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王翱岸

作品数：9 被引量：10H指数：2
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 6篇电铸
  • 5篇金属
  • 4篇真空
  • 4篇真空退火
  • 4篇退火
  • 4篇微电铸
  • 4篇超声
  • 3篇微器件
  • 3篇光栅
  • 3篇高深宽比
  • 2篇电铸镍
  • 2篇微结构
  • 2篇界面结合强度
  • 2篇金属光栅
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇SU-8光刻...
  • 2篇超声技术
  • 2篇尺寸
  • 2篇尺寸精度

机构

  • 9篇大连理工大学

作者

  • 9篇王翱岸
  • 8篇杜立群
  • 4篇赵明
  • 3篇李成斌
  • 2篇张晓蕾
  • 2篇赵珊珊
  • 2篇谭志成
  • 1篇刘冲
  • 1篇刘剑飞
  • 1篇赵明
  • 1篇徐征
  • 1篇宋满仓

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 2篇2014
  • 3篇2013
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
金属基底上制备高深宽比金属微光栅的方法
金属基底上制备高深宽比金属微光栅的方法，属于微制造技术领域。采用UV-LIGA技术在高纯镍板基底J上，经两次匀胶、分层曝光以及一次显影等光刻工艺过程得到SU-8胶胶膜，再经微电铸镍N、微电铸后处理来实现金属微光栅的制作；...
杜立群赵明鲍其雷谭志成王翱岸
文献传递
超声提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法
本发明公开了一种通过超声技术来提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法，属于微制造技术领域，特别涉及到提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法。其特征是：在光刻过程中，在后烘之后、显影之前进行超声处理来提高S...
杜立群张晓蕾王翱岸赵明赵珊珊
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一种提高微电铸铸层厚度均匀性的超声辅助电铸方法
一种提高微电铸铸层厚度均匀性的超声辅助电铸方法，属于微制造技术领域，涉及到微电铸金属类，特别涉及到一种提高微电铸铸层厚度均匀性的超声辅助电铸方法。其特征是在超声辅助微电铸的工序中，将装有阴极背板、阳极和电铸液的电铸槽置于...
杜立群刘冲刘剑飞王翱岸李成斌徐征宋满仓
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金属基底上制备高深宽比金属微光栅的方法
金属基底上制备高深宽比金属微光栅的方法，属于微制造技术领域。采用UV-LIGA技术在高纯镍板基底J上，经两次匀胶、分层曝光以及一次显影等光刻工艺过程得到SU-8胶胶膜，再经微电铸镍N、微电铸后处理来实现金属微光栅的制作；...
杜立群赵明鲍其雷谭志成王翱岸
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一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法，属于微制造技术领域，涉及金属基底微电铸金属器件类，特别涉及到一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法。其特征是在高纯镍板基底上，通过多次SU-8光刻胶套刻、制备导电层、多次微...
杜立群李成斌王翱岸
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金属微器件制作及超声提高铸层结合力的研究
随着MEMS技术的飞速发展，金属微器件作为微传感/执行器的核心部件在医疗、生物、航空航天等领域的需求日益增多。同时，基于UV-LIGA技术制作金属微结构的方法也逐渐受到人们的关注。微电铸是UV-LIGA技术的核心工艺，在...
王翱岸
关键词：UV-LIGA技术
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超声提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法
本发明公开了一种通过超声技术来提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法，属于微制造技术领域，特别涉及到提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法。其特征是：在光刻过程中，在后烘之后、显影之前进行超声处理来提高S...
杜立群张晓蕾王翱岸赵明赵珊珊
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在金属基底上制作高深宽比金属微光栅的方法被引量：8
2015年
根据光学领域对高深宽比金属微器件的需求,利用UV-LIGA工艺在金属基底上制作了具有高深宽比的金属微光栅。采用分层曝光、一次显影的方法制作了微电铸用SU-8胶厚胶胶模,解决了高深宽比厚胶胶模制作困难的问题。由于电铸时间长易导致铸层缺陷,故采取分次电铸等措施得到了电铸光栅结构;同时通过线宽补偿的方法解决了溶胀引起的线宽变小问题。在去胶工序中,采用"超声-浸泡-超声"循环往复的方法。最终,制作了周期为130μm、凸台长宽高为900μm×65μm×243μm的金属微光栅,其深宽比达到5,尺寸相对误差小于1%,表面粗糙度小于6.17nm。本文提出的工艺方法克服了现有方法制作金属微光栅时高度有限、基底易碎等局限性,为在金属基底上制作高深宽比金属微光栅提供了一种可行的工艺参考方案。
杜立群鲍其雷赵明王翱岸
关键词：高深宽比微电铸
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法，属于微制造技术领域，涉及金属基底微电铸金属器件类，特别涉及到一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法。其特征是在高纯镍板基底上，通过多次SU-8光刻胶套刻、制备导电层、多次微...
杜立群李成斌王翱岸
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