 作品数：62 被引量：113H指数：6
- 供职机构：中国科学院更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺理学核科学技术更多>>
- 50 nm X射线光刻掩模制备关键技术
- 2004年
- X 射线光刻(XRL)采用约 1nm 波长的 X 射线，是一种接近式光刻。就光刻工艺性能而言，XRL 能同时实现高分辨率、大焦深、大像场等，是其他光刻手段难以比拟的。由于不需要辅助工艺，因而工艺成本很低。掩模制造技术是 XRL 开发中最为困难的部分。本文介绍了适用于 50 nm XRL 的掩模制备的关键技术。
- 董立军陈大鹏谢常青韩敬东叶甜春伊福廷彭良强韩勇张菊芳
- 关键词：X射线光刻掩模金刚石吸收体
- 强流重离子加速器,肩负探索未知世界新使命被引量：9
- 2020年
- 重大科技基础设施是为探索未知世界、发现自然规律、实现技术变革提供极限研究手段的大型复杂科学研究系统,是突破科学前沿,解决经济社会发展和国家安全重大科技问题的物质技术基础.《国家重大科技基础设施建设中长期规划(2012-2030年)》明确提出,瞄准科技前沿研究和国家重大战略需求,根据重大科技基础设施发展的国际趋势和国内基础,总体部署16项重大科技基础设施建设项目.强流重离子加速器装置(high intensity heavy-ion accelerator facility,HIAF)作为核物理科学领域的重要部署被列为建设重点项目之一,并于2018年12月底在广东惠州正式启动建设.图1为HIAF装置效果图.
- 杨建成曾钢曾钢肖国青夏佳文彭良强夏佳文周小红赵红卫马力祯徐瑚珊许哲周小红冒立军原有进张军辉马力祯马新文高大庆张玮毛瑞士孙良亭姚庆高冒立军何源王思成张军辉
- 关键词：重大科技基础设施
- 甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究被引量：1
- 2001年
- 设计合成了具有头 -头结构的甲基丙烯酸甲酯共聚物以及含大空间侧基的甲基丙烯酸甲酯共聚物 ,研究了它们作为LIGA技术用抗蚀剂的光敏性能 ,结果表明适当大小空间侧基的引入 ,有助于改善甲基丙烯酸甲酯型抗蚀剂的光敏性。
- 陈永明彭良强陈传福伊福廷习复
- 关键词：光刻工艺LIGA抗蚀剂光敏性
- 大面积微细结构的电火花加工被引量：4
- 2002年
- 采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 。
- 彭良强伊福廷张菊芳韩勇张院春邹丽芸
- 关键词：电火花加工微细加工工具电极
- 微细电火花成形电极的制造方法
- 本发明一种微细电火花成形电极的制造方法,其中包括如下步骤:(1)在导电基底上涂上一层厚度为毫米、亚毫米量级的光刻胶;(2)置于掩模下曝光;(3)显影,得到胶结构;(4)在胶结构上电镀金属或合金;(5)去胶,得到微细电极。
- 彭良强伊福廷张菊芳韩勇
- 平面型HPGe探测器影响γ谱峰峰位的各种效应研究被引量：3
- 1999年
- 用１９２Ｉｒ、８５Ｓｒ和１３７Ｃｓ等放射源在ｅＶ水平上研究平面型ＨＰＧｅ探测器影响γ谱峰峰位的各种效应，包括收集电场效应，放射源位置效应，射线加合和堆积效应等，讨论了这些效应的修正问题。利用单γ峰和加合峰峰位差异推测了探测器本身的非线性偏离曲线。
- 张天保彭良强陈红民魏龙孟伯年
- 关键词：高纯锗探测器HPGEΓ谱仪
- LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究被引量：4
- 2002年
- 通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽 70 μm、厚度达 73 0 μm的铜工具电极 ,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽 90 μm、具有复杂形状的微结构。
- 彭良强伊福廷张院春邹丽芸张菊芳韩勇
- 关键词：LIGAEDM技术不锈钢微结构微细加工电火花加工
- 核孔膜的非常规蚀刻法
- 2001年
- 不对称蚀刻法的分桥表明，在灵敏度不变时可以得到小孔径核孔膜。实验显示，由于孔径不均匀现象的制约，核孔膜的孔径可减小到1／2。温度梯度蚀刻法的分桥表明，导通时间的减小与膜两面的温度差成正比，在实际条件下孔径减小到1／5。模拟计算表明，采用该方法可得到控状孔核孔膜，但蚀刻过程很难控制。
- 彭良强巨新王世成冼鼎昌李涛张宝亭
- 关键词：模拟计算
- 新时代奋勇攀登谱新章——新形势、新要求下的重大科技基础设施发展思路被引量：2
- 2019年
- 党的十九大作出了“中国特色社会主义进入了新时代”的重要判断,提出了从2020年到21世纪中叶分两步走把我国建成社会主义现代化强国的战略目标,开启了我国社会主义现代化的新征程。作为一种战略性的科技资源,重大科技基础设施(以下简称“重大设施”)在我国科学技术和经济社会发展中发挥了越来越大的作用。在我国社会主义事业进入新时代、踏上新征程这样一个重要的历史时刻,准确认识重大设施发展面临的新形势、担负的历史使命,确定一个在新形势下履行新使命的发展目标和实现目标的发展战略具有重要意义。
- 中国科学院重大科技基础设施战略研究组张闯阎永廉金铎孙牧彭良强李泽霞樊潇潇陈和生李志刚
- 关键词：重大科技基础设施
- LIGA—EDM复合技术的研究
- 2001年
- 提出LIGA-EDM复合技术技术，即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术，通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100，使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极，利用该电极进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形小孔阵列．
- 彭良强伊福廷张院春邹丽芸李勇张菊芳韩勇
- 关键词：微加工电铸微机械微细电火花加工
