谢建兵
- 作品数：125 被引量：49H指数：4
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金西安应用材料创新基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 一种SOI基微惯性传感器封装应力隔离方法
- 本发明公开了一种SOI基微惯性传感器封装应力隔离方法，属于微机电系统领域。该方法通过一种位于基底层(3)上的应力隔离结构实现，所述应力隔离结构形式为：基底(3)为一镂空结构，其包括外围的用于固定敏感结构层(1)的框架(4...
- 苑伟政郝永存谢建兵常洪龙
- 文献传递
- MEMS集成设计与制造技术进展被引量：1
- 2023年
- 芯片技术已成为制约我国高质量发展的瓶颈,基于微机电系统(MEMS)技术的高性能微传感器芯片更是备受欧美“卡脖子”的核心器件之一。“工欲善其事,必先利其器”,与微电子芯片类似,设计及制造技术也是制约MEMS芯片性能的关键。首先,从MEMS设计方法及工具出发,回顾MEMS设计方法从固定流程的结构化设计方法到任意流程的泛结构化设计方法的发展过程,介绍任意流程设计方法的优势,同时介绍目前世界上主流的商用MEMS设计工具并对比典型设计工具的优缺点。其次,介绍MEMS制造技术的特点及面临的挑战,着重分析国际上及几种典型的定制化制造技术以及西北工业大学提出的单掩膜与选择性释放制造方法。随后分析批量化制造技术的优势并给出了国内常见的批量化代工方法及典型批量化代工工艺。最后,指出高端MEMS设计与制造集成的必要性,以期为我国MEMS批量化制造发展提供参考。
- 苑伟政常洪龙谢建兵
- 关键词：MEMS
- 一体式微流控芯片接口、接口模具及接口制作、使用方法
- 本发明公开了一种一体式微流控芯片接口，属于微流控芯片领域。该接口包括封接于微流控芯片4之上的水平基体1和位于水平基体1上的若干凸台2；所述的凸台2内有连接管道3，连接管道3使微流控芯片4上的微通道与外界连通。此外，本发明...
- 苑伟政张峰常洪龙郝思聪丁继亮谢建兵陈方璐
- 微机电系统中三维实体到标准工艺版图的转换方法
- 一种微机电系统中三维实体到标准工艺版图的转换方法，其实现步骤如下：步骤一、三维实体文件信息提取和文件信息分类；步骤二、实体记录信息分类；步骤三、实体记录信息重构，同时将重构结果称为记录树；步骤四、从步骤三的实体记录信息重...
- 常洪龙苑伟政徐景辉谢建兵
- 文献传递
- 一种可支持任意流程的MEMS设计工具被引量：3
- 2006年
- 当前MEMSCAD软件中可以支持的设计流程比较固定和单一,已不能完全满足由MEMS器件种类日益增多所带来的设计新需求.论文提出了一种可支持任意流程的MEMS设计方法,并基于此建立了设计工具原型系统.该方法采用通用的系统级、器件级和工艺级的三级架构,但以网表、标准格式的实体模型和版图文件分别作为这三个级别设计数据的出入口.设计了相应的信息提取算法及程序,实现了任意两个级别之间的数据自动传递,从而可以支持在该架构下的全部六种设计流程.尤其是由系统级到器件三维实体再到工艺版图的设计流程为国际上率先实现,其从功能逐步综合到器件结构,可有效减少设计的迭代次数.设计实例表明,基于该工具可以针对不同的MEMS器件选择最优的设计路线,显著提高了MEMS的设计效率.
- 常洪龙谢建兵徐景辉阎子健苑伟政
- 关键词：设计自动化网表版图
- 微型固体化学推进器推力测量装置
- 本发明公开了一种用于测量微化学推进器推力的测量装置。所述装置包括：主要包括支撑部件、力平衡天平、MEMS惯性测量组合7、电容传感器13、微型固体化学推进器10，信号与处理系统。本发明的特点在于：通过力平衡天平实现了消除推...
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- 文献传递
- 一种双面贴附式的液体介电常数检测微波传感器
- 本发明公开了一种双面贴附式的液体介电常数检测微波传感器，属于微波传感器技术领域。该传感器主要包括薄壁容器3，紧密贴附在薄壁容器3内壁的金属缺陷地薄膜1，贴附在薄壁容器3外壁的金属微带线薄膜2；金属缺陷地薄膜1和金属微带线...
- 谢建兵陈俊伍栗子涵苑伟政
- 一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法
- 2006年
- 研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构,在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法,并采用VC++编程语言开发了相应的转换接口.最后通过典型MEMS器件——微机械加速度计进行了验证,结果表明这种转换方法是切实可行的.
- 徐景辉苑伟政常洪龙谢建兵
- 关键词：MEMSCAD版图接口
- 一种卧式自密封微推进器的制备方法
- 本发明公开了一种卧式自密封微推进器及其制备方法，用于纳、皮卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域。该推进器的燃烧室密封在硅基上燃烧室、隔离层和玻璃片之间，燃烧室形状可控，推进剂存...
- 袁建平侯建文谢建兵
- 文献传递
- 一种可限位锁止的静电驱动微夹持器
- 本发明公开了一种可限位锁止的静电驱动微夹持器，用于微操作系统、微小机器人、微装配、微焊接以及微小物体的搬迁操作，属于微机电系统领域。为克服现有技术中静电驱动微夹持器存在不带限位锁止功能、不能离线工作等缺点，本发明提出的可...
- 常洪龙张峰姜澄宇付乾炎谢建兵何洋苑伟政
