您的位置： 专家智库 > >

张本状

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇化学工程

主题

  • 3篇电铸
  • 3篇微电铸
  • 2篇真空
  • 2篇真空退火
  • 2篇退火
  • 2篇器件尺寸
  • 2篇超声
  • 2篇尺寸
  • 2篇尺寸精度
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元仿真
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇SU-8光刻...
  • 1篇超声处理

机构

  • 3篇大连理工大学

作者

  • 3篇张本状
  • 2篇刘冲
  • 2篇刘军山
  • 2篇徐征
  • 2篇杜立群
  • 2篇王启佳

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法
本发明是一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法，属于微制造技术领域，特别涉及提高微电铸器件尺寸精度的方法。微电铸器件的制作工艺包括镍基板前处理、微电铸胶模的制作以及微电铸工序。在制作微电铸胶模的过程中，甩胶、前烘、光刻...
杜立群张本状王启佳刘冲徐征刘军山
文献传递
微电铸结构尺寸误差的仿真及实验研究
SU-8胶物理、化学性质稳定,通过UV-LIGA工艺能够获得高深宽比的胶模,因此在电铸MEMS器件工艺中得到广泛应用。然而基于SU-8胶的电铸工艺仍然面临很大的难题：电铸过程中SU-8胶模的热膨胀和吸湿溶胀会给最终制作出...
张本状
关键词：SU-8光刻胶电铸有限元仿真超声处理
文献传递
一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法
本发明是一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法，属于微制造技术领域，特别涉及提高微电铸器件尺寸精度的方法。微电铸器件的制作工艺包括镍基板前处理、微电铸胶模的制作以及微电铸工序。在制作微电铸胶模的过程中，甩胶、前烘、光刻...
杜立群张本状王启佳刘冲徐征刘军山
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0