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丰梅霞
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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电子电信
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合作作者
常玉璟
中国电子科技集团公司第四十六研...
王建利
中国电子科技集团公司第四十六研...
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中国电子科技集团公司第四十六研...
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2004
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3英寸VB半绝缘砷化镓单晶的研制
本文简要介绍了在自制的VB单晶炉上研制3英寸半绝缘砷化镓单晶情况.使用石英-PNB晶体生长系统,通过我们的工艺研究,生长出了半绝缘性能及热稳定性好的非掺半绝缘砷化镓单晶,而且位错密度至少要比LEC工艺低一个量级.
兰天平
王建利
丰梅霞
常玉璟
牛沈军
关键词:
位错密度
砷化镓单晶
晶体生长
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