徐德权
- 作品数：7 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置
- 本发明涉及具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置。解决了现有装置无法实现刻蚀深度在线检测的问题。通过对原有的扫描式离子束刻蚀装置的改进，在真空室内的平移工作台一侧设陪片；在离子束阑上设石墨挡板；平移工作台和观...
- 徐作冬刘颖徐向东徐德权洪义麟付绍军
- 文献传递
- 条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)被引量：2
- 2007年
- 针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%均匀性的较好结果.刻蚀实验表明40 cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5.4%,同时具有较好的束流稳定性.添加束阑,并结合掩模修正束流,会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性.
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- 关键词：离子束刻蚀机
- 几种常用光学材料的离子束刻蚀特性研究被引量：5
- 2007年
- 利用基于射频离子源的离子束刻蚀装置,分别以氩气、三氟甲烷为工作气体,初步研究了离子能量、束流和加速电压等条件对K9、石英、氧化硅薄膜、氧化铪薄膜这4种常用光学材料和光刻胶的离子束刻蚀特性和反应离子束刻蚀特性的影响.实验结果表明:以三氟甲烷为工作气体的反应离子束刻蚀,在较低离子能量、束流和加速电压的条件下,就可对氧化硅薄膜和氧化铪薄膜实现较高的刻蚀选择比(分别为2.5∶1和1∶1).并在此基础上,研制出亚微米周期的氧化硅光栅和氧化铪光栅,其中氧化硅光栅线条的侧壁倾角大于85°;氧化铪光栅在1064 nm自准直入射角下的负一级衍射效率高于95%.
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- 关键词：离子束刻蚀选择比衍射光学元件
- 衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测被引量：1
- 2008年
- 基于楔形光学平板的等厚干涉原理,提出了一种透射衍射光学元件扫描离子束刻蚀深度的在线检测方法,用一块与被刻蚀光学元件材料相同的楔形薄片作为陪片,在刻蚀过程中将其遮挡一半,利用陪片等厚条纹的错位去测量其刻蚀深度,从而间接检测出被刻蚀光学元件的刻蚀深度。在KZ-400大型离子束刻蚀装置上建立了这种在线检测装置。多次实验表明,在线检测结果同台阶仪的测量结果基本吻合,二者相差不超过10 nm。本检测方法能够可靠、准确地用来确定刻蚀终点,已经成功应用于位相型Ronchi光栅等大口径位相衍射光学元件的刻蚀制作。本方法还可以用于对其他透明材料的微结构进行扫描刻蚀深度在线检测。
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- 关键词：刻蚀深度在线检测等厚干涉衍射光学元件
- 光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法
- 本发明涉及衍射光学、微细制作等科学领域，具体涉及扫描离子束刻蚀中在线光学扫描检测装置与方法。该装置包括离子束刻蚀工作台、置于离子束刻蚀系统真空室内的光学平面反射镜及置于真空室外的激光器、光电探测器、数字电压表和计算机数据...
- 刘颖徐向东洪义麟徐德权付绍军
- 文献传递
- 具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置
- 本发明涉及具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置。解决了现有装置无法实现刻蚀深度在线检测的问题。通过对原有的扫描式离子束刻蚀装置的改进，在真空室内的平移工作台一侧设陪片；在离子束阑上设石墨挡板；平移工作台和观...
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- 文献传递
- 光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法
- 本发明涉及衍射光学、微细制作等科学领域，具体涉及扫描离子束刻蚀中在线光学扫描检测装置与方法。该装置包括离子束刻蚀工作台、置于离子束刻蚀系统真空室内的光学平面反射镜及置于真空室外的激光器、光电探测器、数字电压表和计算机数据...
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- 文献传递
