谢锋
- 作品数：10 被引量：37H指数：2
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 相关领域：电子电信医药卫生机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 扫描电子显微镜被引量：30
- 2003年
- 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.
- 刘剑霜谢锋吴晓京陈一胡刚
- 关键词：扫描电子显微镜二次电子
- SEM与TEM半导体分析的比较
- 2003年
- 本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。
- 胡刚陈一谢锋刘剑霜朱烨
- 关键词：SEMTEM半导体扫描电镜透射电镜显微技术
- 用透射电镜分析硅中的缺陷
- 在对半导体材料的结构缺陷进行观察时,透射电子显微镜有着其他观察仪器不可比拟的优越性,透射电子显微镜主要使用的像的技术有:质厚衬度像、衍射衬度像、位相衬度像,它们的适用范围各不相同.其中,高分辨电子显微像可以在实空间内直接...
- 谢锋
- 关键词：位错层错透射电镜
- 文献传递
- 一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法被引量：1
- 2005年
- 针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法。该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广。
- 刘剑霜谢锋胡刚陈一盛克平
- 关键词：透射电子显微镜放大倍率校准
- 应用母胎免疫及胎儿遗传物质评估新生儿ABO溶血病
- 研究目的:ABO母儿血型不合是中国新生儿溶血病(HDN)的主要原因,目前尚缺乏有效无创的产前诊断方法.我们对孕妇外周血进行一系列检查,包括:血清学试验检测血型同种抗体、单核细胞单层试验(MMA)检测抗体活性、流式细胞仪检...
- 谢锋
- 关键词：ABO血型新生儿溶血病抗体效价流式细胞仪
- 文献传递
- 硅中缺陷的透射电镜观察被引量：2
- 2004年
- 随着集成电路制造工艺技术的不断进步,器件线宽不断减小,硅材料中缺陷的危害越来越不可忽视。通过TEM观察了硅中氧沉积、工艺诱生缺陷等并对之进行了分析。
- 谢锋刘剑霜陈一胡刚
- 关键词：集成电路透射电镜硅
- 美国新药注册制度及其与中国相关制度的比较研究
- 药品是一种特殊的商品,它与人民的健康密切相关.在新药的发展过程中,政府部门起到了门户的作用:即要让安全有效,质量可控的新药及时获得上市许可,以提高社会的健康保健水平;同时又要防止对人体有害的药品进入市场,危害公民的身体健...
- 谢锋
- 文献传递
- 用电子显微镜剖析存储器器件被引量：4
- 2004年
- 简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。
- 刘剑霜谢锋陈一胡刚
- 关键词：电子显微镜存储器透射电镜栅氧化层集成电路
- 半导体制造中的电子显微分析
- 2003年
- 集成电路的特征尺寸越来越小,电子显微分析在微电子制造中成为不可缺少、不可替代的重要分析手段。本文根据扫描电子显微镜(SEM)及透射电子显微镜(TEM)在实际分析中的特长与局限,主要就仪器分辨率与结果的精确度的问题,讨论如何将两种分析技术有机地结合起来,扬长避短,取得最佳效果。
- 谢锋刘剑霜陈一胡刚
- 关键词：半导体制造电子显微分析扫描电子显微镜透射电子显微镜SEMTEM
- 宫颈癌TSLP来源及其在营造癌灶微环境中的作用
- 宫颈癌，是一种妇科常见的恶性肿瘤，严重威胁妇女健康。但是至今为止，宫颈癌发病机制仍不完全清楚。近年，肿瘤微环境的研究引起广泛高度重视，成为肿瘤生物学研究热点。肿瘤局部微环境中的血管生成和免疫细胞对宫颈癌进展发挥着不可或缺...
- 谢锋
- 关键词：宫颈癌微环境
