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秦尤敏

作品数：21 被引量：10H指数：2
供职机构：贵州大学等离子体与材料表面作用研究所更多>>
发文基金：贵州省优秀青年科技人才计划国际热核聚变实验堆计划更多>>
相关领域：电子电信理学核科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 9篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 5篇理学
  • 1篇核科学技术

主题

  • 11篇动力学
  • 11篇分子
  • 11篇分子动力学
  • 10篇动力学模拟
  • 10篇烧结法
  • 9篇钛酸
  • 9篇分子动力学模...
  • 8篇陶瓷
  • 8篇陶瓷产品
  • 8篇材料价格
  • 7篇钛酸钡
  • 7篇刻蚀
  • 5篇致密
  • 5篇致密度
  • 3篇入射能
  • 3篇入射能量
  • 3篇激光
  • 3篇激光制备
  • 3篇SIC
  • 2篇等离子体

机构

  • 21篇贵州大学
  • 6篇四川大学
  • 5篇安特卫普大学
  • 3篇教育部

作者

  • 21篇秦尤敏
  • 10篇刘香东
  • 10篇翁源泉
  • 10篇刘其斌
  • 9篇宁建平
  • 8篇赵成利
  • 8篇吕晓丹
  • 7篇贺平逆
  • 5篇苟富均
  • 4篇苟富君
  • 1篇张利纯

传媒

  • 5篇真空科学与技...
  • 3篇物理学报
  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 5篇2011
  • 9篇2010
  • 1篇2009
  • 6篇2007
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
Ar＋与氟化的Si样品相互作用机制的研究：分子动力学模拟被引量：4
2010年
采用分子动力学方法模拟了Ar+与表面含有C,F反应层的Si样品的相互作用过程,以了解Ar+与氟化的Si的作用机制。为了和相对应的实验结果做比较,选择了两种样品,表面富F样品和表面富C样品。模拟结果表明,对于表面富F样品,能清楚地看到Si的刻蚀且随着入射能量的增加Si的刻蚀增加。当入射Ar+数量到达一定程度后Si的刻蚀完全停止。对于富C样品,几乎没有发生Si的刻蚀,这是由于Si-C键对Si的刻蚀起阻碍作用。
秦尤敏吕晓丹宁建平A．Bogaerts苟富君
关键词：分子动力学刻蚀
聚变堆中H刻蚀碳氢薄膜的分子动力学模拟被引量：1
2011年
使用分子动力学方法模拟了低能H原子与碳氢薄膜的作用过程,以了解基于核聚变装置中等离子体与C基材料的相互作用机制。模拟中使用REBO(reactive empirical bond order)势函数来描述C-H体系中原子间的相互作用,并使用Berendsen热浴来控制体系的温度。文中着重探讨了入射能量对低能H原子刻蚀碳氢薄膜的影响,入射能量分别为0.3,1,5和10eV。模拟结果显示随着入射能量的增加,H原子的吸附率增加,C原子和H原子的刻蚀率增加。同一能量下H原子比C原子更易发生刻蚀。通过讨论发现在H原子与碳氢薄膜作用过程中,当能量大于1 eV时,由于入射的H原子先沉积在表面并与表面原子发生反应形成碳氢化合物,然后在后续入射粒子的轰击下碳氢化合物在表面发生解吸附现象,从而导致了C原子的刻蚀,因此C原子的刻蚀发生主要是化学增强的物理溅射。
吕晓丹秦尤敏赵成利宁建平贺平逆苟富均
关键词：分子动力学刻蚀
一种激光制备电子功能陶瓷的材料及方法
本发明公开了一种激光制备电子功能陶瓷的材料及方法，材料是由碳酸钡和二氧化钛组成的，方法为将BaCO<Sub>3</Sub>和TiO<Sub>2</Sub>以等摩尔比混合，再加入粘结剂，混合均匀，过筛；然后称取混合物，放至...
刘其斌刘香东翁源泉秦尤敏
文献传递
钛酸钡电子功能陶瓷及其制备方法
本发明公开了一种钛酸钡电子功能陶瓷及其制备方法，它是由等摩尔比的氧化钡和二氧化钛制备而成的，方法为将BaO和TiO<Sub>2</Sub>混合均匀并研磨成细粉，加入适量粘合剂使其粘合，在20MPa压力下压制成φ13.00...
刘其斌翁源泉秦尤敏刘香东
文献传递
分子动力学模拟不同入射能量的SiF_2与SiC的相互作用
2011年
采用分子动力学模拟方法研究了入射能量对SiF2与SiC样品表面相互作用的影响。本次模拟选择的入射初始能量分别为0.3,1,5,10和25 eV。模拟结果显示SiF2分解率与Si和F原子的沉积率有密切的关系。沉积的Si和F原子在SiC表面形成一层SixFy薄膜。随入射能量的增加,薄膜厚度先增加后减小,薄膜中Si-Si键密度增大。构成薄膜的主要成分SiFx（x=1-4）中主要是SiF和SiF2,随入射能量的增加,薄膜成分由SiF2向SiF转变。
赵成利秦尤敏吕晓丹宁建平贺平逆苟富均
关键词：分子动力学分解率
一种掺杂钛酸钡电子功能陶瓷的制备方法
本发明公开了一种掺杂钛酸钡电子功能陶瓷及其制备方法，它是由摩尔比＝0.84～1∶0.16～0∶1的Ba(NO<Sub>3</Sub>)<Sub>2</Sub>、Ca(NO<Sub>3</Sub>)<Sub>2</Sub>...
刘其斌翁源泉刘香东秦尤敏
文献传递
低能Cl原子刻蚀Si(100)表面的分子动力学模拟被引量：1
2011年
使用分子动力学模拟方法研究了不同能量(0.3—10eV)的Cl原子对表面温度为300K的Si(100)表面的刻蚀过程.模拟中采用了Tersoff-Brenner势能函数来描述Cl-Si体系的相互作用.模拟结果显示,随着入射Cl原子在表面的吸附达到饱和,Si表面形成一层富Cl反应层.这和实验结果是一致的.反应层厚度随入射能量增加而增加.反应层中主要化合物类型为SiCl,且主要分布于反应层底部.模拟结果发现随初始入射能量的增加,Si的刻蚀率增大.在入射能量为0.3,1和5eV时,主要的Si刻蚀产物为SiCl4.在入射能量为10eV时,主要的Si刻蚀产物为SiClx(x<4).分析表明随着入射能量的增加,Cl对Si的刻蚀从化学刻蚀向物理刻蚀转变.
贺平逆宁建平秦尤敏赵成利苟富均
关键词：分子动力学分子动力学模拟微电子机械系统
分子动力学方法的模拟参数对结果的影响
2009年
主要研究了利用分子动力学方法(MD)模拟等离子体与材料表面相互作用过程时分子动力学方法的参数对模拟结果的影响。详细分析了Berendsen热浴的应用时间、耦合强度和模拟时间量(单个轨迹的作用时间、弛豫时间)对模拟结果的影响,结果表明,热浴的应用时间对模拟结果的影响很大,而其它参数对模拟结果没有太大的影响。
秦尤敏吕晓丹宁建平张利纯赵成利贺平逆BogaertsA苟富君
关键词：分子动力学弛豫刻蚀
稀土掺杂钛酸钡电子功能陶瓷的制备方法
本发明公开了一种稀土掺杂钛酸钡电子功能陶瓷及其制备方法，它是由摩尔比＝0.9～0.999∶0.1～0.001∶1的BaCO<Sub>3</Sub>、Y<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>和TiO<Sub>2...
刘其斌刘香东翁源泉秦尤敏
文献传递
一种钛酸钡电子功能陶瓷及其制备方法
本发明公开了一种钛酸钡电子功能陶瓷及其制备方法，它是由钛酸丁酯、醋酸钡和冰醋酸、无水乙醇、聚乙烯醇制成的；方法为称取醋酸钡配制成水溶液，再取钛酸丁酯，加入冰醋酸和无水乙醇，搅拌下滴加醋酸钡水溶液，继续搅拌，形成混合溶液，...
刘其斌翁源泉刘香东秦尤敏
文献传递
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