2024年8月7日
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余建平
作品数:
24
被引量:22
H指数:3
供职机构:
浙江大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
经济管理
一般工业技术
电气工程
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合作作者
王文
浙江大学
陈子辰
浙江大学
文耀华
浙江大学
卢科青
浙江大学
朱珠
浙江大学
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压电陶瓷驱动...
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机构
21篇
浙江大学
作者
21篇
余建平
15篇
王文
12篇
文耀华
12篇
陈子辰
10篇
卢科青
5篇
朱珠
3篇
邱利民
2篇
陈国邦
2篇
黄志秀
1篇
高贯斌
1篇
吴尧锋
1篇
郑建耀
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陆军华
1篇
林铿
1篇
张选高
1篇
孙涛
1篇
赵莉
年份
2篇
2013
5篇
2012
7篇
2011
2篇
2010
1篇
2004
1篇
1997
2篇
1995
1篇
1990
共
24
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面向精密定位的平面电容式多自由度位移测量传感器关键技术研究
多自由度的精密位移测量广泛应用于半导体及光学元器件的加工定位、细胞的操纵所需的定位及操纵、超精密机床的运动驱动等,是保证加工、定位、控制精度的关键技术。传统的多自由度精密位移测量系统需要多组单自由度传感器组合而成,存在着...
余建平
关键词:
微弱信号检测
主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置
本发明公开了一种主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置。由安装于被测主轴轴端经过精密车削的法兰、四个点激光发生器、四个CCD相机(简称CCD)及其它附件组成。测量过程中法兰随被测主轴一起转动,四个点激光发生器发射四束激...
王文
文耀华
卢科青
余建平
陈子辰
一种基于柱面电容传感器的主轴五自由度测量方法与装置
本发明公开了一种基于柱面电容传感器的主轴五自由度运动误差测量方法与装置。在阶梯形转子的小端安装定子,定子的内柱面中安装四个径向电极,四个电极与转子小端构成四个电容,靠近阶梯形转子的大端面一侧的定子侧面安装四个等分布置的端...
王文
文耀华
卢科青
余建平
陈子辰
基于柱状电容传感器的主轴六自由度位移解耦测量方法
本发明公开了一种基于柱状电容传感器的主轴六自由度位移解耦测量方法。它由一个电容传感器转子和一个电容传感器定子组成。电容传感器转子安装在主轴上,上面设置有三段电容电极,为一个等电位电极;电容传感器定子上设置有三段电容传感电...
王文
余建平
卢科青
文耀华
陈子辰
文献传递
一种两自由度微动定位平台
本实用新型公开了一种两自由度微动定位平台。它由基座、X方向放大杠杆、Y方向放大杠杆、复合平行四杆导向机构以及运动平台组成,X方向与Y方向的压电陶瓷驱动器相互垂直地分别放置在基座上的两个矩形槽内,驱动器的输出端通过拧紧预紧...
王文
朱珠
余建平
文献传递
两自由度微动定位平台
本发明公开了一种两自由度微动定位平台。它由基座、X方向放大杠杆、Y方向放大杠杆、复合平行四杆导向机构以及运动平台组成,X方向与Y方向的压电陶瓷驱动器相互垂直地分别放置在基座上的两个矩形槽内,驱动器的输出端通过拧紧预紧螺母...
王文
朱珠
余建平
文献传递
一种基于平面电容的六自由度位移测量方法
本发明公开了一种基于平面电容的六自由度位移测量方法。由移动极板和固定极板组成;固定极板上分布有正方形的电容电极阵列;移动极板上分布有八个矩形传感电容电极;八个传感电容电极分成四组,每组的两个电极在测量方向存在1/4周期位...
余建平
王文
卢科青
文耀华
陈子辰
文献传递
基于柱状电容传感器的主轴六自由度位移解耦测量方法
本发明公开了一种基于柱状电容传感器的主轴六自由度位移解耦测量方法。它由一个电容传感器转子和一个电容传感器定子组成。电容传感器转子安装在主轴上,上面设置有三段电容电极,为一个等电位电极;电容传感器定子上设置有三段电容传感电...
王文
余建平
卢科青
文耀华
陈子辰
逆向工程中多传感器集成的数字化测量技术及装备
陈子辰
王文
卢科青
韦东波
陆军华
高贯斌
林铿
卢新祖
徐由华
郭重宝
陈盛广
余建平
吴尧锋
文耀华
张选高
1.课题来源与前景:如何快速、高效、准确地进行复杂产品的质量检测和产品的快速数字化逆向设计一直是机械领域的前沿研究方向。主要采用接触式测头、激光测头等单一传感器的测量技术,在常规的坐标测量机使用这些单一的测头对产品的几何...
关键词:
关键词:
坐标测量机
传感器
逆向工程
两自由度微动定位平台
本发明公开了一种两自由度微动定位平台。它由基座、X方向放大杠杆、Y方向放大杠杆、复合平行四杆导向机构以及运动平台组成,X方向与Y方向的压电陶瓷驱动器相互垂直地分别放置在基座上的两个矩形槽内,驱动器的输出端通过拧紧预紧螺母...
王文
朱珠
余建平
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