陈鉴
- 作品数：9 被引量：32H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 基于硅结构的微流体控制系统被引量：25
- 2002年
- 基于硅结构的微流体控制系统 (μFCs)是微机电系统 (MEMS)中的一个重要分支 ,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状 ,同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。
- 程秀兰蔡炳初徐东陈鉴王莉
- 关键词：微流体控制系统微机电系统微型泵微型阀MEMS
- TiNi/Si复合膜微驱动器原理及结构参数优化
- 2001年
- 应用有限元方法对TiNi/Si复合膜微驱动器的结构设计进行了分析。因TiNi和Si之间的热膨胀系数差别很大 ,溅射在Si( 1 0 0 )衬底上的TiNi膜 ,当从晶化的高温降下来时会积聚很大的热应力。这种微驱动器 ,就是利用了TiNi的形状记忆效应而引起的这些应力的释放与恢复从而引起复合膜的振动。图形化TiNi薄膜制成加热电阻条作为自加热电阻 ,可降低功耗、提高响应速度、简化结构。但作为驱动单元的一部分 ,其图形化的结构参数对复合膜的挠度有很大的影响。通过结构参数优化 ,可使复合膜的中心挠度值达到最大 ,从而提高驱动器的性能。
- 陈鉴蔡炳初徐东王莉程秀兰
- 关键词：微驱动器形状记忆效应TINI结构参数优化
- SMA/Si复合膜微驱动器图案优化设计
- 2001年
- 图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响 ,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析。通过结构分析和温度场分析 ,圆形电阻条变宽的设计有助于进一步提高驱动膜的性能。仿真结果对于优化驱动膜的设计具有指导意义。
- 陈鉴程秀兰徐东王莉蔡炳初
- 关键词：SMA复合膜微驱动器形状记忆效应优化设计
- 形状记忆合金薄膜驱动微泵的动态特性被引量：6
- 2002年
- 一种用形状记忆合金薄膜驱动的新型微泵已经研制成功。为了进一步提高微泵性能 ,研究了微泵在不同驱动条件下的动态特性。结果表明 ,随着驱动电流和频率的增加 ,驱动膜有一个最大的位移值。占空比对最大位移的影响在有无流体情况下是不同的。微泵的流量不仅仅由驱动膜的位移决定 ,它还与驱动频率有关。在给定的频率下 ,位移越大 ,输出流量也越大。动态驱动过程中NiTi电阻的变化表明 ,形状记忆合金薄膜的马氏体 奥氏体相转变是不完全的。
- 徐东王莉丁桂甫周勇俞爱斌程秀兰陈鉴蔡炳初
- 关键词：形状记忆合金微泵
- 驱动膜图案化设计及分析
- 为了满足形状记忆效应的温度条件,我们将复合驱动膜中的形状记忆合金薄膜图形化成电阻条形式作为自身加热电阻.本文提出了两种电阻条图案设计方案,并通过采用有限元法对其进行了分析,否定了一种方案,对另一中方案中出现的问题提出了改...
- 陈鉴程秀兰徐东蔡炳初
- 关键词：微驱动器有限元分析形状记忆效应
- 文献传递
- 双晶型SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟
- 本文建立了SMA薄膜/基片的耦合数学模型,对溅射在基片上的SMA薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟,结果表明SMA薄膜/基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结构,该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多.该模型...
- 王莉蔡炳初徐东陈鉴
- 关键词：微驱动器SMA
- 文献传递
- SMA/Si复合驱动膜的温度场仿真研究
- 本文利用有限元方法对SMA/Si复合驱动膜的温度场进行了仿真研究.研究表明,在周期性加热情况下,在驱动膜稳定工作后,Si框的温度会稳定在一个与膜内温度相当的较高值,而驱动膜内各处温度则在一固定的范围内随电脉冲周期振荡,各...
- 陈鉴王莉徐东程秀兰蔡炳初
- 关键词：有限元分析
- 文献传递
- R相变驱动的TiNi/Si复合泵膜的研究
- TiNi形状记忆合金薄膜微驱动器是微机电系统(MEMS)中研究应用的一个重要方向.对于富Ti薄膜,由于其R相变的热滞极小,有助于改善驱动膜的频响特性.本文采用常规微细加工的方法制备了这种具有R相变的TiNi/Si复合泵膜...
- 程秀兰陈鉴徐东蔡炳初丁桂甫王莉
- 关键词：微机电系统形状记忆合金微泵
- 文献传递
- 复合膜微驱动器的优化设计与研制
- 该文便对这种形状记忆合金薄膜驱动的复合膜微驱动器进行了理论研究和有限元仿真分析,对结构进行优化设计和实验研究.结构几何参数在设计中是一个影响器件性能的非常重要的因素,该文应用薄板大挠度理论对驱动膜进行了初步的理论研究.把...
- 陈鉴
- 关键词：微驱动器有限元分析优化设计复合膜
