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霍晓

作品数：12 被引量：73H指数：4
供职机构：中航工业北京航空材料研究院更多>>
相关领域：航空宇航科学技术理学化学工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇航空宇航科学...
  • 3篇化学工程
  • 3篇理学
  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 4篇涂层
  • 4篇金刚石薄膜
  • 3篇金刚石
  • 3篇刚石
  • 2篇形核
  • 2篇气相沉积
  • 2篇热障
  • 2篇热障涂层
  • 2篇微波等离子体
  • 2篇航空
  • 2篇航空发动机
  • 2篇合金
  • 2篇CVD
  • 1篇电子束
  • 1篇镀层
  • 1篇形貌
  • 1篇硬质
  • 1篇硬质合金
  • 1篇预处理
  • 1篇试车

机构

  • 7篇清华大学
  • 5篇中航工业北京...

作者

  • 12篇霍晓
  • 6篇任家烈
  • 6篇鹿安理
  • 2篇沈文雁
  • 1篇陈孟成
  • 1篇张峥
  • 1篇张建苏

传媒

  • 5篇航空材料学报
  • 3篇材料工程
  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇金属学报

年份

  • 1篇2000
  • 3篇1999
  • 1篇1998
  • 2篇1997
  • 3篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1994
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
YG6基体上沉积金刚石膜的形貌不均匀性被引量：1
1997年
研究了CH4／H2、气体流量和基片温度对YG6基体上沉积金刚石膜形貌不均匀性的影响，分析了形貌不均匀现象产生的原因。认为该现象与微波等离子体中电子浓度的分布特点有关。
霍晓任家烈鹿安理
关键词：金刚石膜不均匀性
静态氧化过程中热障涂层的剥落机理被引量：9
1999年
采用静态氧化试验方法，评定了采用阴极电弧镀方法制备ＮｉＣｒＡｌＹ粘结层、电子束物理气相沉积方法制备Ｙ－ＰＳＺ陶瓷层的热障涂层在１１００℃的抗氧化性能。重点研究了粘结层表面预处理方法对陶瓷面层剥落模式及失效界面特征的影响，考察了１１００℃静态氧化过程中涂层的氧化动力学和相结构的变化，讨论了引起陶瓷面层剥落失效的机理。试验结果显示，在本试验条件下，粘结层氧化是陶瓷面层剥落失效的主要原因，这与表面预处理不当导致的粘结层抗氧化性能下降有关。
霍晓沈文雁陈孟成李建平
关键词：热障涂层预处理航空
EB-PVD 热障涂层的失效行为研究被引量：3
1998年
利用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、扫描电镜（ＳＥＭ）及能谱分析（ＥＤＸＳ）技术，对ＥＢＰＶＤ热障涂层（ＴＢＣｓ）中陶瓷面层在热冲击和循环氧化试验前后的形貌和变化进行了分析，研究了陶瓷面层的生长形态和相组分对热障涂层耐久性的影响。
沈文雁霍晓张建苏吴凤筠陈孟成
关键词：电子束物理气相沉积热障涂层航空
用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统被引量：6
1994年
研制了一套功率容量大、结构合理、工作稳定的微波等离子体ＣＶＤ系统。描述了系统的基本结构和性能，讨论了它的特点。作者利用该系统，在单晶Ｓｉ等衬底材料上成功地合成了金刚石薄膜。
霍晓任家烈鹿安理
关键词：微波等离子体CVD金刚石薄膜
高温涂层的研究和发展被引量：37
1999年
高温涂层对防止航空发动机热端部件高温合金的高温氧化和热腐蚀以及延长发动机寿命起着很大的作用。对高温涂层的种类、近期的研究状况和下个世纪初的研究发展方向作了介绍，特别是对ＴＢＣｓ的发展给予了更多的关注。
陈孟成霍晓高阳李建平李伟光
关键词：高温涂层高温合金航空发动机
微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石薄膜的研究
霍晓
关键词：金刚石薄膜CVD微波等离子体
导致金刚石薄膜不均匀沉积的机理被引量：2
1997年
以MPCVD法合成金刚石薄膜的实验结果为基础，深入分析了微波等离子体性质对金刚石薄膜沉积过程的影响，提出了解释金刚石薄膜不均匀沉积现象的新机理。
霍晓任家烈鹿安理
关键词：金刚石薄膜MPCVD
Co扩散阻挡层模型的设计
1996年
通过对Ｃｏ扩散阻挡层在ＣＶＤ过程中冶金行为的理论分析，建立了计算Ｃｏ扩散阻挡层临界厚度δ临的数学模型。指出：阻挡层厚度δ≥δ临是抑制Ｃｏ对金刚石沉积不良影响的必要条件。
霍晓任家烈鹿安理
关键词：扩散阻挡层硬质合金钴
Mo、Nb镀层对YG6基体上金刚石沉积的影响
1996年
研究了Ｍｏ、Ｎｂ镀层对ＹＧ６基体上金刚石形核及生长的影响。结果表明。厚度３０００的Ｍｏ镀层促进了金刚石形核，而Ｎｂ镀层的存在却不利于金刚石形核。但是，两种镀层均不改变金刚石晶粒的形貌待征。
霍晓任家烈鹿安理
关键词：金刚石形核镀层
制备工艺对金刚石形核质量的影响被引量：1
1995年
研究了制备工艺对微波等离子体ＣＶＤ金刚石成膜质量的影响。详细讨论了基片在等离子体中的位置、基片台结构、Ｎ２等离子体预处理及启动条件对金刚石成膜均匀性的影响。提出了能获得均匀金刚石膜的制备工艺程序。
霍晓任家烈鹿安理
关键词：金刚石化学汽相沉积形核
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