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申卫华
作品数:
2
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供职机构:
大连理工大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
郑殊
大连理工大学物理与光电工程学院
王正汹
大连理工大学物理与光电工程学院
刘悦
大连理工大学物理与光电工程学院
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大连理工大学
作者
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申卫华
1篇
刘悦
1篇
王正汹
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郑殊
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1篇
2013
1篇
2012
共
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KMC模拟活性剂作用下的薄膜外延生长
2012年
运用动力学蒙特卡罗方法模拟了两种原子组成的薄膜外延生长时的形貌,给出了一种原子作为活性剂时的同质外延生长情况,从动力学角度模拟了表面活性剂向上漂浮的行为,模拟结果发现,在原子间结合能满足Eaa〉EBB〉EAB时,在基底上先沉积少量活性剂原子薄膜更趋于向层状模式生长;温度越高,活性剂原子越容易与沉积原子发生交换,薄膜表面更加光滑平整。同时,也发现活性剂原子的漂浮行为对温度有一个敏感的临界温度,大于这个温度时,活性剂原子呈现漂浮行为。
申卫华
郑殊
王正汹
刘悦
关键词:
结合能
表面活性剂
动力学蒙特卡罗方法模拟薄膜外延生长
薄膜生长机制是薄膜科学研究的重要内容。随着现代信息科学技术的快速发展,功能性器件更加的趋向于微型化和集成化,如何制备符合需要的高质量的薄膜将显得很重要。薄膜初期的生长模式对整个薄膜的质量影响很大,因此从原子尺度去研究薄膜...
申卫华
关键词:
晶格结构
纳米团簇
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