2025年4月18日
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陈远流
作品数:
93
被引量:15
H指数:3
供职机构:
浙江大学
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国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
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金属学及工艺
电子电信
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合作作者
居冰峰
浙江大学
朱吴乐
浙江大学
张威
浙江大学
李国
浙江大学
陶冶
浙江大学
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作者
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陈远流
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居冰峰
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朱吴乐
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张威
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李国
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陶冶
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2016
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2014
4篇
2013
5篇
2012
1篇
2011
共
93
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基于锁相放大的微纳切削刀具切削刃轮廓原位测量方法
本发明提供了一种基于锁相放大的微纳切削刀具切削刃轮廓原位测量方法,包括如下步骤:S1、离线评定参考结构;所述参考结构是由集成力传感器的两轴快速刀具伺服机构驱动微纳切削刀具加工得到的微纳结构,使用微纳形貌测量仪器测量所述参...
陈远流
陈甫文
文献传递
基于自适应控制的快刀伺服系统切削力补偿加工方法
本发明涉及一种基于自适应控制的快刀伺服系统切削力补偿加工方法,属于超精密加工技术领域,该方法先对快刀伺服系统建立机电模型,基于机电模型建立并设置自适应鲁棒控制算法,然后对可切削材料进行平面车削实验进而拟合车削过程中的切削...
陈远流
夏凯阳
刘根深
李忠伟
一种基于压电陶瓷传感器的三分量回转式测力计
本发明涉及精密测量技术领域,具体涉及一种基于压电陶瓷传感器的三分量回转式测力计,包括三维力传递承载座、侧面力传递柔性机构、端部力传递柔性机构、外围侧板组件和转接法兰;外围侧板组件通过螺钉与X向力传递柔性机构、Y向力传递柔...
陈远流
沙凯杰
林焕彬
李忠伟
居冰峰
倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺
本发明公开了一种倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺。该工艺用钨丝作为制备探针的材料,将钨丝浸没到碱性电解溶液中作为阳极,用耐腐蚀的铂金丝绕在钨丝周围作为阴极,相继采用直流和占空比可调的脉宽电压信号,确定钨...
居冰峰
陈远流
张威
廉孟冬
钟薇薇
文献传递
一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜
本实用新型公开一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜。L型基座底板、第一转接板、X轴手动平移台、Y轴手动平移台、X轴直流电动平移台、Y轴直流电动平移台、手动倾角台、第二转接板、样品台顺次相连,L型基座侧板上部...
居冰峰
陈远流
张威
朱吴乐
杨舜尧
基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置及加工方法
本发明涉及超精密伺服加工技术领域,具体涉及一种基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置及加工方法。一种基于超精密伺服加工系统的曲面光栅加工装置,包括工件定位机构、X轴运动机构、Y轴运动机构、刀具;还包括Z轴运动机构、力检...
陈远流
魏中华
吴晓峰
曹生炜
杜姗
杜凯
李国
一种低噪声高带宽隧道电流前置放大电路
本发明公开一种低噪声高带宽隧道电流前置放大电路。低噪声高带宽隧道电流前置放大电路连接在探针与后续控制电路之间,它由两级放大单元构成,第一级放大单元用于降低信号噪声;第二级放大单元用于提高信号带宽;所述的第一级放大单元为跨...
居冰峰
陈远流
张威
朱吴乐
姜燕
文献传递
一种利用显微投影制备三维微结构的装置及方法
本发明公开了一种利用显微投影制备三维微结构的装置及方法。本发明包括图案生成器、图案显示器、投影光源、准直透镜、结像透镜、显微物镜、样品基板以及Z轴运动平台。图案显示器、投影光源、准直透镜、结像透镜及显微物镜组成一个光学系...
孙安玉
曲凯歌
钟皓泽
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居冰峰
朱吴乐
陈远流
一种可实现单轴、双轴及三轴力检测功能的机械柔性机构
本发明涉及超精密加工技术领域,具体涉及一种可实现单轴、双轴及三轴力检测功能的机械柔性机构,其包括基体、单轴力检测柔性机构、双轴力检测柔性机构、三轴力检测柔性机构以及多个位移检测装置,单轴力检测柔性机构、双轴力检测柔性机构...
陈远流
李忠伟
陈甫文
居冰峰
超精密切削加工测量共体融合关键技术及应用
陈远流
杜凯
李国
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李忠伟
陶冶
刘士荃
曹中浩
居冰峰
跨尺度微纳结构表面是微纳米精细结构在大尺寸范围内根据一定几何规律大规模分布而形成的一类具有特定功能的表面。其精细结构特征尺寸小至数百纳米,而整体尺寸可达数米,具有普通微纳结构无法比拟的功能集群化和高效化优势,在航空航天、...
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车床
金刚石刀具
控制方法
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