李广波
- 作品数：17 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 纳米平板硅波导的特性研究
- 基于麦克斯韦方程和数值计算方法对芯层厚度在纳米尺度的空气包层电介质光波导的导波特性进行了分析。编程得到了包层、芯区、衬底三部分各自能量的比例关系;有效折射率随芯区厚度变化的规律;群折射率和群速度随波长变化的规律;以及色散...
- 肖司淼李宇波李广波江晓清王明华杨建义
- 关键词：有效折射率群速度色散
- 文献传递
- 玻璃基硅光波导的研制被引量：1
- 2005年
- 采用硅-玻璃键合和选择性腐蚀技术研制出了玻璃上硅(SOG)光波导材料。所研制出的光波导材料表面质量主要取决于所用绝缘体上硅(SO I)材料。当所用SO I材料为基于SIMOX技术的材料时,表面RM S粗糙度为3nm左右,自相关长度为100nm左右。采用SOG材料所制作出的脊型光波导的传输损耗与相应的SO I材料上制作出的光波导相当。这种光波导材料既具有SO I材料的众多优点,还可以在器件制作中同时实施硅的下界面处理,同时它采用玻璃作为波导的下限制层,得到较厚的下限制层。
- 李广波龙文华贾科淼江晓清王明华王跃林杨建义
- 关键词：集成光学硅键合
- 1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制被引量：2
- 2005年
- 采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高,平均损耗约为4.9dB,不均匀性约为1.72dB.
- 龙文华李广波贾科淼屈红昌唐衍哲吴亚明杨建义王跃林
- 关键词：阵列波导光栅硅基二氧化硅集成光学
- 用于光传感器的光波导等离子体表面波效应分析
- 本文针对基于光波导的金属等离子体表面波传感器的特征需要，分析了金属层与缓冲层的参数对灵敏度的影响，由此可以优化基于光波导的SPW 传感器的结构参数。分析表明，缓冲层的厚度值的选取对器件灵敏度有着大的影响。
- 李广波杨建义江晓清李锡华王明华王跃林
- 关键词：传感器灵敏度
- 文献传递
- 用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法
- 本发明公开了一种用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法，在完成将绝缘体上硅片和衬底片进行清洗、烘干后，将绝缘体上硅片的顶层硅一侧和衬底片进行键合，并去除键合后的绝缘体上硅片的底层硅，获得单晶硅纳米膜。采用本发明制备的硅...
- 杨建义李广波肖思淼李宇波江晓清王明华
- 文献传递
- SiO_2 8×8阵列波导光栅的研制被引量：1
- 2006年
- 在Si基Si O2材料上设计并制作了中心波长为1.55μm、通道间隔为0.8nm的8×8阵列波导光栅(AWG)。详细介绍了器件的设计、制作和测试,并对测试结果及工艺误差进行了深入的分析讨论。封装后的测试结果显示,器件的3dB带宽为0.22nm;中央通道输入时,最小和最大插入损耗分别为4.01dB和6.32dB;边缘通道输入时,最小和最大插入损耗分别为6.24dB和9.02dB;对比不同通道输入时输出通道的中心波长,其偏移量低于0.039nm;器件的通道间串扰小于-25dB;偏振依赖损耗(PDL)小于0.3dB。
- 李广波龙文华贾科淼唐衍哲吴亚明杨建义王跃林
- 关键词：光波分复用集成光学
- 一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及制作方法
- 本发明涉及一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及其制备方法。针对微观下静电驱动力小的问题，采用硅梁和二氧化硅膜作为共同支撑部件，共同支撑中间可动部件。既增加了支撑强度又提高了静电力驱动下的位移；针对用梁支撑的可动结构...
- 龙文华杨建义李广波贾科淼王跃林
- 文献传递
- 玻璃基硅光波导及纳米波导研究
- 光通信的迅猛发展对集成光学提出了越来越高的要求，光电子的集成可以大大降低成本，提高器件性能和实现复杂的功能。但是目前各种光波导分立器件都因为体积太大而不利于集成，作为光波导器件的基体，光波导的小型化研究对于集成的重要性显...
- 李广波
- 关键词：集成光学平面光波回路绝缘体上硅玻璃体
- 文献传递
- 用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法
- 本发明公开了一种用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法，在完成将具有数百到数纳米厚度的绝缘体上硅片和衬底片进行清洗、烘干后，将绝缘体上硅片的顶层硅一侧和衬底片进行键合，并去除键合后的绝缘体上硅片的底层硅，获得单晶硅纳米...
- 杨建义李广波肖思淼李宇波江晓清王明华
- 文献传递
- 一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及制作方法
- 龙文华杨建义李广波贾科淼王跃林
- 本发明涉及一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及其制备方法。针对微观下静电驱动力小的问题，采用硅梁和二氧化硅膜作为共同支撑部件，共同支撑中间可动部件。既增加了支撑强度又提高了静电力驱动下的位移；针对用梁支撑的可动结构...
- 关键词：
- 关键词：硅可移动微结构二氧化硅
