王明权
- 作品数:8 被引量:29H指数:4
- 供职机构:北京中电科电子装备有限公司更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程更多>>
- 划片机气静压电主轴热变形的有限元分析被引量:4
- 2007年
- 分析划片机气静压电主轴的发热和热传递;建立气静压电主轴的热-应力有限元分析模型,用ANSYS软件计算主轴的温度场分布及主轴的热变形值。根据计算结果,提出减小主轴热变形及消除热变形造成的加工误差的措施。
- 王明权易传云
- 关键词:有限元分析温度场热变形
- 划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究被引量:5
- 2010年
- 划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术。
- 王明权卫桁
- 关键词:空气轴承主轴电机动平衡热变形
- 全自动划片机的关键技术研究被引量:11
- 2007年
- 根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施。
- 王明权王宏智
- 划片机气静压电主轴的冷却与热传递研究被引量:5
- 2006年
- 应用传热学理论计算主轴电机冷却水、切割冷却水、主轴外表面及空气轴承排气时的热传递系数;然后提出恒定主轴传热系数的措施。
- 王明权孔德生
- 关键词:对流换热热传递
- 高速空气静压电主轴的振动及控制策略被引量:4
- 2011年
- 从主轴的结构和工作机理出发,分析气锤振动、受迫共振、机械振动及电机不平衡磁拉力等引起主轴振动的关键因素,依据分析结果提出减小或消除主轴振动的措施。
- 王明权李战伟贾月明
- 关键词:机械振动不平衡磁拉力
- 空气静压电主轴过盈联接研究
- 2011年
- 空气静压电主轴将转轴与电机转子过盈联接,实现了主轴的零传动,转轴与电机转子间的过盈量是影响主轴性能的重要因素。根据力学理论对空气静压电主轴过盈联接进行了设计和校核,并利用有限元分析软件ANSYS动态模拟了转轴与电机转子压装过程的接触应力,证实了该联接的可靠性。
- 贾月明王明权李战伟
- 关键词:过盈联接接触应力有限元分析
- 切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度的设计被引量:1
- 2011年
- 径向承载力及刚度是影响切割机空气静压电主轴高转速下工作稳定性的重要因素,也是切割机空气静压电主轴重要的设计指标。本文采用工程计算方法,对切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度进行设计计算。
- 李战伟王明权贾月明
- 关键词:切割机刚度
- 划片机气静压电主轴热态特性研究
- 2006年
- 从划片机气静压电主轴的工作机理出发,研究主轴电机的功率损耗发热、空气轴承的气膜剪切摩擦发热;根据分析结果提出减小主轴发热和加强散热的措施。
- 王明权
- 关键词:功率损耗空气轴承