童晓蕾
- 作品数：2 被引量：17H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 压电驱动器迟滞建模与开环控制实验研究被引量：1
- 2010年
- 压电位移扫描技术可实现纳米级位移分辨率,但其迟滞现象会降低系统测量精度。该文依据大量实验现象中压电驱动器迟滞存在点对称性特征,建立了一种压电驱动器迟滞的数学模型。本模型由实验数据拟合上升主回线,再根据压电驱动器的点对称性,计算出其他上升或下降回线,同时得到其逆模型。利用逆模型对压电驱动器进行开环控制实验结果表明,实验系统控制误差范围为-36^+47 nm。
- 胡小根李玉和林浩山童晓蕾祁鑫
- 关键词：压电驱动器开环控制
- 超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究被引量：16
- 2009年
- 超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分。本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法。检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算。编制图像处理与系统测试软件,并对标准样品进行实验,结果表明:样品粗糙度重复测量精度达2.8nm,测试系统具有抗干扰能力强、稳定性好等特点。
- 童晓蕾李玉和林浩山祁鑫
- 关键词：相移干涉粗糙度三维形貌
