郑黎明
- 作品数：23 被引量：26H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术金属学及工艺更多>>
- 用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的分划板
- 用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的分划板属于用于确定DMD光刻系统中相机的焦平面位置的辅助装置领域，该分划板为透明材质的平面薄板，其上端面设有反光镀膜间隔条纹，所述反光镀膜间隔条纹的宽度均相同，它们彼此平行且间距相...
- 刘华谭向全党博石郑黎明孙强卢振武
- 文献传递
- 一种双重封闭平面凸轮侧向调焦装置
- 一种双重封闭平面凸轮侧向调焦装置，涉及光学镜头的机械侧调焦领域，解决了现有侧向调焦机构存在的无越程保护功能、结构复杂、成本高的问题。包括固定座、移动座、探测器、探测器联接螺钉、调焦手轮、两个力封闭压缩弹簧、导向座挡板、导...
- 黄剑波王健李丙玉郑黎明孙强
- 文献传递
- DMD光学系统光源位置的定位辅助装置及光源位置装调方法
- DMD光学系统光源位置的定位辅助装置及光源位置装调方法属于DMD系统光源位置的定位技术领域，该装置通过给DMD光学系统中的外部光源增加半反半透镜和若干圆孔遮挡板等部件使其成为光能单向输出的紫光准直光源，以作为DMD光学系...
- 刘华卢振武党博石谭向全郑黎明孙强
- 文献传递
- 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的方法
- 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的方法属于确定DMD光刻系统中投影镜头焦平面和相机的焦平面位置的校准方法领域，该方法设计了一种辅助对焦分划板，借助该分划板规律断续的外轮廓线边缘，可以在校准过程中快速判断分划...
- 刘华卢振武党博石谭向全郑黎明孙强
- 文献传递
- 相机多视场快速切换装置
- 相机多视场快速切换装置，涉及光学系统视场切换领域，解决了现有装置无法消除旋转机构的惯性冲击、切换不准确、安全性低的问题。包括固定座上切入和切出极限位置的两个光电开关，切出极限位置挡块，切入位置座，切入位置调整螺柱，通过调...
- 黄剑波王健郑黎明赵建孙强
- 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的新方法
- 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的新方法属于确定DMD光刻系统中投影镜头焦平面和相机的焦平面位置的校准方法领域，该方法设计了一种辅助对焦分划板，借助该新型分划板规律断续的外轮廓线边缘，可以在校准过程中快速判...
- 刘华卢振武党博石谭向全郑黎明孙强
- 模块化多维直线运动机电平台被引量：1
- 2015年
- 在光机产品中,调焦是最基本的功能之一,而调焦运动往往通过直线位移运动去实现。当光学系统涉及到多方向调焦时,就需要多维直线运动平台作为实现机构。论文提出一种模块化多维直线运动机电平台,通过电机、丝杠、直线导轨和滑块等电气组件和机械元件组成一维直线运动平台,并将一维运动平台模块化,通过滑块和底座一体化形成二维,进而形成三维移动机电平台,去实现多维度的直线位移运动,从而实现多维度的光机系统的调焦。
- 马俊林沙欧郑黎明
- 关键词：调焦模块化
- 绝对式光栅尺光源自动装配装置及其装配方法
- 绝对式光栅尺光源自动装配装置及其装配方法，属于光栅尺装配技术领域，为了解决光栅尺的光源自动装配的问题，指示光栅和光电传感器与光源的光轴重合；信号提取参考光栅以中心轴为中心，在x方向上做往复运动；第二触发开关位于中心轴下方...
- 刘阳郑黎明马俊林乔栋尤佳孙强
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- 绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法被引量：4
- 2015年
- 针对绝对式光栅尺产品的精度检测需求,对精度检测设备进行了设计。首先根据光栅尺产品的精度参数,确定检测手段和检测指标,介绍了检测过程存在的基本误差项。然后给出了检测设备详细的检测方案,并对该方案进行了误差分析。最终给出了绝对式光栅尺产品的精度检测与修正方法。检测与修正试验表明修正后光栅尺精度达到±1μm/m。
- 郑黎明
- 关键词：激光干涉仪
- 相机多视场快速切换装置
- 相机多视场快速切换装置，涉及光学系统视场切换领域，解决了现有装置无法消除旋转机构的惯性冲击、切换不准确、安全性低的问题。包括固定座上切入和切出极限位置的两个光电开关，切出极限位置挡块，切入位置座，切入位置调整螺柱，通过调...
- 黄剑波王健郑黎明赵建孙强
- 文献传递
