朱佳利
- 作品数:10 被引量:27H指数:2
- 供职机构:南京师范大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金江苏省科技厅产学研前瞻性项目江苏省普通高校研究生科研创新计划项目更多>>
- 相关领域:理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器,是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的:在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽,位移柱的端面以及光纤的端面形成法...
- 王鸣戴丽华蔡东艳朱佳利贾晟尤晶晶张丛丛
- 文献传递
- 一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法
- 本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构,质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为...
- 王鸣尤晶晶戴丽华朱佳利
- 文献传递
- 光纤法布里-珀罗微压传感器被引量:20
- 2014年
- 设计并研制了一种新型光纤法布里珀罗压力传感器,通过光刻、硅片刻蚀、阳极键合等微机电系统技术制作而成,适合恶劣环境下、狭小空间内的微压环境压力测量。详细阐述了传感器的结构设计和制作方式。该设计巧妙地利用了光纤法兰盘,保证了光纤端面与敏感膜的平行,从而形成高质量的法布里珀罗干涉腔。该结构也有利于初始腔长的稳定,减小了传感器误差。建立了实验解调系统,对其压力、温度等特性进行了详细的测试。实验结果表明,在0-0.1 MPa的压力范围内,传感器线性度好,重复性高,灵敏度达到了61.6 μm/MPa。
- 朱佳利王鸣蔡东艳贾晟
- 关键词:传感器光纤传感器法布里-珀罗微机电系统技术
- 波纹膜片式法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法
- 本发明公开了一种波纹膜片式法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法。光纤压力传感器包括波纹膜片、玻璃圆环、光纤法兰盘和光纤插头,其中,玻璃圆环的一个端面与波纹膜片粘结,其另一端的外壁与光纤法兰盘的凹槽粘结;光纤插头与光纤...
- 王鸣陈露朱佳利沈萌
- 文献传递
- 新型结构的光纤的微压传感器的研究
- 光纤法布里-珀罗传感器自上世纪八十年代开始发展,现已成为传感领域一个研究热点。此类传感器结构简单、测量精度高、抗电磁干扰、化学性质稳定,且普遍体积小、质量轻,便于集成传感网络,能在狭窄空间和恶劣环境下正常工作,在工程建设...
- 朱佳利
- 关键词:光纤传感微压传感器微机电系统磁控溅射
- 含杂质一维原子链热导Monte Carlo模拟
- 2011年
- 在弹性碰撞模型基础上,采用Monte Carlo随机抽样计算方法,并考虑局部温度控制局部碰撞顺序,我们研究掺杂对一维原子链热导的影响.对等质量一维原子链的热导模拟结果显示出一个非常稳定的平衡态,呈现出一个近似的温度梯度分布,满足Fourier定律.当链中含单个杂质时,杂质质量和位置都会使整个链的温度分布发生改变,杂质附近的温度振荡幅度最大,而且杂质质量相差越大,杂质附近的温度振荡幅度越大,杂质原子附近因巨大的热运动差异会导致断裂发生.链上原子质量无序分布时,无序度越大,高温端的端口处温度差越大,越容易发生断裂,而且无序度δ>1.0,链的中部虽有较大振荡,但仍呈现线性分布,满足Fourier定律.
- 杨理潘亮朱佳利杨钰刘红
- 波纹膜片式光纤法布里-珀罗压力传感器被引量:5
- 2016年
- 设计并研制了一种新型的波纹膜片式光纤法布里-珀罗压力传感器,运用仿真软件对波纹膜片进行膜片参数的优化,完成了波纹膜片式法布里-珀罗压力传感器的结构设计与制备,同时用搭建的微压传感器测试系统对压力传感器进行了测试。实验结果表明,本传感器在0-0.1 MPa的压力范围内,线性度好,重复性好,灵敏度高。
- 陈露朱佳利李泽焱王鸣
- 关键词:光纤光学光纤传感器微压法布里-珀罗
- 微型法布里-珀罗干涉剪应力传感器的设计及仿真被引量:2
- 2012年
- 针对微流体检测对高灵敏度和较大动态测量范围的要求,设计了一种由SU-8光刻胶一体合成的微型法布里-珀罗(F-P)干涉剪应力传感器。结构兼具SU-8胶微尺寸材料优越的力学性能和法布里-珀罗传感测量高精度和抗干扰性的优点,采用新型组合型浮动块设计,利用圆柱状底座提高对敏感膜形变的感知,提高传感器的结构响应。探讨了提高剪应力灵敏度和线性度的方法,通过CoventorWare软件数值模拟,确定模型的最优参数,仿真计算得出在o~10Pa范围内其灵敏度可以达到0.252nm/Pa(光谱偏移/剪应力);相比较于传统的设计,在相同的作用下,组合型浮动块的机械位移量增加了约40.85%,提高了敏感元件的灵敏度。仿真结果表明,该模型由于采用一体化材料可以降低工作环境温度对传感器的影响,同时具备可靠的性能,为剪应力传感器设计的改进提出了可行的方案。
- 戴丽华王鸣戎华尤晶晶朱佳利
- 关键词:传感器剪应力
- 微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器,是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的:在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽,位移柱的端面以及光纤的端面形成法...
- 王鸣戴丽华蔡东艳朱佳利贾晟尤晶晶张丛丛
- 文献传递
- 一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法
- 本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构,质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为...
- 王鸣尤晶晶戴丽华朱佳利
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