燕斌
- 作品数：22 被引量：27H指数：4
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种微机械空间光调制器
- 本发明公开了一种微机械空间光调制器，属于微光机电系统技术及光通信技术领域。该光调制器包括一个周期可调光栅和一个微扭转镜，所述的周期可调光栅从上到下依次包括光栅器件层6和光栅绝缘层5；所述的微扭转镜从上到下依次包括微扭转镜...
- 李晓莹靳倩孙瑞康乔大勇燕斌
- 一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究被引量：4
- 2010年
- 介绍了一种周期连续可调的微型可编程光栅.光栅采用静电梳齿驱动,不同驱动电压对应不同周期变化,从而引起特定级次衍射角发生变化.为了测得不同驱动电压下的衍射角变化,搭建了实验测量光学系统,利用激光三角法测量原理及图像处理的方法得出实验结果.测量结果与光栅测量参量计算角度变化基本一致,不同电压下的衍射角变化与不同的周期变化对应良好.
- 李太平李晓莹虞益挺燕斌孙瑞康乔大勇
- 关键词：微机电系统激光三角法图像处理
- 基于微扫描镜的激光投影(英文)被引量：7
- 2011年
- 利用微机械加工技术制造出一种新型微扫描镜,结合半导体激光器,可用于投影显示.激光器发出的光束被两个分别沿着X轴、Y轴扭转的镜面相继反射,扫描出二维图形.实验测得扫描镜在15V电压,频率为扫描镜谐振频率2倍的方波信号驱动下,镜子的光学扫描角度达±12°.由于每个镜子都沿各自轴以简谐规律扭转,扫描所得投影为李萨如图形.通过分析图形的形成原理并用Matlab仿真,选出了适用用于任意图案显示的扫描镜谐振频率组合(X轴2 400Hz,Y轴2 425Hz).该组合可以形成194×192个像素点,刷新频率为25Hz.在此基础上提出了一种通过调制激光开关来进行投影显示的方法.
- 李昭苑伟政吴蒙燕斌乔大勇刘耀波
- 关键词：激光投影
- 一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法
- 本发明公开了一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该检测结构包括若干测试单元2，其中一个测试单元2位于布有器件的SOI硅片的中心放置，其余测试单元2周向分布...
- 乔大勇杨璇刘耀波康宝鹏燕斌
- 一种周期可调微机械光栅及其制作工艺
- 本发明公开了一种周期可调微机械光栅及其制作工艺，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该光栅的特征在于，其基底为玻璃、蓝宝石等绝缘透明材料。其制作工艺为：在基底表面淀积一层金属薄膜；在结构材料的一侧刻蚀出一定高度的锚点；两...
- 苑伟政虞益挺乔大勇孙瑞康燕斌
- 文献传递
- 一种利用光栅检测技术进行加速度测量的装置和方法
- 本发明公开了一种利用光栅检测技术进行加速度测量的新装置和新方法，属于传感检测领域。装置通过质量块1敏感加速度；质量块1的一端通过弹性梁7连接在锚点4上，另一端连接可动栅条2；可动栅条2与固定栅条5构成一个光栅副。工作时，...
- 苑伟政虞益挺乔大勇燕斌李晓莹
- 文献传递
- 基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法
- 本发明公开了一种基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法，属于微机电系统微细加工和晶圆划片领域。该方法的关键在于利用ICP刻蚀的高深宽比效应，采用一张MEMS结构掩膜版与一张与其对应的掩膜版，对SOI晶圆的正反两面进行...
- 李晓莹孙瑞康乔大勇燕斌虞益挺李太平
- 文献传递
- 基于DSP的传感器高压控制系统设计
- 2011年
- 静电力驱动在微机电系统中的应用十分广泛,但采用静电力驱动时所需控制电压较高。设计一种以定点数字信号处理器TMS320F2812为核心的传感器高压控制系统,采用USB2.0与PC机进行通讯,接收致动器所需控制电压,并控制D/A转换器输出,经过高压放大后施加到传感器上。测试表明USB传输速率可以达到20 Mbytes/s,D/A转换速率达到30 MHz,电压范围在(0—300)V之间,整个控制系统可以满足静电力控制传感器所需高压。
- 李晓莹程步青乔大勇燕斌
- 关键词：数字信号处理器通用串行总线
- 一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究被引量：8
- 2012年
- 在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率,并利用ANSYS有限元软件进行仿真;设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统,对研制出的MEMS扫描镜(7.1mm×5.2mm)进行扫描角度测试。利用该器件参数激励的迟滞频率特性,对其谐振频率进行实际测量。同时,为验证其所测谐振频率的准确性,利用激光多普勒测振(LDV)系统对其进行测试。在工作电压10V,方形和圆形扫描镜的驱动频率分别为556Hz和596Hz时,机械扫描角度分别可达到约6°和5°,谐振频率分别约为300Hz和277Hz。并分析误差产生的原因及其结果。
- 燕斌苑伟政乔大勇刘耀波吴蒙李昭
- 关键词：光学器件微光学器件扫描镜绝缘体上硅谐振频率
- 一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用被引量：1
- 2009年
- 采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.为了实现可工作闪耀角的最大化,有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件,其高度接近空气间隙.由实验测得,研制的微型可编程闪耀光栅在驱动电压112V作用下能达到的最大可工作闪耀角约5.19°,对应的最大闪耀波长达到中红外4.88μm.在此基础上,以该微型可编程闪耀光栅为核心的分光元件,研究了其在多光谱成像领域应用的可行性,并搭建了多光谱成像系统的原型样机,得到了较好的实验结果.最后,讨论了该成像系统的优点,并提出了进一步研究的建议.
- 虞益挺苑伟政燕斌李太平姜澄宇
- 关键词：多光谱成像
