您的位置： 专家智库 > >

戴文俊

作品数：35 被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 35篇中文专利

领域

  • 3篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 14篇研磨
  • 9篇晶圆
  • 6篇研磨液
  • 5篇修整
  • 5篇化学机械研磨
  • 5篇半导体
  • 4篇物料输送系统
  • 3篇修整器
  • 3篇在线检测
  • 3篇自动化
  • 3篇夹具
  • 3篇粗糙度
  • 2篇导轨
  • 2篇电镀
  • 2篇电缆连接
  • 2篇电路
  • 2篇信号
  • 2篇信号接收
  • 2篇信号接收器
  • 2篇循环方式

机构

  • 35篇上海集成电路...
  • 1篇上海集成电路...

作者

  • 35篇戴文俊
  • 4篇李佳青
  • 4篇王毅博
  • 2篇黄仁东

年份

  • 3篇2023
  • 1篇2022
  • 2篇2019
  • 6篇2018
  • 4篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 8篇2013
  • 2篇2012
共 35 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
研磨液分配臂
本发明公开了一种研磨液分配臂，属于半导体技术领域。研磨液分配臂位于研磨台面正上方，其可以包括：第一机械臂、第二机械臂和控制模块，第一机械臂与第二机械臂的一端连接，第二机械臂的另外一端设置有研磨液输出口，所述控制模块通过控...
戴文俊
文献传递
一种研磨液的混液供应装置
本发明涉及化学机械研磨领域，特别是涉及一种研磨液的混液供应装置，包括混合组件、供应桶、供压组件；所述混合组件包括旋转节流阀；所述旋转节流阀包括板面紧密贴合的下方固定板及上方旋转板；在前端第一腔室的对应区域内设置有研磨原液...
戴文俊黄仁东
一种单片式U盘
本实用新型提供了一种单片式U盘，所述单片式U盘包括：U盘本体，所述U盘本体内设置有顺次连接的存储单元、存储控制单元及输入输出单元，所述U盘本体外的一端部的两相对侧面设置有触点，所述触点与所述输入输出单元连接。通过在U盘本...
戴文俊
文献传递
自动化物料输送系统及物料传送方法
本发明的自动化物料输送系统，包括：在储物架顶部的末端设置有可伸缩支架；可伸缩支架的底部设有首尾相连的封闭式导轨，导轨至少有一部分与可伸缩支架沿伸缩方向的中心轴线对齐；导轨上从前到后悬挂有若干可伸缩抓取装置，可伸缩抓取装置...
李佳青王毅博戴文俊
文献传递
液体供应系统消泡装置
本实用新型提供一种液体供应系统消泡装置及清洗方法，消泡装置悬空设于所述液体槽顶部，包括消泡部件、液泡传感器、进气阀、进液管、进气管、排液管和排气管；原液自进液口装载入所述液体槽，混液叶轮旋转带动所述原液产生液泡，液泡传感...
戴文俊
动力排液防倒灌接头
本实用新型公开了一种动力排液防倒灌接头，包括：连接母口，与一排液管相连；连接公口，连接于所述连接母口；防倒灌装置，设置于所述连接公口内。本实用新型在不改变现有设备的情况下，在排液管内增设防倒灌接头，可以在地势有落差及排放...
戴文俊
文献传递
一种在线检测研磨垫使用周期的装置及检测方法
本发明公开了一种在线检测研磨垫使用周期的装置及检测方法，利用声波在不同介质中传输速度的差异来具体量化研磨垫的使用寿命，通过超声波检测方式对研磨垫进行厚度测量，可得到当前研磨垫的厚度准确数据，从而能够实时检测研磨垫的磨损情...
戴文俊
自动化物料输送系统及物料传送方法
本发明的自动化物料输送系统，包括：在储物架顶部的末端设置有可伸缩支架；可伸缩支架的底部设有首尾相连的封闭式导轨，导轨至少有一部分与可伸缩支架沿伸缩方向的中心轴线对齐；导轨上从前到后悬挂有若干可伸缩抓取装置，可伸缩抓取装置...
李佳青王毅博戴文俊
文献传递
一种化学机械研磨头的夹具
本实用新型公开了一种化学机械研磨头的夹具，其中，不锈钢夹具与塑料缓冲垫之间的结合为物理固定方式，使得不锈钢夹具与塑料缓冲垫变得更容易分离，更换更简易，由此，当塑料缓冲垫需要更换时，仅将其予以更换即可，降低了成本。此外，也...
戴文俊
文献传递
晶圆推进器及晶圆干燥槽
本实用新型公开了晶圆推进器及晶圆干燥槽，包括驱动机构和推进块，所述驱动机构与推进块电气连接，所述驱动机构用于驱动推进块沿预设的路径运动，所述推进块为立方体，所述立方体的侧面顶部设有至少有一个向立方体内表面凹陷的凹槽，所述...
戴文俊
文献传递
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0