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黄晓辉
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
南京大学
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发文基金:
江苏省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
王立
南京大学物理学院物理学系
李伟
南京大学物理学院物理学系
陈坤基
南京大学物理学院物理学系
徐骏
南京大学物理学院物理学系
徐岭
南京大学
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机构
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南京大学
作者
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黄晓辉
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徐骏
3篇
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李伟
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王立
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徐岭
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1篇
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固体电子学研...
年份
2篇
2002
2篇
2001
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碳基非晶薄膜材料的制备、光学性质与场发射的研究
氢等离子体表面处理在制备器件级非晶体半导体薄膜材料方面已被证明是一种行之有效的方法.它可以驰豫薄膜结构,提高光电导率及材料的稳定性.该文将氢等离子体化学退火技术应用于非晶碳膜的制备中,系统了研究了氢等离子体化学退火条件对...
黄晓辉
关键词:
光学性质
场发射
文献传递
氢稀释制备的非晶碳膜的绿光和蓝光发射
2001年
在电容耦合式 PECVD系统中,以 CH4和 H2为气源,通过控制 H2的流量制备了一系列氢化非晶碳膜(a-C:H)样品。利用傅里叶变换红外光谱(FTIR)、光致发光谱(PL)和吸收谱对a-C:H膜的结构及光学性质进行了研究。结果表明:氢稀释可以在一定程度上减少碳的sp2团簇的形成,增大它的光学带隙,并改变薄膜的微结构。与此同时,光致发光峰随着光学带隙的增大而蓝移;当光学带隙增大2.72eV时,出现了2.4eV(绿光)和2.97eV(蓝光)组成的发光峰。
黄晓辉
徐骏
李伟
王立
陈坤基
关键词:
非晶碳
光致发光
蓝光发射
有机源制备的氢化非晶碳膜的新颖发光行为
2001年
利用有机碳源 (二甲苯 ) ,采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统制备了一系列氢化非晶碳 (a C :H)薄膜样品 .与利用甲烷 (CH4)制备的a C :H不同 ,该样品的光致发光峰位于蓝绿光范围并且呈现多峰结构 ,而不是表现为一个较宽的单峰 .同时样品发光峰的特征随着制备过程中功率不同而变化 .认为 :a C :H薄膜中的芳香环结构的引入产生了新的发光中心 。
黄晓辉
徐骏
李伟
马天夫
王立
陈坤基
关键词:
光致发光
等离子体增强化学气相沉积
发光特性
氢化非晶碳膜的低阈值场发射
被引量:1
2002年
在等离子增强气相化学沉积 (PECVD)系统中 ,利用氢稀释方法制备了氢化非晶碳 (a-C∶ H)薄膜样品。在高真空腔中测量了样品的场发射特性。与用纯甲烷 (CH4 )制备的 a-C∶H薄膜样品相比 ,经过氢稀释处理的样品场发射开启电场明显下降 ,达到 0 .5 V/μm。认为是样品的场增强因子的增大改善了样品的场发射特性 ,这种场增强可能来源于碳膜中电子结构的各相异性和碳膜表面氢终结的增加。
黄晓辉
徐骏
李伟
王立
徐岭
陈坤基
关键词:
场发射
非晶碳
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