于新峰
- 作品数：17 被引量：28H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项中俄科技合作项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度微动调整装置
- 光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度高精度调整问题，提出一种基于3-RRR平面机构的光学...
- 赵磊巩岩彭海峰于新峰
- 文献传递
- 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机
- 本发明公开了一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和...
- 倪明阳华洋洋于新峰郭抗隋永新杨怀江
- 文献传递
- 光刻投影物镜热效应评估方法
- 光刻投影物镜热效应评估方法，涉及深紫外光刻投影物镜像质评估领域，解决了现有方法存在的物镜热效应评价不精确、分析过程繁琐的问题。该方法为：采用有限元方法或有限体积法进行热仿真，输出物镜中每片透镜上的各个网格节点的空间坐标以...
- 于新峰倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
- 光刻物镜中光学元件高精度支撑结构
- 光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻物镜中光学元件高精度支撑问题，本发明结构包括镜框和整体弹片，所述整体弹片与镜框之间通过若干螺钉固定；所述镜框内环周向均匀分布三处径...
- 赵磊巩岩于新峰彭海峰
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- 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析
- 2015年
- 为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力等性能。结果表明,主动变形镜在50 N驱动力作用下可以实现镜片表面面形均方根(RMS)837 nm Z5像散补偿,伴随产生的镜片表面高阶像差仅为RMS 1.124 nm,三个方向刚体平移仅为0.49、0.52、0.13 nm,三个方向的刚体旋转仅为2.21、1.73、1.10 ms,主动变形镜一阶固有频率达到2555 Hz,最大应力为0.852 MPa,满足光刻物镜像散补偿需求。
- 东立剑赵磊张德福于新峰倪明阳李显凌
- 关键词：成像系统主动光学像散补偿有限元分析
- 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机
- 本发明公开了一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和...
- 倪明阳华洋洋于新峰郭抗隋永新杨怀江
- 文献传递
- 光刻投影物镜热效应评估方法
- 光刻投影物镜热效应评估方法，涉及深紫外光刻投影物镜像质评估领域，解决了现有方法存在的物镜热效应评价不精确、分析过程繁琐的问题。该方法为：采用有限元方法或有限体积法进行热仿真，输出物镜中每片透镜上的各个网格节点的空间坐标以...
- 于新峰倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
- 文献传递
- 夹紧力作用下镜面变形及夹紧重复性研究
- 2015年
- 利用有限元方法对运动学支撑夹紧力引起的镜片光学表面变形进行静力学分析,并应用Zernike多项式对镜片表面的变形进行了拟合。结果表明,夹紧力作用下镜片表面产生的几种主要像差为Defocus、Pri Trefoil和Pri Hexafoil。光学检测过程中,运动学支撑结构的重复装配误差可能会影响检测精度,因此分析了运动学支撑夹紧重复性对镜面面形的影响。以夹紧力大小、夹紧力径向位置、夹紧力周向位置变化引起的镜面表面峰谷(PV)值和均方根(RMS)值的变化作为评价夹紧重复性的依据。分析结果表明,镜片表面的PV值和RMS值变化不明显,说明所设计的运动学支撑结构在多次重复性的检测中允许装配过程存在一定的误差。
- 周连生于新峰张巍
- 关键词：光学设计夹紧力有限元法ZERNIKE多项式
- 一种用于光刻投影物镜热效应矫正的非轴对称镜组结构
- 一种用于光刻投影物镜热效应矫正的非轴对称镜组结构属于深紫外光刻投影物镜像质补偿领域，目的在于避免光刻投影物镜工作过程中由于材料吸收激光热量而导致的像质劣化的问题，尤其针对于矩形曝光视场引入的非对称倍率及常数项像散的问题。...
- 于新峰倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
- 文献传递
- 光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试被引量：1
- 2016年
- 恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能，设计了一个小比例水套模型。恒温温控系统对其提供±0．001℃的去离子水，通过对比三镜光机系统温度变化及热像差变化获取小比例水套的关键参数。实验数据表明，在加入热扰动且环境温度为22．06～22．16℃的情况下，三镜光机系统的内壁温度被控制在（22±0．01）℃以内，波像差在热扰动后迅速恢复至10．12nm，与装调完毕状态基本一致。由此可见，此种水套结构可以满足光刻投影物镜的温度控制要求，可在此基础上设计等比例恒温水套模型。
- 彭海峰于新峰秦硕
- 关键词：投影物镜温度测试
