蒋艳莉
- 作品数：5 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中航工业北京航空制造工程研究所更多>>
- 发文基金：国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- 硼离子注入对SiC-C/SiC复合材料抗氧化性影响被引量：4
- 2005年
- 通过等离子体源离子注入法(PSII),对带有SiC涂层的C纤维增强SiC基(SiCC/SiC)复合材料进行硼离子注入,研究了硼离子注入对样品抗氧化性能的影响。通过俄歇电子能谱检测分析了样品成份的深度分布。在空气中1300℃的高温条件下进行了氧化实验。通过XRD和扫描电镜分别对样品的化学组成和表面形貌进行了表征,对样品的力学性能进行了测试。结果表明,对SiCC/SiC复合材料注入硼有助于提高其抗氧化性能。经过离子注入试样的弯曲性能与未经离子注入试样相比变化很小。
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- 关键词：离子注入复合材料等离子体源
- 等离子体在零件表面强化与改性中的应用
- 2004年
- 离子注入与沉积技术在诸多领域有着广泛的应用。文章主要介绍微波ECR与MEVVA等离子体源及其相关设备的工艺特点 ,同时也介绍了它们在材料表面改性等方面的一些实际应用情况。
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- 关键词：表面强化工艺改性技术磁感应强度
- 乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响被引量：1
- 2007年
- 采用离子注入与反应磁控溅射相结合的方法在钛合金及硅片基体表面上制备了纳米TiC类金刚石(DLC)复合膜.通过纳米压痕技术检测了薄膜的纳米硬度,显微划痕试验评估了薄膜的结合力.通过X射线光电子能谱及X射线衍射表征了薄膜的化学结构.结果表明,通过改变C2H2气体流量,可以达到控制薄膜中钛原子含量的目的,合适的C2H2气体流量可以在DLC膜中形成较多的纳米TiC晶粒,形成DLC包覆TiC晶粒的复合结构,使DLC膜力学性能得到明显提高.另外,划痕试验表明掺钛、先注入后沉积工艺都使薄膜的结合力得到了较大提高.
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- 关键词：类金刚石膜力学性能
- SiC-C/SiC复合材料进行硼离子注入的工艺研究
- 2005年
- 叙述采用等离子体源离子注入法(PSII),对带有SiC涂层的C纤维增强SiC基(SiC-C/SiC)复合材料进行硼离子注入的工艺研究。通过朗缪尔单探针测量了等离子的密度,对注入剂量进行了估算。对复合材料采用加金属网的工艺,来提高离子注入能量。用俄歇电子能谱检测分析了加金属网与未加金属网样品硼离子的成分深度分布。证明了加金属网工艺可以有效改善不良导体的注入效果。在空气中1300℃的高温条件下进行了氧化实验,实验结果说明对SiC-C/SiC复合材料注入硼有助于提高其抗氧化性能。
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- 关键词：离子注入复合材料等离子体源
- 动态混合注入与沉积法制备TiN膜层被引量：1
- 2005年
- 采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层。用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌。对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著。
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- 关键词：膜层离子注入形貌划痕
