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曾敏

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：光明化工研究设计院更多>>
相关领域：化学工程经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇国内会议论文

领域

  • 2篇化学工程
  • 1篇经济管理

主题

  • 2篇分析方法
  • 2篇纯化
  • 2篇纯化工艺
  • 1篇电路
  • 1篇乙硼烷
  • 1篇乙烷
  • 1篇能源
  • 1篇能源价格
  • 1篇硼烷
  • 1篇气体
  • 1篇气体市场
  • 1篇集成电路
  • 1篇工业气体
  • 1篇工业气体市场
  • 1篇安全防护

机构

  • 3篇光明化工研究...

作者

  • 3篇曾敏
  • 1篇梁玉
  • 1篇林刚
  • 1篇韩美
  • 1篇田波
  • 1篇王秋娥
  • 1篇陈晓惠

传媒

  • 2篇《低温与特气...

年份

  • 1篇2008
  • 2篇2004
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
世界经济影响下的工业气体市场新动态
@@随着世界经济的变化发展，全球工业气体市场也在受到一定的影响。2007年，世界经济以3.3％的实际增长率持续发展，与2006年世界经济达到3.5％的增长率比较有所缓慢，其增长减速的原因是由于能源价格的持续提高，北美及西...
曾敏林刚田波陈晓惠王秋娥梁玉韩美
关键词：工业气体能源价格
乙烷的纯化工艺及分析方法
高纯乙烷是用粗天然气、石油化工尾气等粗原料气经进一步提纯和精细加工制取的。通常，乙烷在各种粗原料气中的含量只有70％-95％，此外，还含有C微量杂质，为了提取高纯度产品，需经多种纯化处理过程。因此，本文概述了高纯乙烷的制...
曾敏
关键词：安全防护
文献传递
乙硼烷的纯化工艺及分析方法
乙硼烷在半导体工业中作为成膜、外延和掺杂用气已得到越来越广泛的应用，随着大规模集成电路集成度的提高，对乙硼烷纯度的要求也越来越高。因此，本文概述了高纯乙硼烷的制备、提纯工艺、分析方法及性能指标。
曾敏
关键词：乙硼烷纯化工艺集成电路
文献传递
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