2025年1月24日
星期五
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韦超
作品数:
9
被引量:0
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供职机构:
西安电子科技大学
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相关领域:
农业科学
自动化与计算机技术
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合作作者
张玉明
西安电子科技大学
郭辉
西安电子科技大学
雷天民
西安电子科技大学
张克基
西安电子科技大学
胡彦飞
西安电子科技大学
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自动化与计算...
1篇
农业科学
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退火
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机构
9篇
西安电子科技...
作者
9篇
韦超
8篇
雷天民
8篇
郭辉
8篇
张玉明
6篇
张克基
5篇
胡彦飞
1篇
赵艳黎
1篇
张晨旭
1篇
张丰
年份
1篇
2021
2篇
2015
6篇
2013
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9
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基于Cu膜退火的SiC衬底上侧栅石墨烯晶体管制作方法
本发明公开了一种基于Cu膜退火的SiC衬底上侧栅石墨烯晶体管制作方法,主要解决现有技术制作的石墨烯晶体管电子迁移率降低和栅介质引起顶层石墨烯屏蔽、介质击穿的问题。其实现步骤是:(1)清洗SiC样片;(2)在SiC样片上淀...
郭辉
胡彦飞
张玉明
韦超
雷天民
张克基
文献传递
基于SiC与氯气反应的Cu膜退火图形化石墨烯制备方法
本发明公开了一种基于SiC与氯气反应的Cu膜退火图形化石墨烯制备方法,主要解决用现有技术制作的石墨烯作为晶体管沟道材料进行光刻工艺时会引起损伤,导致电子迁移率下降的问题。其制作过程是:(1)对SiC样片进行清洗;(2)在...
郭辉
韦超
张玉明
赵艳黎
雷天民
张克基
文献传递
基于Cu膜退火和氯气反应的侧栅石墨烯晶体管制备方法
本发明公开了一种基于Cu膜退火和氯气反应的侧栅石墨烯晶体管制备方法,主要解决现有技术制备的石墨烯连续性差及石墨烯器件载流子迁移率低等问题。其实现步骤是:在清洗后Si样片上生长碳化层进而形成3C-SiC薄膜;在3C-SiC...
郭辉
韦超
张玉明
张克基
雷天民
胡彦飞
文献传递
基于Cu膜退火和氯气反应的侧栅石墨烯晶体管制备方法
本发明公开了一种基于Cu膜退火和氯气反应的侧栅石墨烯晶体管制备方法,主要解决现有技术制备的石墨烯连续性差及石墨烯器件载流子迁移率低等问题。其实现步骤是:在清洗后Si样片上生长碳化层进而形成3C-SiC薄膜;在3C-SiC...
郭辉
韦超
张玉明
张克基
雷天民
胡彦飞
文献传递
基于Cu膜退火的SiC与氯气反应侧栅石墨烯晶体管制备方法
本发明公开了一种基于Cu膜退火的SiC与氯气反应侧栅石墨烯晶体管制备方法,主要解决现有技术制备的石墨烯连续性差及顶栅结构晶体管沟道载流子迁移率降低等问题。其制作步骤是:在清洗后的SiC样片表面淀积SiO<Sub>2</S...
郭辉
韦超
张玉明
张克基
雷天民
胡彦飞
文献传递
基于Ni膜退火的SiC衬底上大面积石墨烯制备方法
本发明公开了一种基于Ni膜退火的SiC衬底上大面积石墨烯制备方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯连续性不好、表面不光滑、层数不均匀的问题。其实现步骤是:先依次用氨水和双氧水的混合溶液、盐酸和双氧水的混合溶液对SiC衬底进...
郭辉
张晨旭
张玉明
韦超
雷天民
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基于结构特征和深度学习的基因预测方法研究
基因预测是基因组分析的重要内容之一,是理解基因调控与表达的关键环节。基因预测的准确度将直接影响后续的基因功能注释等任务的准确性。在很多情况下,鉴定基因功能的唯一办法是干扰目的基因来观测其对于表型的影响。然而,在过去的十年...
韦超
关键词:
生物信息学
基因预测
结构特征
基于Ni膜退火和氯气反应的大面积石墨烯制备方法
本发明公开了一种基于Ni膜退火和氯气反应的大面积石墨烯制备方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯连续性不好、孔隙率高的问题。其制作步骤为:(1)在4英寸~12英寸的Si衬底基片上先生长一层碳化层作为过渡;(2)在温度为12...
郭辉
张丰
张玉明
韦超
雷天民
文献传递
基于Cu膜退火的SiC衬底上侧栅石墨烯晶体管制作方法
本发明公开了一种基于Cu膜退火的SiC衬底上侧栅石墨烯晶体管制作方法,主要解决现有技术制作的石墨烯晶体管电子迁移率降低和栅介质引起顶层石墨烯屏蔽、介质击穿的问题。其实现步骤是:(1)清洗SiC样片;(2)在SiC样片上淀...
郭辉
胡彦飞
张玉明
韦超
雷天民
张克基
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