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洪伟
作品数:
4
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国航天科工集团公司
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发文基金:
教育部重点实验室开放基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
化学工程
电子电信
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合作作者
张铁群
南开大学信息技术科学学院光电信...
赵友博
南开大学信息技术科学学院光电信...
季一勤
中国航天科工集团公司
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金刚石膜
4篇
类金刚石
4篇
类金刚石膜
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气相沉积
2篇
化学气相
2篇
化学气相沉积
2篇
END
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HALL
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热压
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硫化
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硫化锌
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基底
1篇
红外
1篇
红外窗口
1篇
DLC
1篇
磁存储
机构
4篇
中国航天科工...
3篇
南开大学
1篇
天津市道路桥...
作者
4篇
洪伟
3篇
赵友博
3篇
张铁群
1篇
季一勤
传媒
1篇
光学仪器
1篇
南开大学学报...
1篇
光电技术应用
1篇
2003年全...
年份
1篇
2008
1篇
2007
1篇
2006
1篇
2003
共
4
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采用End-Hall源沉积类金刚石膜
被引量:3
2006年
介绍了两种普遍采用的类金刚石(DLC)膜沉积方法。在此基础上叙述了采用End-H all源沉积DLC膜的方法,在简单说明其工作原理的同时给出了实验的各项技术参数;通过对实验结果和DLC膜样品的分析,可看出用End-H all源沉积方式能够消除RFCVD沉积方式所带来的边缘效应。
洪伟
赵友博
张铁群
关键词:
类金刚石膜
类金刚石膜的沉积技术、性能和应用
综述了类金刚石膜的需求背景,并结合物理气相沉积和化学气相沉积两方面介绍了国内外技术发展状况,文中主要侧重讨论射频等离子体放电化学气相沉积、离子束化学气相沉积和脉冲激光物理气相沉积三种方法.其中前两种方法在国外已经相当成熟...
洪伟
宋洪君
季一勤
关键词:
类金刚石膜
DLC
红外窗口
磁存储
化学气相沉积
文献传递
End—Hall源沉积类金刚石膜的实验
2008年
介绍了采用 End-Hall 源沉积 DLC 膜的方法,在简单说明其工作原理的同时给出了实验的各项技术参数;通过对实验结果和 DLC 膜样品的分析,可看出用 End-Hall 源沉积方式能够消除 RFCVD 沉积方式所带来的边缘效应.
洪伟
赵友博
张铁群
关键词:
类金刚石膜
热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现
被引量:1
2007年
讨论了在ZnS窗口和整流罩上实现DLC膜的方法,给出了膜系和实验结果.从测试结果可以看出。ZnS基片、Si膜和DLC膜在7-10μm的平均透过率比以往的双面减反射膜有了明显的提高,不仅满足了技术指标的要求,而且也有利于DLC膜应用领域的进一步拓展.
洪伟
赵友博
张铁群
隋承林
关键词:
硫化锌
类金刚石膜
化学气相沉积
热压
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