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林庆浩

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：核科学技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇核科学技术
  • 1篇理学

主题

  • 3篇声表面波
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇独用
  • 2篇镀膜技术
  • 2篇真空室
  • 2篇振荡回路
  • 2篇声表面波气体...
  • 2篇片架
  • 2篇气体传感
  • 2篇气体传感器
  • 2篇气体传感器阵...
  • 2篇基片
  • 2篇溅射
  • 2篇长宽比
  • 2篇传感器阵列
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇乙烯

机构

  • 6篇电子科技大学

作者

  • 6篇林庆浩
  • 5篇蒋亚东
  • 5篇杜晓松
  • 4篇邱栋
  • 1篇王洋
  • 1篇龙吟
  • 1篇刘洋

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 3篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种直列多靶磁控溅射镀膜装置
一种直列多靶磁控溅射镀膜装置，涉及溅射镀膜技术领域。系采用长宽比大于3的矩形溅射靶，在箱式真空室中，将3个以上的矩形溅射靶平行共轴排成一列，所有靶的宽度方向都平行于真空室的长边，靶间距小于矩形靶宽度的2倍。矩形溅射靶上方...
杜晓松林庆浩邱栋蒋亚东
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一种苯乙烯声表面波气敏传感器
一种苯乙烯声表面波气敏传感器，属于传感器件技术领域。本发明以聚[甲基(4-羟基-4,4-双-三氟代甲基)-丙基]-硅氧烷为聚合物气敏材料，将所述聚合物气敏材料成膜于声表面波器件表面，得到苯乙烯声表面波气敏传感器。本发明具...
杜晓松王洋刘洋林庆浩龙吟蒋亚东
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一种独用参比的声表面波气体传感器阵列
本发明公开了一种独用参比的声表面波气体传感器阵列，包括n个测量传感器和n个参比传感器，还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室，n个测量传感器和n个参比传感器同时安装在所述气室...
杜晓松邱栋吴朋林林庆浩蒋亚东
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一种直列多靶磁控溅射镀膜装置
一种直列多靶磁控溅射镀膜装置，涉及溅射镀膜技术领域。系采用长宽比大于3的矩形溅射靶，在箱式真空室中，将3个以上的矩形溅射靶平行共轴排成一列，所有靶的宽度方向都平行于真空室的长边，靶间距小于矩形靶宽度的2倍。矩形溅射靶上方...
杜晓松林庆浩邱栋蒋亚东
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MEMS微型气体富集器的工艺制备研究
在一些易燃易爆、人流量众多的场合,空气中成分的监测关系到人的生命和财产安全。同时在现今国际反恐的大背景下,化学武器的攻击成为一个敏感的话题,痕量级的有毒气体往往都能对人造成生命危害。因此我们需要能够检测到极低浓度气氛的分...
林庆浩
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一种独用参比的声表面波气体传感器阵列
本发明公开了一种独用参比的声表面波气体传感器阵列，包括n个测量传感器和n个参比传感器，还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室，n个测量传感器和n个参比传感器同时安装在所述气室...
杜晓松邱栋吴朋林林庆浩蒋亚东
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