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张冬
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23
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中国科学院
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相关领域:
电子电信
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徐宝利
中国科学院
赵崇凌
中国科学院
洪克超
中国科学院
李士军
中国科学院
张健
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电子电信
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徐宝利
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张冬
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张健
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18篇
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16篇
陆涛
15篇
赵科新
12篇
李松
12篇
王刚
12篇
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12篇
郭玉飞
12篇
刘兴
12篇
许新
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张振厚
9篇
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高振国
5篇
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崔秀伟
年份
2篇
2015
4篇
2013
6篇
2012
2篇
2011
6篇
2010
1篇
2009
2篇
2008
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一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器
本实用新型涉及平板加热器,具体地说是一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器,包括至少一个加热平板,在该加热平板上至少设有一个辐射加热线圈,在所述辐射加热线圈对应的加热温区上连接有控制该加热温区温度的温控表...
张振厚
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
刘兴
郭玉飞
王学敏
李松
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一种平板PECVD氮化硅覆膜系统
本发明涉及氮化硅薄膜领域,具体为一种平板PECVD氮化硅覆膜系统。该系统设有装载腔、工艺腔和卸载腔,装载腔、工艺腔和卸载腔为模块化的三个腔体,装载腔和工艺腔相通,工艺腔和卸载腔相通;装载腔的外侧依次设置装载台和进载台,卸...
张振厚
赵科新
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
段鑫阳
徐宝利
钟福强
陆涛
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提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构
本实用新型涉及一种多层膜结构,特别涉及一种可以提高晶体硅太阳能电池转换效率的多层膜结构。所述多层膜为至少两层的硅系膜层该多层膜结构可以用作太阳能电池片上的钝化层/减反射层。可以通过在沉积工艺期间通过向常规前驱气体混合物在...
雷震霖
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
刘兴
郭玉飞
王学敏
李松
文献传递
全自动大型平板式PECVD晶硅光伏减反射覆膜制备设备
本发明涉及薄膜制备装置,尤其是涉及一种单腔室在真空条件下工作的全自动大型平板式PECVD晶硅光伏减反射覆膜设备,解决现有技术中管式结构的PECVD设备存在的单次生产时间过长、产量低的问题,以及多腔室平板式PECVD设备存...
赵科新
奚建平
赵崇凌
张冬
洪克超
段鑫阳
张健
徐宝利
李士军
高振国
崔秀伟
文献传递
一种双向磁场增强装置
本实用新型涉及提高PECVD设备的磁场,具体地说是一种可以提高原料利用率和提高膜层沉积速度,进而提高产能的双向磁场增强装置,包括真空室及石英管,其中石英管安装在真空室内,在石英管的周围分别设置有第一磁钢、第二磁钢、第三磁...
张振厚
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
刘兴
郭玉飞
王学敏
李松
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一种全自动大型平板PECVD氮化硅覆膜制备系统
本实用新型涉及光伏电池片薄膜制备装置,具体地说是一种多腔室在真空条件下连续工作的全自动大型平板PECVD氮化硅覆膜制备系统,包括自动传输装载台、预热室、PECVD室、冷却室及自动传输卸载台,其中预热室、PECVD室及冷却...
赵科新
赵崇凌
李士军
洪克超
段鑫阳
张振厚
张冬
张健
徐宝利
钟福强
奚建平
高振国
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一种平板PECVD氮化硅覆膜的系统
本实用新型涉及氮化硅(SiNx)薄膜领域,具体为一种平板PECVD氮化硅覆膜的系统。该系统设有装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II,装载腔I、装载腔II、工艺腔、卸载腔I和卸载腔II为模块化的五个腔体,装载...
张振厚
赵科新
赵崇凌
李士军
张健
张冬
洪克超
段鑫阳
徐宝利
钟福强
陆涛
文献传递
全自动大型平板式PECVD晶硅光伏减反射覆膜制备设备
本实用新型涉及薄膜制备装置,尤其是涉及一种单腔室在真空条件下工作的全自动大型平板式PECVD晶硅光伏减反射覆膜设备,解决现有技术中管式结构的PECVD设备存在的单次生产时间过长、产量低的问题,以及多腔室平板式PECVD设...
赵科新
奚建平
赵崇凌
张冬
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段鑫阳
张健
徐宝利
李士军
高振国
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一种全自动下传输系统
本发明属于PECVD的传输系统领域,具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台,所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC,其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成,所述电机...
雷震霖
赵崇凌
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张健
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洪克超
徐宝利
钟福强
陆涛
许新
王刚
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郭玉飞
王学敏
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一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置
本发明涉及进气装置,具体地说是一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置,安装在真空腔室上,包括第一、二回填分气板、回填分气管、进气法兰、短管对焊接管及密封紧固件,进气法兰安装在真空腔室上,短管对焊接管位于真空腔室...
张振厚
赵崇凌
李士军
张健
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