张清华
- 作品数：46 被引量：100H指数：6
- 供职机构：成都精密光学工程研究中心更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
- 全口径抛光中抛光盘表面形状的修正方法及装置
- 本发明提供一种全口径抛光中抛光盘表面形状的修正方法及装置。全口径抛光中抛光盘表面形状的修正方法，该方法包括以下步骤：1)检测抛光盘的表面形状误差并确定修正装置的定点去除函数；2)设定覆盖整个抛光盘表面的修整路径；3)计算...
- 廖德锋张清华赵世杰谢瑞清陈贤华张浩宇钟波王健许乔
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- 光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制装置
- 本实用新型提供一种大口径薄板光学元件磨削加工面形误差和平行度误差控制装置。光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制装置，包括真空吸盘，所述真空吸盘上表面设置有均布的竖直向下的竖向吸附孔，且所述真空吸盘在横向和纵向设置有...
- 周炼张剑锋陈贤华张清华刘民才赵世杰谢瑞清王健
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- 不同温度生长DKDP晶体的性质被引量：2
- 2014年
- 用点籽晶快速生长法在不同温度区间生长了四块氘含量60%DKDP晶体,观察了不同温度下晶体生长过程,同时测量了晶体的透过光谱、摇摆曲线和1053nm激光损伤阈值。结果表明,在高温区间晶体生长外形优于低温生长的晶体。不同温区晶体的透过光谱并无明显变化,但是随着生长温度的降低,晶体的结构完整性变差,1053nm激光损伤阈值降低。
- 程秀凤徐明霞刘宝安张清华张剑锋王正平孙洵许心光
- 关键词：DKDP晶体温度摇摆曲线激光损伤阈值
- 大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置
- 本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置，空气压缩机、储气罐、过滤器、电磁阀、调速阀和气动滑台之间依次通过气管连接，所述气动滑台安装在支撑架上，所述气动滑台端部连接触发测头，所述触发测头的上下...
- 金会良张清华邓文辉唐才学徐曦袁志刚侯晶陈贤华
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- 光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制方法
- 本发明提供一种大口径薄板光学元件磨削加工面形误差和平行度误差控制控制方法。光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制方法，该方法包括以下步骤：1)磨削真空吸盘；2)磨削元件；3)面形误差控制；4)平行度误差控制。本发明基...
- 周炼张剑锋陈贤华张清华刘民才赵世杰谢瑞清王健
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- CO_(2)激光改性溶胶-凝胶SiO_(2)薄膜光谱及紫外纳秒激光损伤特性研究被引量：1
- 2023年
- 研究了经过CO_(2)激光处理的溶胶-凝胶SiO_(2)薄膜的物理化学性能和抗激光损伤性能,研究结果表明激光处理后薄膜表面变得更加光滑,粗糙度从14.08 nm降低到9.76 nm,下降了30%以上;薄膜的厚度随着CO_(2)激光处理功率增加有所降低,经过20 W激光处理后薄膜的厚度下降了17%~28%,而薄膜的弹性模量和硬度等力学性能获得提升,弹性模量从1.5 GPa增加到6 GPa,硬度从40 MPa增加到110 MPa;傅里叶变换红外光谱测试结果表明激光处理后薄膜的傅里叶光谱峰值从1 125 cm^(-1)移动至1 120 cm^(-1),薄膜中的硅原子和氧原子的平均桥键角变小,原因为CO_(2)激光处理时会使局部温度升高,会加速Si—OH键脱水缩合,孔隙率降低,吸收下降。采用紫外纳秒激光对薄膜进行损伤测试,结果显示经过12 W CO_(2)激光处理后的薄膜与未经过CO_(2)激光处理的薄膜相比损伤面积更小,而损伤阈值从4.8 J·cm^(-2)上升到7 J·cm^(-2),提升了46%;经过16 W和20 W CO_(2)激光处理的薄膜紫外纳秒激光损伤阈值没有明显变化,原因为较高功率CO_(2)激光处理导致薄膜表面发生烧蚀沉积,沉积物会影响紫外纳秒损伤阈值无法有效改善薄膜的激光损伤性能。研究结果表明CO_(2)激光处理技术可以有效改善溶胶-凝胶SiO_(2)薄膜的弹性模量、硬度等力学性能和抗激光损伤性能,CO_(2)激光的功率对薄膜性能影响较大,CO_(2)激光处理是一种有效的提升溶胶-凝胶SiO_(2)薄膜紫外纳秒激光损伤特性的技术手段。
- 袁凯欣卓瑾张清华李亚国
- 关键词：激光处理
- 溶胶-凝胶法制备有机硅掺杂有机/无机复合疏水性减反射膜的研究被引量：5
- 2007年
- 以正硅酸乙酯(TEOS)和硅油为前驱体,在碱性催化体系中制备出有机硅改性二氧化硅溶胶,采用提拉法获得了具备疏水性能的二氧化硅减反膜。通过透射电镜、扫描探针显微镜、红外光谱、分光光度计、表面轮廓仪等多种方法研究了改性后的膜层性能。在高湿度环境中存放两周后,在波长确定的情况下,常规二氧化硅减反膜透过率由99.2%降到了96.5%,疏水改性膜层透过率仍然高于99%。与常规减反膜相比,疏水改性减反膜在高湿度条件下防止潮气侵蚀的性能得到了大幅度的提高。
- 刘会娟陈宁张清华江波
- 关键词：疏水性有机硅溶胶-凝胶
- 大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法
- 本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法。大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法，先进行光学元件侧边平行于水平坐标轴的调节，然后对光学元件表面沿中心轴线对称坐标位置的Z向进行调平，最后...
- 金会良张清华邓文辉唐才学徐曦袁志刚侯晶陈贤华
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- 光学元件面形修复的刻蚀装置
- 本实用新型提供了一种对光学元件的面形进行高精度修复的刻蚀装置，包括装架、刻蚀头、三维移动平台和计算机，所述刻蚀头安装在三维移动平台上，三维移动平台通过控制线与计算机相连，所述刻蚀头由放置易挥发有机溶剂的容器和刻蚀液容器组...
- 许乔侯晶张清华王健雷向阳周礼书陈宁
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- 溶胶-凝胶法制备SiO2增透膜
- 利用溶胶-凝胶法在碱性条件下和K9玻璃上提拉制备了SiO2增透膜。研究了溶胶浓度(SiO2 含量)对膜层增透性能的影响;镀膜提拉速度对膜层透过率、表面粗糙度的影响。结果表明溶胶浓度对膜层增透波段有决定性的影响。在特定波长...
- 曾觉发赵芯陈宁张清华江波
- 关键词：溶胶-凝胶增透膜表面粗糙度
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