徐永强 作品数:4 被引量:8 H指数:2 供职机构: 中国电子科技集团第十三研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
Φ100mm掺硫InP单晶生长研究 被引量:6 2004年 InP以其众多的优越特性使之在许多高技术领域有广泛应用。掺硫n型InP材料用于激光器、LED、光放大器、光纤通信等光电领域。为了降低成本和适应新型器件制造的要求,本文进行了直径100mm掺硫InP单晶生长和性质研究。首先解决了大容量直接合成技术,其次解决了大直径单晶生长的关键技术,保证了一定的成晶率。采用降低温度梯度等措施,降低位错密度,提高晶体完整性。制备出100mm掺硫InP整锭<100>InP单晶和单晶片。经过测试其平均EPD小于5×104cm-2,载流子浓度大于3×1018cm-3。本文还对影响材料成晶的放肩角进行了研究,一般生长大直径单晶采用大于70°或平放肩技术都可以有效地避免孪晶的产生。 徐永强 李贤臣 孙聂枫 杨光耀 周晓龙 谢德良 刘二海 孙同年关键词:磷化铟 单晶生长 位错密度 用于微波单片和功率管的GaAs VPE材料 吕云安 严振斌 徐永强 张藏珍 何梅芬 艾广勤 刘玉兰等 一、成果内容简介:采用常用规的Ga/AsCl<,3>/H<,2>氯化物气相外延的方法,在Si-GaAs单晶衬底上生长出适用于CaAsMMIC和功率MESFET的2in与3inn+/n/n-/Si-GaAs多层外延材料并具...关键词:关键词:半导体工艺 微波器件 功率晶体管 汽相外延 2英寸高均匀性GaAs多层外延材料 徐永强 吕玉安关键词:砷化镓 汽相外延生长 富磷熔体中生长的φ100 mm掺硫InP单晶研究 被引量:5 2004年 采用原位磷注入合成法在高压单晶炉内合成富磷的磷化铟 (In P)熔体 ,并利用液封直拉法 (LEC)生长出了 1 0 0 mm In P掺硫单晶材料。对富磷单晶分别用快速扫描光荧光谱技术、腐蚀金相法和扫描电镜进行了研究。结果表明在富磷量足够大的情况下 ,晶片上会出现孔洞 ,并对孔洞周围位错的形成原因及分布进行了分析。 1 0 0 mm In P单晶的平均位错密度也没有明显的增加 ,为今后生长更大尺寸的完整 In 周晓龙 安娜 孙聂枫 徐永强 杨光耀 谢德良 刘二海 李光平 周智慧 董彦辉 孙同年关键词:位错密度