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郭玉飞
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13
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中国科学院
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许新
中国科学院
刘兴
中国科学院
洪克超
中国科学院
陆涛
中国科学院
王学敏
中国科学院
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中国科学院
作者
13篇
李松
13篇
王刚
13篇
张健
13篇
李士军
13篇
赵崇凌
13篇
徐宝利
13篇
王学敏
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陆涛
13篇
洪克超
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郭玉飞
13篇
刘兴
13篇
许新
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钟福强
12篇
张冬
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张振厚
5篇
雷震霖
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赵科新
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张东
1篇
钟富强
年份
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2015
5篇
2013
6篇
2012
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提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构
本实用新型涉及一种多层膜结构,特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为至少两层的硅系膜层该多层膜结构可以用作太阳能电池片上的钝化层/减反射层。可以通过在沉积工艺期间通过向常规前驱气体混合物在...
雷震霖
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
刘兴
郭玉飞
王学敏
李松
文献传递
一种双向磁场增强装置
本实用新型涉及提高PECVD设备的磁场,具体地说是一种可以提高原料利用率和提高膜层沉积速度,进而提高产能的双向磁场增强装置,包括真空室及石英管,其中石英管安装在真空室内,在石英管的周围分别设置有第一磁钢、第二磁钢、第三磁...
张振厚
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
刘兴
郭玉飞
王学敏
李松
文献传递
一种全自动下传输系统
本发明属于PECVD的传输系统领域,具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台,所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC,其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成,所述电机...
雷震霖
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
刘兴
郭玉飞
王学敏
李松
文献传递
一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器
本实用新型涉及平板加热器,具体地说是一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器,包括至少一个加热平板,在该加热平板上至少设有一个辐射加热线圈,在所述辐射加热线圈对应的加热温区上连接有控制该加热温区温度的温控表...
张振厚
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
刘兴
郭玉飞
王学敏
李松
文献传递
一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置
本发明涉及进气装置,具体地说是一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置,安装在真空腔室上,包括第一、二回填分气板、回填分气管、进气法兰、短管对焊接管及密封紧固件,进气法兰安装在真空腔室上,短管对焊接管位于真空腔室...
张振厚
赵崇凌
李士军
张健
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洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
刘兴
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一种用于PECVD多点进气多区可调装置
本发明属于涉及微电子技术领域,特别涉及一种用于PECVD带有可以提高大面积镀膜均匀性的多点进气多区可调装置。包括排气区体、进水管、回水管、硅烷进气口及氨气进气口,其中进水管、回水管、硅烷进气口及氨气进气口均布置在排气区体...
赵科新
赵崇凌
李士军
张健
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洪克超
徐宝利
钟福强
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一种提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构
本发明涉及一种多层膜结构,特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为至少两层的硅系膜层该多层膜结构可以用作太阳能电池片上的钝化层/减反射层。可以通过在沉积工艺期间通过向常规前驱气体混合物在太阳...
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赵崇凌
李士军
张健
张东
洪克超
徐宝利
钟富强
陆涛
许新
王刚
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郭玉飞
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文献传递
一种用于PECVD多点进气多区可调装置
本发明属于涉及微电子技术领域,特别涉及一种用于PECVD带有可以提高大面积镀膜均匀性的多点进气多区可调装置。包括排气区体、进水管、回水管、硅烷进气口及氨气进气口,其中进水管、回水管、硅烷进气口及氨气进气口均布置在排气区体...
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张冬
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一种全自动下传输系统
本发明属于PECVD的传输系统领域,具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台,所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC,其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成,所述电机...
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一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法
本发明涉及晶体硅太阳能的制造,具体的说是一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法。通过微波在太阳能电池片上沉积氢化的氮化硅膜层作为转换效率的表面钝化层和减反射层。本发明在形成氮化硅膜层之前通入氢气,并将其电离,对电...
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