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赵延辉

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：理学一般工业技术动力工程及工程热物理冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 1篇冶金工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 6篇波长
  • 4篇介质材料
  • 4篇介质膜
  • 4篇工作波长
  • 4篇超分辨
  • 2篇单层膜
  • 2篇等效介电常数
  • 2篇亚波长
  • 2篇掩模
  • 2篇设计方法
  • 2篇倏逝波
  • 2篇膜结构
  • 2篇介电常数
  • 2篇介质
  • 2篇介质层
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光刻
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇干涉光刻
  • 2篇层膜

机构

  • 8篇中国科学院

作者

  • 8篇赵延辉
  • 6篇王长涛
  • 6篇罗先刚
  • 4篇杜春雷
  • 2篇崔建华
  • 2篇史立芳
  • 2篇刘尧
  • 2篇徐挺

年份

  • 3篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇1900
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种利用多层金属介质膜结构实现亚波长干涉光刻的方法
一种利用多层金属介质膜结构实现亚波长干涉光刻的方法，其特征在于以下步骤：首先选择基底材料；在基底表面旋涂抗蚀剂；在抗蚀剂表面交替蒸镀金属材料薄膜和介质材料薄膜，形成交替排布的金属层和介质层；设计周期结构图形掩模并放置于上...
王长涛徐挺史立芳赵延辉崔建华杜春雷罗先刚
文献传递
一种能够实现成像功能的多层金属介质膜的设计方法
一种能够实现成像功能的多层金属介质膜的设计方法，其特征在于：首先选择入射波；再选择两组一定厚度的金属材料和介质材料，将两组中的金属和介质分别交替排布构成两种多层金属介质膜结构，根据入射波作用下每种材料的介电常数和每层膜的...
罗先刚赵延辉杜春雷王长涛
文献传递
一种能够实现成像功能的多层金属介质膜的设计方法
一种能够实现成像功能的多层金属介质膜的设计方法，其特征在于：首先选择入射波；再选择两组一定厚度的金属材料和介质材料，将两组中的金属和介质分别交替排布构成两种多层金属介质膜结构，根据入射波作用下每种材料的介电常数和每层膜的...
罗先刚赵延辉杜春雷王长涛
文献传递
一种实现超分辨成像功能的金属介质膜结构
一种实现超分辨成像功能的金属介质膜结构，其特征在于包括下列步骤：(1)选择入射光，其波长为λ；(2)选择金属材料和介质材料，介电常数分别为ε<Sub>m</Sub>和ε<Sub>d</Sub>；(3)交替排布金属薄膜和介...
王长涛刘尧赵延辉罗先刚
文献传递
多层金属介质薄膜结构中的表面等离子体耦合在超分辨成像结构中的应用
光学成像和加工的分辨率要受到衍射极限的限制。衍射极限起源于光的波动本性及电磁波的传输特性。但衍射极限也并非是不可逾越的屏障;现在已经有很多方法可以实现超越衍射极限的分辨率和加工精度。但利用光学和光刻的方法进行加工具有造价...
赵延辉
关键词：超分辨成像衍射极限
一种实现超分辨成像功能的金属介质膜结构
一种实现超分辨成像功能的金属介质膜结构，其特征在于包括下列步骤：(1)选择入射光，其波长为λ；(2)选择金属材料和介质材料，介电常数分别为ε<Sub>m</Sub>和ε<Sub>d</Sub>；(3)交替排布金属薄膜和介...
王长涛刘尧赵延辉罗先刚
文献传递
多层金属介质薄膜结构中的表面等离子体定向耦合及其在超分辨成像结构中的应用
赵延辉
关键词：超分辨成像
一种利用多层金属介质膜结构实现亚波长干涉光刻的方法
一种利用多层金属介质膜结构实现亚波长干涉光刻的方法，其特征在于以下步骤：(1)首先选择基底材料；(2)在基底表面旋涂抗蚀剂；(3)在抗蚀剂表面交替蒸镀金属材料薄膜和介质材料薄膜，形成交替排布的金属层和介质层；(4)设计周...
王长涛徐挺史立芳赵延辉崔建华杜春雷罗先刚
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