陈继凯
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 双声路声表面波质量传感器的研究被引量：2
- 2003年
- 在LiNbO3晶片上设计并实现了一种新型的双声路延迟线型声表面波质量传感器。利用光刻工艺在每个声传播路径上构造了一个方形质量沉积区,当有物质沉积到该区时,由于质量沉积效应,声表面波的波速发生变化,使以延迟线作为反馈回路的振荡器的振荡频率发生变化,并通过这一变化反映出沉积物的质量。为了补偿温度对器件传输频谱的影响,该器件采用双声路结构,一路为传感声路,一路为参考声路。介绍了器件的设计、工艺流程和测试方法,最后对测试结果进行了分析和讨论。测试结果表明该传感器的温度系数为7Hz/°C,灵敏度为4.9×10-6cm2/g。
- 陈继凯朱大中黄浙隆
- 关键词：声表面波传感器
- 双声路声表面波质量沉积效应传感器研究
- 该课题研制了一种SAW质量沉积效应传感器.在LiNbO<,3>晶片上设计并实现了一种新型的双声路延迟线型声表面波质量传感器.利用光刻工艺在每个声传播路径上构造了一个方形质量沉积区,当有物质沉积到该区时,由于质量沉积效应,...
- 陈继凯
- 关键词：传感器反馈回路振荡器SAW器件测试电路
- 文献传递
