2025年1月29日
星期三
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胡进
作品数:
48
被引量:52
H指数:5
供职机构:
苏州大学
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发文基金:
国家自然科学基金
江苏省高校自然科学研究项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
理学
机械工程
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合作作者
浦东林
苏州大学信息光学工程研究所
陈林森
苏州大学信息光学工程研究所
石世宏
苏州大学机电工程学院
魏国军
苏州大学信息光学工程研究所
朱鹏飞
苏州大学机电工程学院
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胡进
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浦东林
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魏国军
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史建军
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2012
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2011
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2010
1篇
2009
3篇
2008
2篇
2007
5篇
2006
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一种并行激光直写系统及光刻方法
一种并行激光直写系统及光刻方法,通过设置两个或多个图形发生器,将不同的图形发生器按不同的角度放置,使得每个角度的斜线都能通过对应图形发生器中的水平或垂直直线像素进行显示,从而消除了原有的斜线上的锯齿现象,并保证了直线和斜...
浦东林
胡进
朱鹏飞
魏国军
袁晓峰
陈林森
文献传递
光学加工系统和方法
本发明公开了一种光学加工系统,包括:加工平台,实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动;空间光调制器,产生设计图形;投影光学系统,包括第一透镜组、第二透镜组和滤波器,所述滤波器设于所述第一透镜组和第二透镜组之间且位...
胡进
浦东林
陈林森
文献传递
一种透射式分光光栅及干涉光刻系统
一种透射式分光光栅及干涉光刻系统,该透射式分光光栅包括位于入射面的光栅槽形区和位于该光栅槽形区外围的阻光区,所述光栅槽形区包括阶梯状光栅结构,该阶梯状光栅结构具有透射阶梯面和非透射区。该透射式分光光栅能够实现对±1级光的...
胡进
浦东林
陈林森
文献传递
一种光刻装置和光刻方法
一种光刻装置及光刻方法,该光刻装置根据光路的可逆原理在光阑的共轭位置处设置检测装置,可以检测光束在待刻物件表面的汇聚和成像信息,提高光刻光点的品质,同时该光刻方法应用上述光刻装置实现在刻蚀过程中无论由待刻物件表面的凹凸情...
浦东林
胡进
张月雨
唐灵
魏国军
周小红
陈林森
激光光内送丝熔覆方法与光内送丝装置
本发明激光光内送丝熔覆方法采用光内送丝装置,用圆锥镜将激光器发射的激光束变换为环形光束,再用环形聚焦镜聚焦成为环锥形光束,在环锥形光束中形成一锥形中空无光区,送丝管置于此无光区内并与环锥形光束同轴线。工作中丝材在环锥形光...
傅戈雁
石世宏
胡进
杨国家
韩学磊
文献传递
激光加工成形制造光内送粉工艺与光内送粉喷头
一种激光加工成形制造光内送粉工艺与光内送粉喷头,通过圆锥反射镜——圆环形聚焦反射镜扩束变换的方法,获得了圆环锥形聚焦光束,使投射至加工表面的聚焦光束中产生一较大中空无光区。单根送粉管由光束外伸入此圆环锥的无光区中并与光束...
石世宏
傅戈雁
王安军
张赟
朱鹏飞
胡进
文献传递
激光精密熔覆光粉同轴装置
一种激光精密熔覆光粉同轴装置,由筒体、聚焦镜、光束吸收体、固定于桶体上的送粉管,以及冷却水套、保护气管等,特征是:沿入射光方向设在筒体内腔的反射镜,镜面中心开有一通孔、与镜片外沿连通的通槽;在该反射镜背面的入射光延伸方向...
石世宏
傅戈雁
姚纯
史建军
黄家胜
苏敏
胡进
孙承峰
文献传递
一种直写式光刻加工系统及光刻方法
一种直写式光刻加工系统和光刻方法,该光刻加工系统包括能够运用傅立叶展开计算功能的控制系统和由该控制系统控制实现多次光刻的曝光系统。该光刻方法依据傅立叶分析原理,将待刻曲面展开为傅立叶多项式,然后根据多项式中各项余弦函数进...
胡进
浦东林
陈林森
文献传递
一种步进式光学加工系统和加工方法
一种步进式光学加工系统和光学加工方法,该系统包括加工平台、光学头、中央控制系统和位置补偿系统,其中位置补偿系统包括空间光调制器、位置检测系统和图形控制器,所述空间光调制器具有位置补偿区,该空间光调制器上显示的加工图形可以...
胡进
浦东林
魏国军
朱鹏飞
陈林森
文献传递
并行光刻直写系统
本发明公开了一种并行光刻直写系统,包括光源、图形发生系统、光学系统、控制系统、运动系统和工件平台,其特征在于:还设有聚焦伺服系统,所述聚焦伺服系统包括检测光路、传感器和调焦装置,所述光学系统由微缩系统和检测光路构成,其中...
浦东林
胡进
朱鹏飞
魏国军
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