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邵佳佳

作品数:9 被引量:16H指数:3
供职机构:上海工程技术大学材料工程学院更多>>
相关领域:金属学及工艺理学一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇电气工程

主题

  • 4篇磁场
  • 3篇氮化
  • 3篇氮化硅
  • 3篇氮化硅薄膜
  • 3篇溅射
  • 3篇硅薄膜
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇镀膜
  • 2篇镀膜设备
  • 2篇石英玻璃
  • 2篇外加磁场
  • 2篇陷光结构
  • 2篇溅射制备
  • 2篇磁场方向
  • 2篇磁控溅射制备
  • 1篇导电薄膜
  • 1篇电极
  • 1篇电极材料
  • 1篇电容

机构

  • 9篇上海工程技术...

作者

  • 9篇邵佳佳
  • 8篇陈明
  • 8篇周细应
  • 7篇毛秀娟
  • 6篇江强
  • 2篇裴士轻
  • 2篇郭雪梅
  • 2篇杨秋杰
  • 1篇苌文龙
  • 1篇杨国良
  • 1篇周涛
  • 1篇张有为

传媒

  • 2篇物理学报
  • 2篇金属热处理
  • 1篇热加工工艺

年份

  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 4篇2013
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
磁控溅射屏蔽罩
本实用新型公开了一种磁控溅射屏蔽罩,包括由透明材料制成的中空圆柱状的外罩以及空心环形托盘,所述外罩的底端的周面上均匀间隔设有三个开口,所述外罩的底端外周面上还固定设有三个基座,基座内开有通孔;所述空心环形托盘水平设于外罩...
毛秀娟周细应裴士轻江强陈明邵佳佳
文献传递
低温渗氮技术的研究进展被引量:3
2013年
简述了低温渗氮的理论依据,总结了低温渗氮技术的研究近况,重点介绍了几种低温渗氮方法的原理和特点。最后指出了低温渗氮技术存在的问题和今后的研究方向。
陈明周细应邵佳佳毛秀娟江强
关键词:表面改性
一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置
本发明涉及一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置,属于陷光结构氮化硅薄膜技术领域。一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:清洗石英玻璃(1);将石英玻璃与氮化硅靶材(3)上、下对应地固定在镀膜设备...
江强郭雪梅周细应毛秀娟陈明邵佳佳杨秋杰
文献传递
外加磁场对射频磁控溅射制备铝掺杂氧化锌薄膜影响的研究被引量:8
2014年
利用射频磁控溅射法制备了铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电薄膜,在传统的磁控溅射系统中引入外加磁场,研究了外加磁场对AZO薄膜沉积速率、形貌结构及光电特性的影响.研究结果表明,外加磁场后薄膜的沉积速率从不加磁场的13.04 nm/min提高到了19.93 nm/min;外加磁场后薄膜表面平整致密、颗粒大小均匀,结晶质量较高,而不加磁场薄膜表面形貌呈蠕虫状,薄膜质量较差.溅射时间为90 min时,外加磁场前后AZO薄膜方阻分别为30.74?/和12.88?/.外加磁场对薄膜可见光透过率影响不大,但使薄膜的吸收边蓝移现象更明显.运用ansys软件对磁控溅射二维磁场分布模拟后发现,外加磁场提高了靶上方横向磁场强度,改善了磁场分布的均匀性,加强了磁场对电子的磁控作用,提高了靶电流,是AZO薄膜的溅射速率、光电性能和形貌结构得到提高和优化的原因.
陈明周细应毛秀娟邵佳佳杨国良
关键词:外加磁场磁控溅射AZO透明导电薄膜
锰基氧化物超级电容器电极材料的制备与性能
电化学能源存储与转换是二十一世纪应对能源危机和环境恶化的重要解决途径之一,在这个领域中,超级电容器由于高功率密度、长循环寿命、充放电速度快以及高安全可靠性等特点正日益受到大家的重视。电极材料对电容器的电化学性能有重大影响...
邵佳佳
关键词:超级电容器电极材料
文献传递
一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置
本发明涉及一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置,属于陷光结构氮化硅薄膜技术领域。一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:清洗石英玻璃(1);将石英玻璃与氮化硅靶材(3)上、下对应地固定在镀膜设备...
江强郭雪梅周细应毛秀娟陈明邵佳佳杨秋杰
文献传递
外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响被引量:3
2013年
在基底与靶材之间放置磁性强弱不同的永久磁铁来研究外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响.通过X射线衍射、原子力显微镜(AFM)以及紫外分光光度计分别测试了外加磁场前后所制备薄膜的组织结构、表面形貌和光学性能.结果表明,外加磁场后,氮化硅薄膜依然呈现非晶结构;但是表面形貌发生明显改变,中心磁场1.50T下,薄膜表面为特殊锥状尖峰结构"类金字塔"的突起,而且这些突起颗粒垂直于基底表面;在可见光及近红外范围内,中心磁场1.50T下的薄膜样品平均透射率最大,平均透射率达到90%以上,比未加磁场的样品提高了近1倍,具有很好的陷光特性.
江强毛秀娟周细应苌文龙邵佳佳陈明
关键词:外加磁场磁控溅射氮化硅薄膜
DT4钢循环热处理后的组织及扭转性能
2014年
为满足DT4钢在汽车限力轴上的应用要求,对其进行循环热处理,研究热处理后材料的组织与扭转性能。结果表明,经2次循环退火处理后,DT4钢平均晶粒尺寸为12.50μm,约有65.0%的晶粒尺寸在12.93μm左右,10μm以下的晶粒增多,晶粒细化明显且均匀性提高,扭转强度增加10.31%,剪切屈服强度增加7.53%。
毛秀娟周细应裴士轻江强陈明邵佳佳
关键词:晶粒细化
喷丸处理对55SiCr弹簧钢低温气体渗氮的影响被引量:1
2015年
对55Si Cr弹簧钢表面进行不同强度的喷丸处理,并在390℃进行低温气体渗氮12 h。利用超景深显微镜、显微硬度计、直读光谱仪以及X射线衍射仪(XRD)分析了渗氮层的显微组织、厚度、氮含量和相组成。结果表明,渗氮层主要由γ'-Fe4N和αN相组成,并有少量的Cr N和Fe3O4。随喷丸强度增加,渗氮层组织更加均匀致密,渗氮层厚度、表面硬度和渗层氮含量均增加。
陈明周细应周涛邵佳佳张有为
关键词:喷丸
共1页<1>
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