刘世建
- 作品数：6 被引量：18H指数：2
- 供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院电子科学与技术系更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 介电式非致冷红外焦平面阵列的基础研究
- 研究了射频磁控溅射法制备BST薄膜的动力模型,根据等离子体动力学推导出了离子的运动方程,从而指出了前驱体(靶材)的被溅射情况.在控制了靶的变形和SrO的挥发等问题的基础上,制备出了符合化学计量比,且其均匀性和致密度较好,...
- 刘世建
- 关键词：红外焦平面阵列射频磁控溅射法BST薄膜各向异性腐蚀
- 文献传递
- 非致冷红外焦平面阵列用探测材料被引量：1
- 2003年
- 非致冷红外焦平面阵列以其高密度、高性能和低成本 ,成为当前红外热成像技术的研究重点。探测材料是非致冷红外焦平面阵列的基础。重点介绍了目前比较成功的三类非致冷红外焦平面阵列———热电堆型、热电阻型和热释电型 。
- 刘世建徐重阳曾祥斌
- 关键词：非致冷红外焦平面阵列热电堆热敏电阻热释电
- 多晶硅薄膜晶体管的表面氮钝化技术被引量：1
- 2001年
- 采用 N2 O和 NH3等离子钝化技术对多晶硅薄膜表面和栅氧表面进行了钝化处理。实验结果表明 ,该技术能够有效降低多晶硅薄膜的界面态密度 ,提高多晶硅薄膜晶体管性能。二次离子质谱仪分析表明在 p- Si/ Si O2界面有氮原子富积 ,说明生成了强的 Si-
- 曾祥斌Johnny K O Sin徐重阳饶瑞刘世建
- 关键词：多晶硅薄膜薄膜晶体管表面钝化
- 非致冷红外焦平面阵列用探测材料被引量：10
- 2002年
- 非致冷红外焦平面阵列以其高密度、高性能和低成本,成为当前红外热成像技术的研究重点;而探测材料是非致冷红外焦平面阵列的基础。本文重点介绍了目前比较成功的三类非致冷红外焦平面阵列——热电堆型、热敏电阻型和热释电型,在开发过程中所采用的各种探测材料。
- 刘世建徐重阳曾祥斌
- 关键词：非致冷红外焦平面阵列热电堆热敏电阻热释电红外探测器
- 射频磁控溅射法制备(Ba_(0.7)Sr_(0.3))TiO_3铁电薄膜被引量：3
- 2001年
- 采用射频磁控溅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的 ( Ba0 .7Sr0 .3) Ti O3( BST)铁电薄膜。研究了BST铁电薄膜的制备工艺 ,分析了 BST铁电薄膜的晶体结构和微观形貌。测试了其介电特性 ,测得的相对介电常数 -温度曲线表明制备的 ( Ba0 .7Sr0 .3) Ti O3铁电薄膜的居里温度在室温附近 ,约 3 0°C处。
- 刘世建徐重阳曾祥斌赵伯芳王长安史济群
- 关键词：射频磁控溅射法BST铁电薄膜红外焦平面阵列
- (Ba_(0.67)Sr_(0.33))TiO_3陶瓷靶的制备和微观结构分析被引量：2
- 2001年
- 探讨了射频磁控溅射用(Ba_(0.67)Sr_(0.33))TiO_3陶瓷靶的烧结工艺，并用电子探针和X射线粉晶衍射法对其成分和微观结构进行了分析。结果表明，900～1 000℃烧结出的(Ba_(0.67)Sr_(0.33))TiO_3陶瓷靶在组织结构及成分均匀性、致密度和强度方面都符合射频磁控溅射的实际要求。
- 刘世建徐重阳曾祥斌
- 关键词：射频磁控溅射微观结构
