张燕
- 作品数：108 被引量：238H指数：8
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学文化科学医药卫生更多>>
- 改变背景辐射研究碲镉汞中波光导探测器低频噪声
- 2006年
- 针对工程研发中发现的两种碲镉汞中波光导探测器1 KHz 下噪声在封装前后变化幅度不同的现象,通过改变背景辐射条件测量得到了两种器件的低频噪声频谱。对两种器件的低频噪声频谱分析表明,噪声大的器件在改变背景辐射条件前后都以 1/f 噪声为主。为探明较大 1/f 噪声的来源问题,对器件铟金电极的成份做了 SIMS 测试。分析测试结果发现,噪声性能较差器件的电极中含有大量的杂质铝及锌,表明由于电极成份不纯带来的接触状况不良是造成器件较大低频 1/f 噪声的原因。
- 任仁乔辉刘大福孔令才张燕李向阳
- 关键词：低频噪声金属杂质碲镉汞
- 一种矫正焦平面探测器倒焊工艺系统误差的工艺方法
- 本发明公开了一种矫正焦平面探测器倒焊工艺系统误差的工艺方法。本方法在高平整度透明材料上生长铟柱，剥离后得到试样，试样上同步制备了测量尺标记。两块试样倒焊互连后，利用测量尺标记，对倒焊的对准精度进行测量。然后同设备自带的标...
- 蔡子健许金通张燕李向阳
- 文献传递
- GaN基紫外探测器读出电路注入效率被引量：1
- 2017年
- 读出电路的注入效率是决定紫外焦平面探测器性能的重要因素。基于Ga N基p-i-n结构日盲紫外探测器以及CTIA结构读出电路的等效模型,对探测器信号读出的电荷注入效率进行了分析,得到了注入效率的表达式。分析了注入效率与积分时间、探测器等效电阻、探测器等效结电容、CTIA电路中运算放大器增益的依赖关系,并指出了放大器增益是有效影响注入效率的重要可控因素之一,可以用提高增益的方法获得更大的注入效率。设计了几种不同增益的运算放大器电路,并分别构成CTIA结构读出电路。采用GF 0.35μm 2P4M标准CMOS工艺设计电路版图并进行流片。将紫外探测器分别连接至具有不同放大器增益的CTIA读出电路并进行测试,通过对比注入效率的理论分析结果与实际测试结果,可以得知,注入效率的理论分析与实验结果吻合较好。
- 马丁刘福浩刘福浩李向阳
- 关键词：紫外探测器
- 1024×1024 AlGaN紫外焦平面读出电路的超低功耗设计被引量：1
- 2020年
- 提出了一种新型的超低功耗读出电路用于18μm中心距1 024×1 024面阵规模的AlGaN紫外焦平面。为了实现低功耗设计紫外焦平面读出电路,采用了三种设计方法,包括:电容反馈跨阻放大器CTIA结构采用工作在亚阈值区的单端输入运算放大器,列像素源随缓冲器和电平移位电路共用同一个电流源负载以及列级缓冲器的分时尾电流源设计。由于像素单元内CTIA采用了单端输入运算放大器,在3.3 V供电电压下,每个像素单元最小工作电流仅8.5 nA。该读出电路设计了可调偏置电流电路使读出电路能得到更好的性能并基于SMIC 0.18μm 1P6M混合信号工艺平台进行了设计制造。测试结果表明:由于采用了上述设计方法,整个芯片的功耗在2 MHz时钟8路输出模式下仅67.3 mW。
- 谢晶李晓娟张燕李向阳
- 关键词：读出电路紫外焦平面超低功耗
- 碲镉汞光导器件在风云气象卫星中的应用被引量：1
- 2023年
- 风云气象卫星是中国作为世界大国的“标配”之一,高效服务于我国国民经济和社会发展,有效提升了中国作为世界负责任大国的国际形象。红外探测器作为风云气象卫星的“眼睛”,其性能直接关系到风云卫星的应用效果。碲镉汞光导器件作为第一代光子型红外探测器,在我国风云气象卫星事业的发展壮大中起到了关键作用,尤其是作为全国产化高性能红外探测器,在如今风云变幻的国际环境中更是为我国气象卫星事业的继续发展起到了“定海神针”的作用。本文中以目前在轨运行的风云卫星为基础,概述了在我国风云气象卫星中应用的碲镉汞光导器件的最新性能,也为该系列高性能红外探测器的后续商业化推广应用进行了展望。
- 乔辉王妮丽贾嘉兰添翼许金通杨晓阳张燕李向阳
- 关键词：气象卫星碲镉汞光导器件
- 湿法化学腐蚀在GaN基材料中的应用
- 本文计算了AlGaN材料在不同温度KOH水溶液中的湿法腐蚀速率,并研究了湿法化学腐蚀GaN基材料对消除干法刻蚀所引入损伤的作用。为了对比湿法化学腐蚀消除干法刻蚀损伤的效果,分别利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(...
- 陈杰许金通王玲李向阳张燕
- 关键词：化学腐蚀干法刻蚀反向漏电
- 文献传递
- 不同响应波长的HgCdTe光导器件噪声分析被引量：6
- 2008年
- 研究了不同响应波长的HgCdTe器件在不同背景辐射条件下的噪声变化。随着背景辐射的增加,甚长波器件的噪声减小,而中波器件相反。噪声频谱测量表明,产生-复合噪声分量和1/f噪声分量是器件的主要噪声来源,并且这两个分量随背景的变化趋势相同。非平衡载流子和器件有效寿命的理论分析,表明器件噪声随背景辐射的变化存在一个极大值,而中波和甚长波器件处在不同的作用区域内,接受到的背景辐射对载流子浓度和器件有效寿命的影响不同,从而噪声变化表现不同。在此基础上,提出了"临界背景通量密度"的概念。
- 张燕方家熊
- 关键词：噪声HGCDTE
- Au／n-InP接触的热反应特性被引量：1
- 2005年
- 研究了离子束溅射制备的Au／n—InP欧姆接触在退火前后的界面特性。400℃10min退火后，比接触电阻比退火前降低了约两个数量级。利用俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)研究了接触的表面和界面的冶金性质。实验结果表明在室温下InP中的In就可以扩散到接触的表面，退火后Au的价态升高，AuxIny合金中In的含量增加。退火后，在接触与n—InP的界面产生一个P聚集区，同时Au与InP反应生成Au2P3，金属-InP界面Au2P3的生成是比接触电阻降低的原因。
- 李萍陆胜天张燕龚海梅
- 关键词：AESXPS比接触电阻
- 一种具有挡光环结构的冷光阑
- 本发明公开了一种具有挡光环结构的冷光阑。其特点是在冷光阑的内壁合理的增加两个挡光环，同时挡光环的表面还涂覆一层性能良好的“黑色”涂层，从而能有效的减少杂散光。该设计能很好的提高系统的信噪比，增加对比度，改善整个系统的探测...
- 张燕贺香荣王小坤曾志江李淘张文静范广宇
- 文献传递
- AlGaN紫外探测器p电极的Ni/Au/Ni/Au欧姆接触结构研究被引量：1
- 2016年
- 研究了AlGaN半导体p电极的Ni/Au/Ni/Au接触结构的性能和组织结构。退火前,p电极接触具有明显的整流特性。经空气中550℃/3 min一次退火和N。气氛中750℃/30 s二次退火后,电极呈现出了良好的欧姆接触。采用扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)、透射电镜(`ansmission Electron Microscope,TEM)、能量分散谱仪(Energy Dispersive Spectrometer,EDS)和X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS)观察了电极退火后金半界面微结构的演化过程。结果表明,完全退火后的p电极界面及金属层出现了明显的互扩散和界面反应现象;金-半界面上形成了存在良好共格/半共格关系的外延结构。初始沉积的金属电极分层现象消失,形成了单一的电极结构。Ni向外扩散并与0发生反应,Au扩散至p-GaN表面。在金半接触界面上,Ga扩散至金属电极,造成界面附近的金属层中富集Au和Ga元素;Au和Ni明显扩散至半导体表层,在金半界面附近形成了Au、Ga和Ni富集现象。这些现象应该对于降低势垒高度和形成欧姆接触具有重要作用。
- 祁昌亚胡正飞张燕李向阳张振童慧
- 关键词：ALGAN欧姆接触退火微结构
