李海涛
- 作品数：4 被引量：10H指数：2
- 供职机构：东北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术冶金工程更多>>
- 微型溅射离子泵极小抽速精确测量的意义和难点被引量：3
- 2020年
- 抽速小于10-4 m^ 3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10-2 m^3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需。制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10-5~10-4 m ^3/s量级,与被测微型真空泵抽速在同一数量级,以及现有测量方法无法适用于极小抽速的测量。在论述微型溅射离子泵极小抽速测量的重要意义及分析其难点的基础上,调研了极小抽速测量研究的最新进展,提出了极小抽速测量的构想,期望能为实现微型溅射离子泵极小抽速的精确测量提供帮助。
- 郭美如成永军孙雯君任正宜陈江王佐磊董猛吴成耀李海涛李海涛
- 微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究被引量：1
- 2021年
- 为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究。得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布变化,并分析了这些因素对抽速的影响。在搭建的实验平台上对微型溅射离子泵进行了抽速测量,得到了不同工作电压下抽速随压力变化的曲线,并与理论抽速相对比,模拟结果、实验数据与理论抽速有较好的一致性。对溅射离子泵的设计与改进具有参考价值。
- 耿健郭美如王晓冬张世伟成永军孙雯君黄海龙李海涛任正宜吴成耀
- 关键词：抽气特性
- 计算机控制技术在铝电解中的应用被引量：6
- 2004年
- 随着计算机技术的发展 ,电解铝厂中已普遍应用了计算机自动控制技术 ,这一先进技术也给铝厂带来了巨大的经济效益和社会效益。铝电解过程中的能量平衡和物料平衡是自动控制系统的核心 ,本文结合当今电解铝厂中实际应用的自动控制技术 ,对能量平衡和物料平衡原理进行了详细的阐述 。
- 李海涛王兆文高炳亮邱竹贤
- 关键词：能量平衡物料平衡槽电阻氧化铝浓度
- 计算机控制技术在铝电解中的应用
- 随着计算机技术的发展,电解铝厂中已普遍应用了计算机自动控制技术,这一先进技术也给铝厂带来了巨大的经济效益和社会效益.铝电解过程中的能量平衡和物料平衡是自动控制系统的核心,本文结合当今电解铝厂中实际应用的自动控制技术,对能...
- 李海涛王兆文高炳亮邱竹贤
- 关键词：铝电解能量平衡物料平衡槽电阻氧化铝浓度
- 文献传递
