孙元征
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：东南大学机械工程学院设计工程系更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料机理的耦合理论模型
- 2009年
- 基于电子能带理论,以动力论的Fokker_Planck方程为基础,从微观层次对超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料的机理进行分析研究.源项中分别考虑了雪崩电离、多光子电离机制,并考虑了电子能量与散射机制对电子弛豫时间的影响.建立了绝缘体烧蚀机理的耦合数学模型,其计算的激光烧蚀临界能量密度阀值与实验结果很好的吻合.定量描述了超短脉冲激光对绝缘体材料烧蚀微观过程的影响.
- 林晓辉孙元征杨决宽陈云飞
- 关键词：超短脉冲激光雪崩电离多光子电离
- 超短脉冲激光加工MEMS器件材料的烧蚀机理研究
- 自上个世纪八十年代以来,飞秒激光技术得到了迅猛的发展,由于飞秒脉冲激光具有脉冲时间短、能量密度高等优点,使得这门技术在微细加工、MEMS器件制造、加工信息存储材料、显微生物医学等领域有广阔的应用前景。
由于飞秒...
- 孙元征
- 关键词：烧蚀机理
- 文献传递
- 超短脉冲激光烧蚀熔融硅的理论模型被引量：4
- 2008年
- 在Fokker_Planck方程的基础上,对超短脉冲激光烧蚀熔融硅的机理进行分析研究,建立了雪崩电离、多光子吸收电离导致的熔融硅烧蚀机理的数学模型。其计算得出的激光能量密度和临界烧蚀阀值与实验结果很好的吻合,定量解释了超短脉冲激光对熔融硅烧蚀损伤微观过程的影响。
- 孙元征林晓辉陈云飞
- 关键词：超短脉冲激光烧蚀雪崩电离
