高松涛
- 作品数：47 被引量：77H指数：5
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信文化科学更多>>
- 一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置
- 本发明公开了一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置，测量方法使用干涉仪沿待测非球面表面一经线方向进行逐点扫描采样，获得一组关于待测非球面空间坐标的数组L(x,z,t)，利用最小二乘拟合法计算获得所述待测非球...
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- 一种转台摆角精密测量方法
- 本发明一种基于平面干涉仪的转台摆角精密测量方法，属于光学检测领域，解决了现有技术中测量转台摆角精度严重依赖标准件的质量的技术问题；本发明利用了干涉仪和标准平晶建立标准的平面干涉腔，并测量标准平晶在不同转动角度下的干涉图。...
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- 一种显微成像景深延拓的方法及显微成像装置
- 本发明提供一种用于光学元件疵病检测中显微成像景深延拓的方法，该方法包括：在显微成像装置中加入光瞳滤波器；对加入了光瞳滤波器后的显微成像装置进行分析，并根据分析结果对光瞳滤波器的参数进行选择；根据至少一个评价因素对光瞳滤波...
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- 一种显微成像景深延拓的方法及显微成像装置
- 本发明提供一种用于光学元件疵病检测中显微成像景深延拓的方法，所述方法包括：在显微成像装置中加入波前编码板；根据显微成像装置的物镜的倍率对加入波前编码板后的光线入射角度进行分析；根据景深延拓及适应不同倍率显微物镜成像的要求...
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- 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计被引量：4
- 2016年
- 目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影光刻物镜制造的关键因素。为了解决这一难题,针对高NA投影光刻物镜中的一偶次高次非球面,论述了计算全息图(CGH)相位与空间频率的关系,以及相位与空间频率的计算方法;采用点光源照明模式,详细分析了CGH设计时的关键参数的选择方法和避免CGH非工作衍射级次的干扰的方法;采用所选定的设计参数,加工制作了CGH,并用此CGH完成了对非球面的高精度检测。经过多轮加工检测迭代,最终非球面的收敛精度的均方根(RMS)达到了0.46nm。
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- 关键词：计算全息图非球面投影光刻物镜干涉仪
- 平面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法
- 本发明提供一种平面光学元件表面疵病的检测装置，其包括：工作台、气动浮台、三轴移动滑台及显微物镜成像设备。气动浮台设置于所述工作台上，且能绕自身轴线以一定角速度转动。气动浮台用于放置待检测的光学元件。所述三轴移动滑台设置于...
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- 超大动态范围日盲紫外辐照度光源被引量：5
- 2012年
- 为实现对动态范围达120dB的日盲紫外增强型电荷耦合器件(SBUV-ICCD)的辐照度定标,设计并实现了超大动态范围日盲紫外辐照度光源。首先估算出SBUV-ICCD的辐照度定标所需的动态范围,其次采用氘灯、积分球、高精度光阑及平直光轨等,基于辐照度距离平方反比定律实现了光谱结构不变,而辐照度在极大动态范围内连续变化的光源,并对其进行了动态范围及稳定性测试。结果表明,该光源实际覆盖辐照度0.278～2.8×10-7μW.cm-2,稳定性为0.93%/3h,能够满足SBUV-ICCD定标的需要,且可复用于紫外探测器面均匀性测试、成像系统辐亮度定标等。
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- 基于迭代方法的补偿器系统设计被引量：1
- 2014年
- 针对F数为4的高次非球面,设计了一套基于平行光束照射的高精度补偿器。系统工作波长为632.8 nm,设计残差为0.0018λ。提出了求解两片检测透镜组成补偿器初始结构的新方法。该方法合理假设补偿器部分结构参数,通过判断补偿器与非球面的Seidel系数之和最小获得未知参数。比较非球面在补偿器第一面位置处的高斯像高与假设的入射平行光高度,通过MATLAB迭代计算得到高度差小于预设误差,进而确定平行光入射高度。重新复算得到最终的初始结构。最后将迭代计算得到的各个面Seidel系数和ZEMAX给出的结果进行比较,证实了该方法的可靠性。
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- 关键词：光学设计非球面检测补偿器迭代
- 一种非球面方程的测量方法
- 本发明公开了一种非球面方程的测量方法，包括：1)利用移相干涉仪测量被测非球面的环形面形图，利用测距干涉仪测量被测非球面距离上一测量点的相对位移量；2)依据所述移相干涉仪测量的环形面形图，计算获得在测量点对应的“零条纹”半...
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- 计算全息法标定抛物面精度分析被引量：3
- 2011年
- 非球面高精度检测是目前光学检测研究的热点和难点之一。计算全息(CGH)技术是非球面检测的重要方法,但检测精度受到许多因素的影响。对CGH检测抛物面的误差进行了深入研究。应用Zemax软件对各种检测误差进行模拟计算,利用CGH对抛物面面形进行实际测量,对测量结果中较大的透射波前误差、彗差、球差等进行分析,并将CGH法与共焦小球法的检测进行了结果对比。结果表明,CGH法的设计和制造精度很高,标定基底的透射波前后,理论检测误差均方根(RMS)值低于4.2nm。实际检测中,CGH的离焦和抛物面偏心会造成较大的测量误差,精密调整后的测量误差RMS值优于4.5nm。
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