韦春龙
- 作品数：15 被引量：67H指数：6
- 供职机构：上海大学更多>>
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- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 多波长扫描法测量物体表面微观轮郭
- 光学轮郭仪用于测量物体表面的微观轮廓，从中获得表面粗糙度等信息。该文首先分析了单波长法的测量范围受到限制的原因，介绍了适应于多波长情况下的测量原理，并对各自的优缺点进行了分析。
- 曹原程维明韦春龙
- 关键词：数字光学轮廓仪
- MatLab在数字光学显微轮廓仪中的应用被引量：1
- 2000年
- 在数字光学显微轮廓仪中采用 ＭａｔＬａｂ作为测量结果的图形显示手段，解决了 ＶｉｓｕａｌＣ／Ｃ＋＋与 ＭａｔＬａｂ之间不同语言混合编程的接口问题，给出了用ＭａｔＬａｂ进行图形编程的实例．
- 程维明韦春龙曹原陈明仪
- 关键词：计算机辅助测量光学仪器
- 移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题
- 光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求,近年来相关测量技术发展非常迅速,其中移相技术是较典型的代表,发展日趋成熟并得到了广泛应用.以PG-15型平面干涉仪为硬件基础,采用移相技术,解决了其中移相值标定、相位解调、误差...
- 于瀛洁韦春龙陈明仪
- 文献传递
- 移相式数字光学轮廓仪的研制
- 相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法。本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的6JA型干涉显微镜结合起来,研制成功了移相式数字光学轮廓仪,其测量范围0.5nm～1um,精度达到了ο<0....
- 于瀛洁陈明仪韦春龙
- 关键词：干涉显微镜数字光学轮廓仪
- 文献传递
- 相移干涉术修正五步算法研究被引量：3
- 1997年
- 研究了修正五步算法对线性相移误差及探测器二次非线性响应误差的不灵敏特性。数值模拟结果表明，该算法在一定程度上优于B.Zhao＆Y．Sur－rel的六步算法。
- 韦春龙陈明仪丁峥
- 关键词：干涉术相移干涉
- 数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究被引量：12
- 1999年
- 相位扫描干涉度量术的广泛应用推动了去包裹算法的发展。在多种算法中，用于数字光学轮廓仪的相位去包裹算法必须具有较高的普遍适用性，而且必须兼顾健壮性与效率。本文对传统算法和最小二乘算法这两种典型去包裹算法进行了比较研究，并在自行研制的数字光学轮廓仪上进行了验证。
- 曹原韦春龙程维明陈明仪
- 关键词：数字光学轮廓仪最小二乘算法
- 圆形域干涉图中的相位解包裹被引量：9
- 2000年
- 相位解包裹问题是许多干涉术中存在的基本问题。运用 DCT方法的解包裹算法是十分有效、健壮的 ,然而仅适用于方形域条纹图处理。本文引入加权迭代方法将其有效地运用于常见的圆形域干涉图的处理。模拟结果表明 ,加权迭代法的计算精度可达 1 0 - 7rad,相对于普通的 DCT解包裹算法有非常大的提高。我们在自行研制的 DOP-2 0 0 0型数字光学轮廓仪上 ,运用相移干涉术对一多刻线样板进行了测量 ,实验结果进一步表明 ,本文的加权迭代法是一种非常有效和实用的方法。
- 李国栋韦春龙于瀛洁程维明陈明仪
- 关键词：干涉术
- 基于一阶泰勒展开式的迭代最小二乘相移新算法被引量：11
- 2001年
- 提出了一种新的最小二乘迭代算法 ,能有效消除因相移器存在导向误差面使相移平面倾斜从而导致的相移误差。当相移器存在的相移误差包括位移误差与倾斜误差时 ,同一幅干涉图诸像素点的相移并不同步 ,但其相移量在同一平面上。求解此平面 ,即可消除相移误差。通过求解由一阶泰勒展开式得到的线性方程组 ,避免了为求解此平面而求解非线性方程组最小二乘解的过程 ,使算法简化。利用迭代法 ,保证求解的精度。并通过数值模拟 ,验证了这种算法在消除较大的相移器倾斜及位移误差影响上具有良好的效果。
- 郭红卫陈明仪韦春龙
- 关键词：相移干涉术相移误差最小二乘解迭代法
- 运用泽尼特多项式的相位去包裹算法被引量：13
- 1998年
- 提出了一种新的相位去包裹算法，主要针对光学光滑表面以及由于少数低调制度点、散斑点、噪声或灰尘（以下简称误差点）引起的去包裹失败的情形。该算法运用泽尼特（Ｚｅｒｎｉｋｅ）多项式对误差点区域进行拟合，通过一定阈值的设置，将误差点清除并予以拟合，具有计算快速的特点。
- 韦春龙陈明仪王之江
- 关键词：干涉术条纹分析
- 干涉图去包裹位相的二次校正被引量：2
- 2002年
- 相位去包裹是移相干涉技术中关键的组成部分。一些去包裹算法在处理具有较多无效成像点的干涉图时,会在处理结果中引入较大的算法误差。提出了通过对去包裹位相进行二次校正的方法,实现去包裹位相算法误差的有效消除。文中通过基于DCT变换的最小二乘去包裹算法为例进行了说明,并通过一光学平晶表面的处理结果对方法进行了验证。
- 于瀛洁陈明仪韦春龙
