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周晓雄
作品数:
3
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供职机构:
北京大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
于晓梅
北京大学
袁明泉
北京大学
文永正
北京大学
杨建成
北京大学
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电子电信
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机构
3篇
北京大学
作者
3篇
周晓雄
2篇
袁明泉
2篇
于晓梅
1篇
杨建成
1篇
文永正
年份
3篇
2012
共
3
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一种非制冷红外探测器的设计及制备方法
本发明公开了一种非制冷红外探测器的设计和制备方法,特别是关于一种基于单晶硅PN结温度特性的多波段非制冷红外探测器的设计和制备。本发明所提供的红外探测器由红外焦平面阵列、支撑焦平面阵列的衬底以及位于上述衬底上的驱动和读出电...
于晓梅
袁明泉
文永正
周晓雄
文献传递
一种MEMS器件的圆片级真空封装方法
本发明的目的是提供一种MEMS器件的圆片级真空封装的方法。该圆片级真空封装的器件主要包括MEMS器件、支撑器件的底座基片、带过孔的中间垫层基片、盖帽基片、焊料和吸气剂。封装基本步骤包括:在底座基片上制备出MEMS器件;在...
于晓梅
周晓雄
袁明泉
杨建成
文献传递
基于石英基片的非制冷红外焦平面陈列及其圆片级真空封装技术研究
本文进行了基于石英基片的非制冷型红外焦平面阵列及其圆片级真空封装技术研究。该红外焦平面阵列是双材料微悬臂梁阵列结构,当吸收红外辐射时,红外吸收层吸收红外并将其转化为热能,由于双层材料热膨胀系数的差异,使微悬臂梁发生形变弯...
周晓雄
关键词:
红外探测
焦平面阵列
真空封装
键合工艺
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