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谢广平

作品数：16 被引量：65H指数：5
供职机构：清华大学电机工程与应用电子技术系更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 7篇机械工程
  • 4篇金属学及工艺
  • 4篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电气工程

主题

  • 7篇干涉仪
  • 5篇阿贝误差
  • 4篇外差
  • 4篇激光
  • 3篇信号
  • 3篇双频激光
  • 3篇外差干涉
  • 3篇外差干涉仪
  • 3篇激光干涉
  • 3篇激光干涉仪
  • 3篇光干涉仪
  • 2篇信号处理
  • 2篇双折射
  • 2篇精密测量技术
  • 2篇机床
  • 2篇光电
  • 2篇光电接收器
  • 2篇反射体
  • 1篇电路
  • 1篇调节器

机构

  • 15篇清华大学
  • 6篇中国矿业大学...
  • 1篇中国矿业大学

作者

  • 16篇谢广平
  • 15篇殷纯永
  • 7篇戴高良
  • 3篇成相印
  • 3篇王泽民
  • 2篇钱忠
  • 2篇晁志霞
  • 2篇马贵龙
  • 2篇蒋弘
  • 2篇郭继华
  • 1篇毛文炜
  • 1篇闫聚群
  • 1篇吴健
  • 1篇周祖成
  • 1篇陈强华
  • 1篇高赛
  • 1篇王东生
  • 1篇方仲彦
  • 1篇宋德强
  • 1篇林德教

传媒

  • 2篇清华大学学报...
  • 1篇电子测量技术
  • 1篇制造技术与机...
  • 1篇计量技术
  • 1篇光学技术
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇中国激光
  • 1篇光学学报
  • 1篇激光技术
  • 1篇组合机床与自...
  • 1篇航空计测技术

年份

  • 1篇2001
  • 1篇1999
  • 4篇1998
  • 2篇1997
  • 3篇1996
  • 3篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1993
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
纳米分辨率外差干涉信号处理电路相位畸变的实验研究被引量：7
1999年
外差干涉是实现纳米精度长度测量的重要手段。采用电子倍频、混频、高频计数的方法可处理外差信号实现亚纳米分辨率，具有电路简单、能计大数的优点，但会引入电子信号的相位畸变，引入测量的动态误差。本文通过理论和实验分析了这一误差，表明在电子倍频中锁相环引起的相位畸变仅在亚纳米量级，但在混频环节中带通滤波器引入的相位畸变则可达几纳米，引入较严重的误差。本文通过采用低频差横向塞曼激光器产生３２０ｋＨｚ的外差信号，并采用ＦＰＧＡ技术实现倍频后的高频率信号直接计数，省略混频环节，从而实现了高测量分辨率并避免了这一误差。
戴高良殷纯永谢广平
关键词：外差干涉仪信号处理
纳米精度外差干涉仪非线性漂移的研究被引量：21
1998年
在纳米精度外差干涉仪中，由于非线性的温度漂移，成为外差干涉仪实现纳米精度测量的重要误差源。本文对差动干涉仪的理论分析得出了如下的结论：干涉仪中除了存在测量光路和参考光路以外，还存在参考光误差分量和测量光误差分量的额外光路，从而引入新的干涉混叠，产生非线性漂移；１／４波片的相位延迟量误差和安装误差是引入非线性漂移的主要因素，其影响程度是一阶的。提高波片加工精度，并尽量减少其级数可降低非线性漂移。
戴高良殷纯永谢广平
关键词：外差干涉仪波片
违阿贝结构阿贝误差实时修正方法的研究
该文建立了一种能够对机床、坐标测量机等违阿贝结构的阿贝误差进行实时修正的系统,实现高精度位置检测与定位,在方法上和技术上实现了布莱恩建议的设想.该系统通过对机械导轨运动副的偏转角、俯仰角、滚转角等角运动误差以及轴向位移进...
谢广平
关键词：阿贝误差
一种用ispLSI可编程逻辑器件实现图象合成的方法
1997年
本文介绍一种既有PLD的性能与特点、又有FPGA的高密度和灵活性的在系统可编程逻辑器件——ispLSI器件;并以在屏幕上产生视场限定标志为例说明了用它实现图象合成的方法,及其在视频图象测量中的应用。实验证明,ispLSI器件的应用使视频图象测量系统的可靠性和稳定性得以提高。
晁志霞蒋弘殷纯永谢广平
关键词：可编程逻辑器件图象合成
小幅低频调制PWM波脉宽提高稳频控制精度被引量：1
1998年
建立了以８０９８单片机为控制核心的横向塞曼热稳频系统，由模型预测控制算法计算控制量，通过输出ＰＷＭ波经低通滤波及功率放大后热补偿激光器腔长实现稳频。由于这由ＰＷＭ波实现Ｄ／Ａ变换的精度较低，控制量量化误差将严重地影响控制系统的性能。为此，提出一种通过将ＰＷＭ脉宽作小幅低频调制实现高精度Ｄ／Ａ变换的方法，显著地改善了控制系统的性能，并在此基础上增大了系统的控制裕度，实现了长达１０ｈ的稳频，通过Ｓ曲线估算得频率稳定度为８．７×１０－１０。这种方法简单、实用，可适用于其它智能控制系统。
戴高良殷纯永谢广平
关键词：PWMD/A激光技术
用于阿贝误差实时修正的三通道激光干涉仪的研究被引量：1
1995年
本文介绍了对精密车床、螺纹磨床等一维加工设备的阿贝误差进行实时修正的三通道激光干涉仪的原理与组成，给出了验证该系统的实验装置及实验结果，在３．７ｍ行程内将最大２５．２μｍ的阿贝误差修正到了０．７μｍ。
谢广平殷纯永
关键词：激光干涉仪阿贝误差机床
用双频激光干涉仪实时修正阿贝误差的方法和实验被引量：5
1994年
讨论了对机床及某些测量仪器的阿贝误差进行实时修正的方法、原理和组成，同时介绍了验证该方法的实验装置及实测结果，在２．５ｍ的行程内，将最大１９．４μｍ的阿贝误差修正到１．３μｍ。
谢广平成相印王泽民殷纯永
一维加工设备阿贝误差实时修正方法的研究被引量：3
1996年
介绍对精密车床、螺纹磨床等一维加工设备的阿贝误差进行实时修正方法的原理与组成，给出验证该方法的实验装置及实验结果，在３．７Ｍ的行程内将最大２５．２ΜＭ的阿贝误差修正到了－０．７ΜＭ．
谢广平殷纯永
关键词：阿贝误差
双频激光准直测量方法及其准直测量干涉仪
本发明提出一种新的双频激光准直测量方法，属于双频激光精密测量技术领域。其特点在于将双频激光束射入第一个双折射分光元件分成夹有一小角度的两束光，再经过第二个双折射分光元件变成平行光速，经反射体反射按原路返回，由光电接收器接...
殷纯永郭继华钱忠谢广平王泽民马贵龙
文献传递
现场可编程门阵列（FPGA）及其在外差测量中的应用被引量：3
1995年
本文介绍了当前专用集成电路（ＡＳＩＣ）领域中发展很快的一种可编程器件──现场可编程门阵列（ＦＰＧＡ）；并以双频激光干涉仪为例介绍了ＦＰＧＡ在外差测量中的应用。实践证明ＦＰＧＡ的应用使得双频激光干涉仪的性能得以大幅度提高，展示了ＦＰＧＡ在外差测量中广阔的应用前景。
谢广平周祖成殷纯永
关键词：专用集成电路可编程门阵列激光干涉仪
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