李科
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
- 供职机构:重庆师范大学物理与电子工程学院更多>>
- 发文基金:重庆市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:哲学宗教金属学及工艺更多>>
- 低Si含量WSiN涂层的结构和摩擦学行为
- 2018年
- 利用反应磁控溅射法制备W_2N和WSiN涂层,利用XRD,SEM和AFM研究涂层的显微结构,利用纳米压痕仪测试涂层的力学性能,利用摩擦磨损仪表征涂层的摩擦磨损行为。结果表明,原子数分数2.4%Si掺杂没有引起W_2N涂层相结构和力学性能的明显变化,但降低了涂层的表面粗糙度(从10.56 nm到8.35 nm)。不锈钢基底、W_2N涂层、WSiN涂层与Al_2O_3对偶球的摩擦因数分别为0.62、0.42和0.35,对应的磨损率分别为4.2×10^(-14)、3.8×10^(-16)和3×10^(-16) m^3/N·m。不锈钢基底、W_2N涂层、WSiN涂层与GCr15对偶球的摩擦因数分别为0.56、0.47和0.49,对应的磨损率分别为5.9×10^(-15)、2.8×10^(-16)和3.2×10^(-16) m^3/N·m。在上述两种对偶球情况下,W_2N涂层、WSiN涂层均能够降低不锈钢的摩擦因数10%~40%和磨损率1~2个量级。W_2N涂层和WSiN涂层具有较好的润滑抗磨性,能给不锈钢基底提供防护作用,且WSiN涂层的防护效果更佳。
- 李科邵涛葛芳芳黄峰冯庆
- 关键词:磁控溅射摩擦学行为