齐峰
- 作品数:5 被引量:34H指数:2
- 供职机构:西南交通大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金四川省科技攻关计划表面物理与化学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术更多>>
- Ti-O薄膜的制备及其摩擦磨损性能研究
- 机械瓣的失效主要表现为,产生溶血,凝血,造成血栓栓塞,目前国内外此项研究较多,但机械瓣在体内服役期间的磨损问题也是其失效的一个重要方面,每年因摩擦磨损等原因造成瓣膜力学性能失效的概率在3%-5%之间,人工心脏瓣膜的磨损问...
- 齐峰
- 文献传递
- 非平衡磁控溅射沉积TiN/TiO2薄膜的工艺研究
- 前期工作研究表明 TiO薄膜具有优异的血液相容性,并以其优异的血液相容性广泛应用于生物材料表面改性方面。在人工机械心脏瓣膜表面沉积 TiO 薄膜来提高其生物相容性。但是人工心瓣植入人体后要不停顿地频繁工作,表面涂层与基体...
- 何婵齐峰冷永祥黄楠
- 关键词:磁控溅射力学性能
- 文献传递
- 非平衡磁控溅射沉积TiN/Ti-O复合薄膜机械性能研究被引量:2
- 2008年
- 本文利用非平衡磁控溅射设备,采用四种不同的TiN到Ti-O的过渡方式,在Si(100)和Ti6Al4V基体上制备了TiN/Ti-O薄膜。采用X射线衍射(XRD)分析薄膜的结构;使用AMBIOSXP-2台阶仪检测薄膜应力;利用HXD1000Bknoop型显微硬度仪、瑞士CSEM销盘摩擦磨损实验机、WS—97系统划痕实验机对薄膜的力学性能进行检测。结果表明,在钛合金表面制备TiN薄膜后,逐渐降低N2流量至0sccm,沉积一层Ti膜,再用逐渐通入O2制备Ti-O薄膜的工艺制备的TiN/Ti-N/Ti/Ti-O薄膜具有较好的力学性能。
- 何婵齐峰冷永祥黄楠
- 关键词:非平衡磁控溅射耐磨性
- 非平衡磁控溅射氮化钛薄膜及其性能研究被引量:23
- 2007年
- 采用非平衡磁控溅射技术,在钛合金(Ti6Al4V)表面沉积氮化钛薄膜。通过改变氮气和氩气分压比(PN/PAr)和基体偏压,制备出不同结构、性能的氮化钛薄膜。采用X射线衍射技术、原子力显微镜、PS-168型电化学测量系统、CSEM球盘摩擦磨损实验机、HXD-1000 knoop显微硬度仪等研究了薄膜的结构、表面形貌、耐腐蚀性能与机械性能。结果表明,采用非平衡磁控溅射技术制备出了致密的氮化钛薄膜。当PN/PAr较小时,氮化钛薄膜中存在Ti2N时,Ti2N相可以有效提高薄膜的硬度和耐磨损性能;当PN/PAr增加到0.1时,薄膜硬度达到最大,耐磨损性能最优;随着PN/PAr的继续增大,氮化钛薄膜中主要存在TiN相,氮化钛薄膜的复合硬度和耐磨损性能降低。在钛合金(Ti6Al4V)表面沉积氮化钛薄膜可以显著提高其在Hanks类体液中的耐腐蚀性能。
- 张琦陶涛齐峰刘艳文冷永祥黄楠
- 关键词:氮化钛非平衡磁控溅射耐磨性抗腐蚀性能
- 钛合金表面非平衡磁控溅射制备氮化钛薄膜性能研究被引量:10
- 2006年
- 本文利用非平衡磁控溅射技术,通过改变薄膜沉积时氮气和氩气分压比(PN/PAr)和靶基距,在Si(100)和钛合金(Ti6A14V)基体上制备了氮化钛薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、HXD^1000显微硬度仪和(CSEM)销盘摩擦磨损实验机对氮化钛薄膜的晶体结构、断面形貌、显微硬度和耐磨性进行了表征。研究发现,利用非平衡磁控溅射制备出致密的氮化钛薄膜,PN/PAr较小时,氮化钛薄膜中存在Ti2N相,Ti2N能够提高薄膜的硬度与耐磨性,随着N2/Ar的提高,薄膜硬度、耐磨性提高,当PN/PAr达到0.1时,随着N2/Ar的提高,薄膜硬度、耐磨性降低。结果表明,在钛合金表面制备氮化钛薄膜可以显著提高钛合金表面硬度与耐磨性,在改善用于人工心脏瓣膜的力学性能,提高人工心脏瓣膜的瓣架耐磨性,提高人工心脏瓣膜的寿命方面有较广阔的应用前景。
- 齐峰王志浩张琦杨文茂冷永祥黄楠
- 关键词:非平衡磁控溅射氮化钛显微硬度耐磨性