靳慧智
- 作品数:6 被引量:7H指数:2
- 供职机构:郑州大学更多>>
- 发文基金:河南省科技攻关计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>
- 微-纳米复合金刚石薄膜的制备与性能研究被引量:2
- 2008年
- 在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄膜微结构进行分析并采用压痕法检测了膜基间的结合力并观察了压痕的状态。结果表明,该薄膜下层颗粒粗大,是微米级的金刚石,上层颗粒细小,是纳米级的金刚石,薄膜表面平整光滑;薄膜的附着力与纳米金刚石沉积时间的长短有关,当沉积时间为2h时,薄膜与衬底的结合力最好。
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- 关键词:MPCVD附着力
- 柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法与应用
- 本发明涉及一种柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法与应用。其包括金属柔性衬底层、研磨层,在所述金属柔性衬底层和研磨层之间设置有过渡层,所述过渡层是在所述金属柔性衬底层的抛光面上溅射沉积而形成的金属过渡层,所述研磨层是通过添...
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- 文献传递
- 一种柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法
- 本发明涉及一种柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法。包括金属柔性衬底层、Ni过渡层、金刚石薄膜层和纳米金刚石薄膜层。本发明采用Ni做过渡层,使用MPCVD法制备金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜,提高了附着力,并通过调整以下关键工...
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- 金刚石薄膜摩擦学性能研究进展被引量:3
- 2009年
- 化学气相沉积的金刚石薄膜通常是一种表面粗糙的多晶薄膜,其摩擦系数相对于单晶金刚石明显偏高,制约着其在摩擦学领域的应用。本文介绍了近年来国内外学者为提高金刚石薄膜摩擦学性能而进行的探索研究及其发展现状。简要分析了影响金刚石薄膜摩擦学性能的主要因素,并提出金刚石薄膜应用于摩擦学领域需要重视解决的几个问题。
- 靳慧智史新伟陈林峰姚宁张兵临王新昌
- 关键词:化学气相沉积
- 一种柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法
- 本发明涉及一种柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法。包括金属柔性衬底层、Ni过渡层、金刚石薄膜层和纳米金刚石薄膜层。本发明采用Ni做过渡层,使用MPCVD法制备金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜,提高了附着力,并通过调整以下关键工...
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- 文献传递
- 提高CVD金刚石薄膜附着力的方法及其研究进展被引量:2
- 2008年
- 概述了金刚石薄膜与衬底附着力研究的最新进展,详细讨论了衬底材料的性质、衬底预处理方法、过渡层、负偏压以及CVD沉积条件对金刚石薄膜附着力的影响,总结出提高附着力的主要方法,并分析了金刚石薄膜的应用状况,指出了扩大金刚石薄膜应用的新方向及存在的主要问题。
- 周秋霞史新伟靳慧智姚宁王新昌
- 关键词:金刚石薄膜附着力