马龙
- 作品数：6 被引量：23H指数：2
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：辽宁省社会科学规划基金教育部人文社会科学重点研究基地度重大研究项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺文化科学环境科学与工程化学工程更多>>
- LIGA工艺中微电铸工艺研究被引量：8
- 2006年
- 为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构。为进一步的微结构加工奠定了基础。
- 马龙周月豪熊良才柳海鹏史铁林
- 关键词：微电铸LIGA准分子激光PMMA
- 准分子激光电化学微结构制造方法及其装置
- 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体...
- 史铁林陈志凌熊良才柳海鹏周月豪马龙
- 文献传递
- 空气质量监测系统异构设计与PM10灰预测
- 随着工业化程度的提高、交通的发达和人类生活水平的改善等，空气污染对人类的伤害愈来愈不容忽视，建立在空气质量监测系统上的预测就显得有其重要意义论文在湖北某市空气质量自动监测系统课题的基础上，作了监测系统异构性设计和基于GM...
- 马龙
- 关键词：空气质量大气监测颗粒污染物
- 基于准分子激光大深宽比微结构加工工艺研究
- 本文对大深宽比微加工工艺进行了研究。工艺采用有机玻璃为模具，248nm KrF准分子激光为加工光源，电铸镍为微结构层，与传统MEMS加工工艺相比，具有加工结构深宽比大、无毒、无掩模、易于集成且加工成本低等优点。因此该工艺...
- 马龙
- 关键词：微加工工艺电铸镍LIGAMEMS准分子激光
- 文献传递
- 准分子激光电化学微结构制造方法及其装置
- 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体...
- 史铁林陈志凌熊良才柳海鹏周月豪马龙
- 文献传递
- 5G时代如何创新推动县级融媒体中心建设被引量：13
- 2020年
- 我国正加快推进县级融媒体中心建设。县级融媒体中心在建设过程中应创新利用5G的技术优势,创造连接关系,构建县域空间连接并建立入口嵌套连接;浸入移动场景,量产碎片化音视频内容并提供在地性直播云服务;拾取智能逻辑,装备账号逻辑构建县媒生态,映射第三空间升级致效模式,加载序列算法智化内容生产,最终构建县城媒介生态,助力县域社会治理。
- 马龙雷盛廷
