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李志伟
作品数:
6
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
魏鸿源
中国科学院半导体研究所
杨少延
中国科学院半导体研究所
朱勤生
中国科学院半导体研究所
王占国
中国科学院半导体研究所
刘祥林
中国科学院半导体研究所
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中文专利
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电子电信
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机构
6篇
中国科学院
作者
6篇
刘祥林
6篇
王占国
6篇
朱勤生
6篇
李志伟
6篇
杨少延
6篇
魏鸿源
4篇
焦春美
4篇
桑玲
4篇
赵桂娟
3篇
刘长波
2篇
宋亚峰
2篇
王建霞
2篇
时凯
2篇
王俊
1篇
刘贵鹏
年份
1篇
2015
4篇
2012
1篇
2011
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6
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一种生长富In组分非极性A面InGaN薄膜的方法
本发明公开了一种生长富In组分非极性A面InGaN薄膜的方法,包括:取一衬底,并在金属有机化学气相外延(MOCVD)设备的反应室中对该衬底进行高温氮化处理;利用MOCVD技术在衬底上生长非极性A面InGaN柔性层和低温G...
赵桂娟
李志伟
桑玲
刘贵鹏
刘长波
谷承艳
魏鸿源
刘祥林
朱勤生
杨少延
王占国
文献传递
一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法
本发明公开了一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法,利用MOCVD设备在r面蓝宝石衬底上以InGaN插入层和GaN低温缓冲层作为弱键合层生长a面氮化镓的自剥离薄膜,具体包括:取一蓝宝石衬底;在MOCVD设备中通入氨...
王建霞
李志伟
赵桂娟
桑玲
刘长波
魏鸿源
焦春美
杨少延
刘祥林
朱勤生
王占国
文献传递
利用温度周期调制生长氧化锌材料的方法
一种利用温度周期调制生长氧化锌材料的方法,该方法包括以下步骤:步骤1:选用一衬底,并在MOCVD设备的低温生长区中对衬底进行锌化处理;步骤2:用载气将含锌源的金属有机化合物和笑气分别通入MOCVD设备的低温生长区中,在低...
时凯
刘祥林
魏鸿源
焦春美
王俊
李志伟
宋亚峰
杨少延
朱勤生
王占国
文献传递
制备非极性A面GaN薄膜的方法
本发明提供了一种制备非极性A面GaN薄膜的方法。该方法包括:在衬底上生长非极性A面InGaN柔性层;在非极性A面InGaN柔性层生长非极性A面GaN缓冲层;对非极性A面InGaN柔性层和非极性A面GaN缓冲层进行退火,形...
赵桂娟
李志伟
桑玲
魏鸿源
刘祥林
朱勤生
杨少延
王占国
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利用温度周期调制生长氧化锌材料的方法
一种利用温度周期调制生长氧化锌材料的方法,该方法包括以下步骤:步骤1:选用一衬底,并在MOCVD设备的低温生长区中对衬底进行锌化处理;步骤2:用载气将含锌源的金属有机化合物和笑气分别通入MOCVD设备的低温生长区中,在低...
时凯
刘祥林
魏鸿源
焦春美
王俊
李志伟
宋亚峰
杨少延
朱勤生
王占国
一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法
本发明公开了一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法,利用MOCVD设备在r面蓝宝石衬底上以InGaN插入层和GaN低温缓冲层作为弱键合层生长a面氮化镓的自剥离薄膜,具体包括:取一蓝宝石衬底;在MOCVD设备中通入氨...
王建霞
李志伟
赵桂娟
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