刘红梅
- 作品数：9 被引量：24H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工程大学更多>>
- 发文基金：黑龙江省科技攻关计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 溶胶-凝胶法制备纳米PZT粉体及结构表征被引量：11
- 2006年
- 采用改进的溶胶-凝胶法，以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0.48）O3粉体。通过溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理。通过IR，TG-DTA，XRD，SEM，TEM分析对PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征。实验证明：在650℃热处理2h，获得较完整钙钛矿型PZT，粒径约为50～100nm。
- 刘红梅张德庆林海波张亮刘海涛邱成军曹茂盛
- 关键词：溶胶-凝胶乙二醇锆钛酸铅纳米粉体
- MEMS集成应用的纳米结构PZT厚膜形成工艺研究被引量：1
- 2006年
- 提出了制备PZT厚膜的一种新的旋转涂覆方法。采用0-3复合法将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料，并与PZT溶胶交替涂覆在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上，使PZT厚度达2μm，并且使PZT表面质量得到了改善。利用XRD和SEM对PzT厚膜的组织和结构进行了表征。得到的薄膜无裂纹，结晶和表面平整度良好，可用于MEMS中微型传感器和微型驱动器的制作。
- 刘红梅邱成军张德庆张辉军曹茂盛
- 关键词：厚膜MEMS
- PZT纳米晶的改进型溶胶-凝胶法制备及其生长过程研究被引量：1
- 2006年
- 以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，采用改进的溶胶-凝胶法，通过优化工艺参数制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0．48）O3（PZT）。通过对工艺条件研究，揭示了体系的凝胶化可通过升高温度和增加pH值来实现。通过对溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理。通过TG-DTA、XRD、SEM、TEM等手段对从凝胶到PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征。实验证明，改进后工艺简单易行，溶胶稳定，干凝胶在650℃热处理2h，获得较完整的钙钛矿型PZT，粒径约为50-100nm。
- 张德庆林海波刘红梅刘海涛邱成军曹茂盛
- 关键词：溶胶-凝胶乙二醇锆钛酸铅纳米晶
- 溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究被引量：5
- 2004年
- 采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器。探讨了PZT薄膜微驱动器的制备工艺方法,解决了制备工艺中存在的关键问题。
- 邱成军孟丽娜刘红梅曹茂盛
- 关键词：微驱动器微机械加工
- MEMS器件用PZT薄膜的制备及性能研究
- 为了采用0-3复合法制备PZT薄膜，本文先采用Sol-Gel法，制备了PZT微粉。经过大量的实验研究并结合粉体制备技术分析，掌握了利用无机盐原料及单一金属醇盐制备完全钙钛矿结构PZT微粉的优化工艺。通过XRD分析确定热处...
- 刘红梅
- 关键词：PZT薄膜SOL-GEL
- 文献传递
- 用于MEMS的PZT压电厚膜及硅基压电悬臂梁的制备研究
- 新型、高性能MEMS器件对所用材料的结构和性能有很高要求。PZT压电薄膜以其优异的介电、铁电和压电性能，成为MEMS应用的研究热点。本文利用改进的溶胶—凝胶技术在Au/Cr/SiO2/Si基片上制备了不同厚度的PZT压电...
- 刘红梅
- 关键词：MEMS器件溶胶凝胶介电性能铁电性能
- 用于压电悬臂梁的PZT厚膜的溶胶-凝胶制备及表征被引量：2
- 2007年
- 研究了一种用于制备硅基压电悬臂梁的PZT厚膜溶胶-凝胶工艺.该工艺通过采用交替旋涂法,将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,再和澄清PZT溶胶交替涂覆在Au/Cr/SiO2/Si的硅基悬臂梁结构上,当达到所需的厚度后再进行热处理.实验证明,热处理温度在650℃,处理时间15 min时,XRD结构表征显示PZT厚膜获得钙钛矿相结构,SEM中厚膜断面清晰,表面紧密、均匀、平整.铁电性能测试表明矫顽场为50kV/cm,饱和极化强度为54μC/cm2,剩余极化强度为30μC/cm2.同时,硅基悬臂梁结构采用典型的半导体光刻工艺,利用BHF/HCl溶液成功地刻蚀了PZT厚膜,并运用微机械加工技术刻蚀出硅悬臂梁结构.
- 刘红梅赵全亮段中夏邱成军曹茂盛
- 关键词：锆钛酸铅厚膜溶胶-凝胶悬臂梁
- 纳米结构压电陶瓷复合材料及压电微驱动器应用研究
- 曹茂盛邱成军张德庆曲伟刘瑞堂刘红梅赵全亮林海波刘海涛张辉军
- 本研究成果属于纳米材料科学的应用研究，成果具有比较突出的创新性和应用性。涉及本成果的原创性学术论文发表近17篇，申请专利6项，在学术界影响较大，得到同行较高的评价。这充分说明了课题组工作的重要性和本成果的学术影响力，也说...
- 关键词：
- 关键词：压电陶瓷复合材料
- 都尚花园建设项目成本控制研究
- 房地产开发项目是一个涉及到多方面多个领域的项目,其中任何一个领域物价的上涨都有可能引起房地产开发成本的上涨,比如营销费用的增加、工人工资的上涨、建筑材料价格的上涨等。 本文以都尚花园一期开发项目出现的成本问题为切入点,...
- 刘红梅
- 关键词：房地产建设项目成本控制
- 文献传递
