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霍晓
作品数:
12
被引量:73
H指数:4
供职机构:
中航工业北京航空材料研究院
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相关领域:
航空宇航科学技术
理学
化学工程
电子电信
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合作作者
鹿安理
清华大学机械工程学院机械工程系
任家烈
清华大学机械工程学院机械工程系
沈文雁
中航工业北京航空材料研究院
陈孟成
中航工业北京航空材料研究院
张峥
中航工业北京航空材料研究院
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作者
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霍晓
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任家烈
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鹿安理
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沈文雁
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陈孟成
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张峥
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5篇
航空材料学报
3篇
材料工程
2篇
真空科学与技...
1篇
金属学报
年份
1篇
2000
3篇
1999
1篇
1998
2篇
1997
3篇
1996
1篇
1995
1篇
1994
共
12
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YG6基体上沉积金刚石膜的形貌不均匀性
被引量:1
1997年
研究了CH4/H2、气体流量和基片温度对YG6基体上沉积金刚石膜形貌不均匀性的影响,分析了形貌不均匀现象产生的原因。认为该现象与微波等离子体中电子浓度的分布特点有关。
霍晓
任家烈
鹿安理
关键词:
金刚石膜
不均匀性
静态氧化过程中热障涂层的剥落机理
被引量:9
1999年
采用静态氧化试验方法,评定了采用阴极电弧镀方法制备NiCrAlY粘结层、电子束物理气相沉积方法制备Y-PSZ陶瓷层的热障涂层在1100℃的抗氧化性能。重点研究了粘结层表面预处理方法对陶瓷面层剥落模式及失效界面特征的影响,考察了1100℃静态氧化过程中涂层的氧化动力学和相结构的变化,讨论了引起陶瓷面层剥落失效的机理。试验结果显示,在本试验条件下,粘结层氧化是陶瓷面层剥落失效的主要原因,这与表面预处理不当导致的粘结层抗氧化性能下降有关。
霍晓
沈文雁
陈孟成
李建平
关键词:
热障涂层
预处理
航空
EB-PVD 热障涂层的失效行为研究
被引量:3
1998年
利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及能谱分析(EDXS)技术,对EBPVD热障涂层(TBCs)中陶瓷面层在热冲击和循环氧化试验前后的形貌和变化进行了分析,研究了陶瓷面层的生长形态和相组分对热障涂层耐久性的影响。
沈文雁
霍晓
张建苏
吴凤筠
陈孟成
关键词:
电子束
物理气相沉积
热障涂层
航空
用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统
被引量:6
1994年
研制了一套功率容量大、结构合理、工作稳定的微波等离子体CVD系统。描述了系统的基本结构和性能,讨论了它的特点。作者利用该系统,在单晶Si等衬底材料上成功地合成了金刚石薄膜。
霍晓
任家烈
鹿安理
关键词:
微波等离子体
CVD
金刚石薄膜
高温涂层的研究和发展
被引量:37
1999年
高温涂层对防止航空发动机热端部件高温合金的高温氧化和热腐蚀以及延长发动机寿命起着很大的作用。对高温涂层的种类、近期的研究状况和下个世纪初的研究发展方向作了介绍,特别是对TBCs的发展给予了更多的关注。
陈孟成
霍晓
高阳
李建平
李伟光
关键词:
高温涂层
高温合金
航空发动机
微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石薄膜的研究
霍晓
关键词:
金刚石薄膜
CVD
微波等离子体
导致金刚石薄膜不均匀沉积的机理
被引量:2
1997年
以MPCVD法合成金刚石薄膜的实验结果为基础,深入分析了微波等离子体性质对金刚石薄膜沉积过程的影响,提出了解释金刚石薄膜不均匀沉积现象的新机理。
霍晓
任家烈
鹿安理
关键词:
金刚石薄膜
MPCVD
Co扩散阻挡层模型的设计
1996年
通过对Co扩散阻挡层在CVD过程中冶金行为的理论分析,建立了计算Co扩散阻挡层临界厚度δ临的数学模型。指出:阻挡层厚度δ≥δ临是抑制Co对金刚石沉积不良影响的必要条件。
霍晓
任家烈
鹿安理
关键词:
扩散阻挡层
硬质合金
钴
Mo、Nb镀层对YG6基体上金刚石沉积的影响
1996年
研究了Mo、Nb镀层对YG6基体上金刚石形核及生长的影响。结果表明。厚度3000的Mo镀层促进了金刚石形核,而Nb镀层的存在却不利于金刚石形核。但是,两种镀层均不改变金刚石晶粒的形貌待征。
霍晓
任家烈
鹿安理
关键词:
金刚石
形核
镀层
制备工艺对金刚石形核质量的影响
被引量:1
1995年
研究了制备工艺对微波等离子体CVD金刚石成膜质量的影响。详细讨论了基片在等离子体中的位置、基片台结构、N2等离子体预处理及启动条件对金刚石成膜均匀性的影响。提出了能获得均匀金刚石膜的制备工艺程序。
霍晓
任家烈
鹿安理
关键词:
金刚石
化学汽相沉积
形核
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